本发明专利技术提供一种电子元器件传送装置以及电子元器件检查装置，例如在通过检查部进行对电子元器件的电气检查时，其可以使电子元器件的各端子与检查部的各端子均匀地抵接。电子元器件传送装置(10)具备：第一基部(511)；能够相对于第一基部(511)滑动的第一滑动部(512)；配置于第一滑动部(512)的第二基部(32)、(33)、(34)；以及能够相对于第二基部(32)、(33)、(34)滑动且能抵接于电子元器件的第二滑动部(31)，其中，在第一基部(511)和第一滑动部(512)之间形成有容积能变动的第一空间(S1)，在第二基部(34)和第二滑动部(31)之间形成有容积能变动的第二空间(S2)。
【技术实现步骤摘要】
电子元器件传送装置以及电子元器件检查装置
本专利技术涉及电子元器件传送装置以及电子元器件检查装置。
技术介绍
在现有技术中，已知有测试IC封装等电子元器件的测试装置(例如参照专利文献1)。专利文献1记载的测试装置具备：推进器，在把持有电子元器件的状态下，将该电子元器件按压到测试用插座中；以及压力检测单元，与推进器连结，检测该推进器将电子元器件按压到了插座中时的压力(按压力)。此外，在专利文献1记载的测试装置中，在进行对电子元器件的测试时，可以基于压力检测单元的检测结果来检测推进器是否以规定的压力将电子元器件按压到了插座中。专利文献1：日本专利特开2003-161758号公报但是，在专利文献1记载的测试装置中，即便推进器是以规定的压力将电子元器件按压到了插座中，但例如由于电子元器件的大小(厚度)、形状(翘曲)、电子元器件载置部(插座)与推进器的平行度等，电子元器件的各焊料球的端子和插座的各触针未必均匀地接触。此外，如果各焊料球的端子和各触针不是均匀地接触，则会产生不能准确地进行对电子元器件的测试的问题。此外，在设置有多个推进器的情况下，压力检测单元也必须对应于各推进器而设置。这样的构成会导致测试装置的构造复杂化、制造成本的增加等，成为实用化困难的原因。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述技术问题的至少一部分而做出的，可通过以下方式来实现。本专利技术的电子元器件传送装置其特征在于，具备：第一基部；第一滑动部，相对于所述第一基部能够滑动；第二基部，配置于所述第一滑动部；以及第二滑动部，相对于所述第二基部能够滑动，并且能够与电子元器件抵接，其中，在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有容积能够变动的第一空间，在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有容积能够变动的第二空间。由此，即使是电子元器件存在个体差异，也可以通过调节第一空间以及第二空间内的工作流体的压力来抵消该差异。并且，例如在通过检查部进行对电子元器件的电气检查时，可以与电子元器件的个体差异无关地使电子元器件的各端子均匀地抵接于检查部的各端子，从而可以准确地进行其检查。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，工作流体能够出入所述第一空间以及所述第二空间。由此，可以使第一滑动部滑动，并可以使第二滑动部滑动。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述第二基部能够与供所述电子元器件载置的电子元器件载置部抵接。由此，可以使第二基部的姿势成为仿效电子元器件载置部的形状的状态。因此，在该仿效状态下，第二滑动部可以抵接于电子元器件。其结果，例如在电子元器件载置部是进行对电子元器件的电气检查的部件的情况下，即便是未获得电子元器件载置部(插座)和推进器的平行度时，也可以有助于电子元器件的各端子和载置部的各端子的充分接触。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述第二滑动部抵接于所述电子元器件的抵接力与所述第二基部抵接于所述电子元器件载置部的抵接力不同。例如，通过使第二滑动部抵接于电子元器件的抵接力小于第二基部抵接于电子元器件载置部的抵接力，从而可以在发挥上述效果的同时，防止对电子元器件过度地按压。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，具有向所述第一空间和所述第二空间供给相同压力的工作流体的工作流体供给部。通过设置第一空间和第二空间共同的工作流体供给部，可以使装置构成简单。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，具有与所述第二空间连通的第三空间。由此，与设置有第三空间相应地，可以抑制第二空间的压力的变动。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述第一滑动部承受所述工作流体的第一受压面的面积大于所述第二滑动部承受所述工作流体的第二受压面的面积。由此，在使第一空间和第二空间的压力相同的情况下，可以使施加于第一滑动部的力大于施加于第二滑动部的力。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述第二基部能够与所述电子元器件的局部抵接。由此，例如在第二基部按压了电子元器件的局部的状态下，第二滑动部可以按压电子元器件的剩余部分。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述第二滑动部抵接于所述电子元器件的抵接力与所述第二基部抵接于所述电子元器件的抵接力不同。由此，可以减小电子元器件中第二滑动部与电子元器件抵接的部分的负荷、或者可以减小电子元器件中第二基部与电子元器件抵接的部分的负荷。即、可以对应于电子元器件的部位而使抵接力不同。