蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器生产设备，所述蒸发源包括：坩埚、盖体以及辅加热件，所述坩埚内限定出容纳空间，所述盖体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔，所述辅加热件适于对所述喷嘴加热。根据本发明专利技术实施例的蒸发源，通过辅加热件对喷嘴进行加热，以降低经由喷嘴喷出的被蒸发的气体在喷嘴处凝固或凝华所导致喷嘴堵塞的概率，从而提高了蒸发源工作的稳定性，进而避免了生产设备宕机，以提高生产设备的生产稼动率，此外，还使蒸发源的蒸镀效果更好。

The production equipment of the steam source, the evaporation device and the organic electroluminescent display

The invention discloses an evaporation source, vapor deposition apparatus and organic electroluminescent display production equipment, the evaporation source includes a crucible, a cover body and auxiliary heating element, the crucible defines a receiving space, the cover to cover in the crucible and the crucible is fixedly connected with the Institute. The cover body is provided with a plurality of nozzles at the top of the nozzle has a nozzle hole communicated with the accommodating space, the auxiliary heating element is suitable for heating the nozzle. According to the evaporation source is an embodiment of the invention, the auxiliary heating element for heating the nozzle, to reduce the probability of being ejected through the nozzle to nozzle clogging caused by evaporation of the gas in the nozzle solidification or sublimation, thus improving the stability of the evaporation source, and avoid the production equipment downtime, in order to improve the production of grain production equipment in addition, the real rate of evaporation source evaporation effect is better.

