一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘和支撑座，所述支撑座的中部设有支撑柱，所述支撑柱的侧面铰接有防护门，所述支撑座的内部设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端连接有支杆，所述坩埚托盘设置在支杆的上端，所述坩埚托盘的下端设有与支杆匹配的插孔，所述坩埚托盘的上端设有坩埚。该碳化硅生产用长晶炉支撑装置，通过在支撑座的内部设有螺纹杆，并通过转动轴承将螺纹杆与支杆连接，当发热体变形而发生偏移时，可以通过调节螺纹杆的高度来调节坩埚托盘的偏移，该组合结构可以将发热体与坩埚托盘保持同心，增加结晶质量和效率，结构简单，使用安全方便。

A long crystal furnace supporting device for the production of silicon carbide

The utility model discloses a supporting device for long crystal furnace with silicon carbide production, including the crucible tray and a supporting seat, the supporting seat is provided with a middle support column and the support column is hinged on the side surface of the protective door, the internal supporting seat is provided with a screw hole, the screw hole internal screwed the upper end of the threaded rod, the threaded rod is connected with a supporting rod, wherein the crucible tray is arranged on an upper end of the rod, the lower end of the tray is provided with a jack, and the crucible rod, the upper end of the tray is provided with a crucible crucible. The production of silicon carbide support device for crystal growth furnace, the threaded rod is arranged in a supporting seat inside, and through the rotation of the threaded rod is connected with the bearing rod when the heating body deformation and offset, offset by adjusting the threaded rod to regulate the height of the crucible tray, the composite structure can be made and heat the crucible tray maintain concentric, increase the crystallization quality and efficiency, simple structure, safe and convenient to use.

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置
本技术属于碳化硅生产
，具体涉及一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置。
技术介绍
工作时，为提高晶体的质量，理论上需将钨坩埚放置在发热体的中心位置，即钨坩埚与发热体的同心度要一致，为保证钨坩埚与发热体的同心度，现有的碳化硅长晶炉中是先将钨托盘设置在发热体的中心位置上，再通过钨托盘与钨坩埚之间进行紧配合从而保证钨坩埚与发热体的同心度。在实际工作过程中，由于炉内温度可高达2000多度且加工一炉的时间会长达10至20天左右，在这种情况下，发热体在使用一段时间后会发生变形，这时钨托盘与钨坩埚就不能保证同心度，需要将钨坩埚在水平上移动进行中心调整，但是，由于现有技术中的钨托盘与钨坩埚之间是通过紧配合连接的。为此，我们提出一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，以解决上述
技术介绍
中提到的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘和支撑座，所述支撑座的中部设有支撑柱，所述支撑柱的侧面铰接有防护门，所述支撑座的内部设有螺纹孔，所述螺纹孔的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘(1)和支撑座(2)，其特征在于：所述支撑座(2)的中部设有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的侧面铰接有防护门(4)，所述支撑座(2)的内部设有螺纹孔(5)，所述螺纹孔(5)的内部螺接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的上端连接有支杆(7)，所述坩埚托盘(1)设置在支杆(7)的上端，所述坩埚托盘(1)的下端设有与支杆(7)匹配的插孔(8)，所述坩埚托盘(1)的上端设有坩埚(9)。

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘(1)和支撑座(2)，其特征在于：所述支撑座(2)的中部设有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的侧面铰接有防护门(4)，所述支撑座(2)的内部设有螺纹孔(5)，所述螺纹孔(5)的内部螺接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的上端连接有支杆(7)，所述坩埚托盘(1)设置在支杆(7)的上端，所述坩埚托盘(1)的下端设有与支杆(7)匹配的插孔(8)，所述坩埚托盘(1)的上端设有坩埚(9)。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，其特征在于：所述螺纹杆(6)设有三组，且所述螺纹杆(6)等角度分布在支撑柱(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗艳民，刘家朋，
申请(专利权)人：山东天岳先进材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37