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述第二基部和所述第二滑动部在不同的位置与所述电子元器件抵接。由此，例如在第二基部按压了电子元器件的局部的状态下，第二滑动部可以按压电子元器件的剩余部分。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，流向所述第一空间的所述工作流体的压力和流向所述第二空间的所述工作流体的压力能够分别进行变更。由此，可以使施加于第一滑动部的力和施加于第二滑动部的力不同。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，具有：可动部，能够载置所述电子元器件进行移动；以及力检测部，设置于所述可动部，并能够检测力，其中，所述力检测部能够与抵接于了所述第二滑动部的所述电子元器件抵接。由此，例如在通过检查部进行对电子元器件的检查的情况下，可以将把持部所把持的电子元器件抵接于检查部时的实际的抵接力替换为通过力检测部检测到的抵接力。并且，可以根据在力检测部检测到的抵接力的大小，判断电子元器件检查时的抵接力对于该电子元器件来说是否是适度的大小。本专利技术的电子元器件检查装置其特征在于，具备：第一基部；第一滑动部，相对于所述第一基部能够滑动；第二基部，配置于所述第一滑动部；第二滑动部，相对于所述第二基部能够滑动，并且能够与电子元器件抵接；以及检查部，检查所述电子元器件，其中，在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有容积能够变动的第一空间，在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有容积能够变动的第二空间。由此，即使是电子元器件存在个体差异，也可以通过调节第一空间以及第二空间内的工作流体的压力来抵消该差异。并且，例如在通过检查部进行对电子元器件的电气检查时，可以与电子元器件的个体差异无关地使电子元器件的各端子均匀地抵接于检查部的各端子，从而可以准确地进行其检查。本专利技术的电子元器件传送装置其特征在于，具备：吸引部，能够通过吸引来把持电子元器件，并能够向吸引所述电子元器件的吸引方向移动；以及施力部，能够向所述吸引方向的反方向对所述吸引部施力，并且，在吸引了所述电子元器件的状态下，能够向所述吸引方向收缩。由此，即使是电子元器件存在个体差异，也可以通过能够在吸引了电子元器件的状态下进行收缩的施力部来抵消该差异。并且，例如在通过检查部进行对电子元器件的电气检查时，可以与电子元器件的个体差异无关地使电子元器件的各端子均匀地与检查部的各端子抵接，因此，可以准确地进行其检查。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，能够配置具有与所述吸引部抵接的抵接部并供所述电子元器件载置的载置部，并且，具有在所述吸引部与所述抵接部抵接的状态下能够调整所述吸引部的姿势的姿势调整部。由此，例如在载置部是进行对电子元器件的电气检查的部件的情况下，可以有助于电子元器件的各端子和载置部的各端子的充分接触。在本专利技术的电子元器件传送装置中，优选地，所述抵接部由厚度可变更的板状部件构成。由此，例如在载置部是进行对电子元器件的电本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电子元器件传送装置，其特征在于，具备：第一基部；第一滑动部，相对于所述第一基部能够滑动；第二基部，配置于所述第一滑动部；以及第二滑动部，相对于所述第二基部能够滑动，并且能够与电子元器件抵接，在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有容积能够变动的第一空间，在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有容积能够变动的第二空间。
【技术特征摘要】
2016.09.29 JP 2016-190786;2016.09.29 JP 2016-190781.一种电子元器件传送装置，其特征在于，具备：第一基部；第一滑动部，相对于所述第一基部能够滑动；第二基部，配置于所述第一滑动部；以及第二滑动部，相对于所述第二基部能够滑动，并且能够与电子元器件抵接，在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有容积能够变动的第一空间，在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有容积能够变动的第二空间。2.根据权利要求1所述的电子元器件传送装置，其特征在于，工作流体能够出入所述第一空间以及所述第二空间。3.根据权利要求1所述的电子元器件传送装置，其特征在于，所述第二基部能够与供所述电子元器件载置的电子元器件载置部抵接。4.根据权利要求3所述的电子元器件传送装置，其特征在于，所述第二滑动部抵接于所述电子元器件的抵接力与所述第二基部抵接于所述电子元器件载置部的抵接力不同。5.根据权利要求1所述的电子元器件传送装置，其特征在于，所述电子元器件传送装置具有向所述第一空间和所述第二空间供给工作流体的工作流体供给部。6.根据权利要求1所述的电子元器件传送装置，其特征在于，所述电子元器件传送装置具有与所述第二空间连通的第三空间。7.根据权利要求2所述的电子元器件传送装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村敏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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