【技术实现步骤摘要】
蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备
本专利技术涉及显示设备
，具体而言，涉及一种蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备。
技术介绍
相关技术中，OLED(英文为OrganicLight-EmittingDiode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。然而，OLED显示器(即有机电致发光显示器)的生产稼动率成为了制约其市场化普及的主要因素。有机发光层(应为OrganicElectro-Luminescence)为OLED显示器的重要组成成分为，有机发光层通常通过蒸镀的方式集成在相应的零件上。其中，蒸镀过程中对有机发光材料的加热是在蒸发源内实施的，有机发光材料在蒸发源内被加热后升华或蒸发并从蒸发源的喷嘴喷出，由于热量传递过程中的损失较多，最终喷嘴处的温度远低于坩埚的温度，导致气态的有机发光材料遇冷凝固或凝华并堵塞喷嘴，导致生产设备故障，降低生产稼动率。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种喷嘴不易堵塞、可靠性更高的蒸发源。本专利技术还提出了一种具有上述蒸发源的蒸镀装置。本专利技术又提出了一种具有上述蒸镀装置的有机电致发光显示器的生产设备。根据本专利技术第一方面实施例的蒸发源包括：坩埚、盖体以及辅加热件，所述坩埚内限定出容纳空间，所述盖体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔，所述辅加热件适于对所述喷嘴加热。根据本专利技术实施例的蒸发源,通过辅加热件对喷嘴进行加热，以降低经由喷嘴喷出的气体，在喷嘴处凝固或凝华导致喷嘴堵塞的概率，从而提高了蒸发源的工作稳定性，并使蒸发源的蒸镀效果更好，进而避免了生产设备宕机，以提高生产设备的生产稼动率。根据本专利技术的一些实施例，所述辅加热件在所述喷嘴的外部对所述喷嘴加热，所述辅加热件邻近所述喷嘴的顶端设置。在一些实施例中，所述辅加热件的下端与所述喷嘴的根部间隔开，且所述辅加热件至少覆盖所述喷嘴的外壁的上部。可选地，所述辅加热件为加热丝，所述加热丝至少环绕所述喷嘴的外壁分布。根据本专利技术的一些实施例，所述蒸发源还包括第一隔热件，所述第一隔热件套设在所述喷嘴外且所述辅加热件位于所述第一隔热件与所述喷嘴的外壁之间。进一步地，所述第一隔热件为环形套体，所述第一隔热件至少覆盖住所述辅加热件。进一步地，所述第一隔热件的高度小于或等于所述喷嘴的高度，所述第一隔热件的顶端与所述喷嘴的顶端相平齐或低于所述喷嘴的顶端。根据本专利技术的一些实施例，所述蒸发源还包括第二隔热件，所述第二隔热件夹设在所述盖体与所述坩埚之间。可选地，所述第一隔热件和所述第二隔热件均为微纳隔热板，所述微纳隔热板为多孔结构。在一些实施例中，所述盖体包括盖体本体和所述喷嘴，所述喷嘴连接在所述盖体本体上，所述盖体本体具有连通孔，所述喷孔通过所述连通孔与所述容纳空间连通，所述蒸发源还包括主加热件所述主加热件适于对所述坩埚加热，所述辅加热件适于对所述喷嘴和所述盖体本体加热，所述辅加热件的预设温度-所述主加热件的预设温度≥20℃。进一步地，所述蒸发源还包括散热器以及热反射件，所述散热器设置在所述坩埚以及所述盖体组成的整体外，所述热反射件至少设于所述盖体上方。可选地，所述热反射件为包括多个反射板，所述多个反射板层叠设置且焊接为一体。根据本专利技术第二方面实施例的蒸镀装置，包括如上述实施例中所述的蒸发源。根据本专利技术又一方面实施例的有机电致发光显示器生产设备，包括上述实施例中所述的蒸镀装置。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术实施例的蒸发源的一个示意图；图2是根据本专利技术实施例的蒸发源的另一个示意图；图3是根据本专利技术实施例的蒸发源的喷嘴、第一隔热件以及辅加热件的纵向剖视示意图；图4是根据本专利技术实施例的蒸发源的喷嘴、第一隔热件以及辅加热件的横向剖视示意图；图5是根据本专利技术实施例的蒸发源的辅加热件的示意图。附图标记：蒸发源100，坩埚1，盖体2，喷嘴21，喷孔211，盖体本体22，辅加热件3，第一隔热件4，第二隔热件5。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的单元或具有相同或类似功能的单元。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参考图1至图5描述根据本专利技术实施例的蒸发源100。如图1和图2所示，根据本专利技术第一方面实施例的蒸发源100包括：坩埚1、盖体2以及辅加热件3，坩埚1内限定出容纳空间(图中未示出)，盖体2罩盖在坩埚1上并与坩埚1固定连接，盖体2具有位于顶端的多个喷嘴21，喷嘴21均具有与容纳空间连通的喷孔211，辅加热件3适于对喷嘴21加热。需要说明的是,喷孔211可以直接与坩埚1的容纳空间连通,也可以通过盖体2上的连通孔与容纳空间间接连通,以保证位于容纳空间内的待加热材料(如液态或固态的有机发光材料)在被加热蒸发后能够从喷嘴21的喷孔211中喷出。根据本专利技术实施例的蒸发源100，通过辅加热件3对喷嘴21进行加热，以降低经由喷嘴21喷出的气体(即气态有机发光材料)，在喷嘴21处凝固或凝华导致喷孔211堵塞的概率，从而提高了蒸发源100的工作稳定性，避免了生产设备宕机，提高生产效率、以提高生产设备的生产稼动率，此外，还使蒸发源100的蒸镀效果更好。此外，一旦有机发光材料堵塞了个别喷嘴21，可以通过调节辅加热件3的工作温度以使喷孔211内的有机发光材料快速蒸发或升华，进而可以快速地解决喷嘴21堵塞的问题，提高喷嘴21堵塞的处理速度。如图3和图4所示，辅加热件3在喷嘴21的外部对喷嘴21加热，辅加热件3邻近喷嘴21的顶端设置。具体地，气态的有机发光材料由喷嘴21的底端运动到喷嘴21的顶端时，气体的热量损失较大，进而通过位于坩埚1的上方的辅加热件3在喷嘴21的顶端对气体进行辅助加热，以避免气态的有机发光材料在喷嘴21的顶端凝华或凝固。由此，不仅可以提高蒸发源100的工作稳定性，防止喷嘴21堵塞，而且温度较高的气态的有机发光材料可以更均匀的分布在待蒸镀件上，以使产品上的蒸镀层更加均匀。此外，通过辅加热件3可以使由喷嘴21流出的气态的有机发光材料的温度更高，进而使气态的有机发光材料的流动性更好，以使有机发光材料均匀地密布在产品需要蒸镀的表面，以提高有机发光材料的材料利用率，节约生产成本。在一些实施例中，辅加热件3的下端与喷嘴21的根部间隔开，且辅加热件3至少覆盖喷嘴21的外壁的上部。由此，通过将辅加热件3与喷嘴21的根部间隔开，以减少辅加热件3的热量向盖体2的流失，并使辅加热件3至少覆盖住喷嘴21的外壁，以确保辅加热件3可以针对性地对即将流出喷嘴21的气态的有机发光材料进行加热，以进一步地提高辅加热件3的加热效果。可选地，辅加热件3为加热丝，加热丝至少环绕喷嘴21的外壁分布。如图5所示，用于对喷嘴进行加热的加热丝在从一个喷嘴向另一个喷嘴过渡时还可以贴在盖体本体22上，这样能够进一步为盖体本体22进行加热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源，其特征在于，包括：坩埚，所述坩埚内限定出容纳空间；盖体，所述盖体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔；以及辅加热件，所述辅加热件适于对所述喷嘴加热。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：坩埚，所述坩埚内限定出容纳空间；盖体，所述盖体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔；以及辅加热件，所述辅加热件适于对所述喷嘴加热。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述辅加热件在所述喷嘴的外部对所述喷嘴加热，所述辅加热件邻近所述喷嘴的顶端设置。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述辅加热件的下端与所述喷嘴的根部间隔开，且所述辅加热件至少覆盖所述喷嘴的外壁的上部。4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述辅加热件为加热丝，所述加热丝至少环绕所述喷嘴的外壁分布。5.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括第一隔热件，所述第一隔热件套设在所述喷嘴外且所述辅加热件位于所述第一隔热件与所述喷嘴的外壁之间。6.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在于，所述第一隔热件为环形套体，所述第一隔热件至少覆盖住所述辅加热件。7.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在于，所述第一隔热件的高度小于或等于所述喷嘴的高度，所述第一隔热件的顶端与所述喷嘴的顶端相平齐或低于所述喷嘴的顶端。8.根据权利要求1-7中...

【专利技术属性】
技术研发人员：王梦帝，胡长奇，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34