太阳电池扩散源恒温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种太阳电池扩散源恒温装置，包括带有密封门的箱体，箱体内设有放置内装有三氯氧磷的源瓶的搁板，箱体通过管道连接有向箱体内通入冷却气体的压缩机，所述的源瓶上连接有向源瓶内通入高纯度氮气的氮气进气管和携带三氯氧磷蒸汽通入扩散炉的氮气出气管，所述的氮气进气管插入至源瓶底部，氮气出气管连接在源瓶顶部。本实用新型专利技术可为电池片的扩散处理提供源温稳定的反应气体，以确保电池片的方阻均匀性、方阻稳定性等指标均优于现行标准。

Solar cell diffuser constant temperature device

The utility model relates to a solar battery diffusion source heating device comprises a case body with a sealed door, the box body is provided with a bottle with a three source of phosphorus oxychloride is placed in the shelf box through the pipeline is connected with a compressor cooling gas to pass into the box body, source bottle connected with the nitrogen intake of high purity nitrogen access to the source pipe in the bottle and carry three nitrogen phosphorus oxychloride steam into the diffusion furnace outlet pipe, the air inlet pipe at the bottom of the nitrogen source is inserted into the bottle, the nitrogen outlet pipe is connected to the source of the bottle top. The utility model can provide a source temperature stable reaction gas for the diffusion treatment of the battery sheet, so as to ensure that the square resistance uniformity and the square resistance stability of the battery sheet are all better than the existing ones.

【技术实现步骤摘要】
太阳电池扩散源恒温装置
本技术涉及一种太阳电池扩散源恒温装置。
技术介绍
太阳电池扩散工艺中，一般选用三氯氧磷作为扩散源，将500mL的三氯氧磷扩散源置于恒定水浴槽中以保持工艺温度。在水浴控温中源瓶并非浸没在水中，中间隔着不锈钢槽，水温传导给不锈钢槽体，不锈钢槽体再传导给源瓶，电路控制的是水温而非三氯氧磷源温，因此控温准确性不足。同时由于三氯氧磷为剧毒物品，目前光伏企业用恒温水槽来将三氯氧磷保存在20℃的条件下使用，而三氯氧磷一旦泄露和水接触，便会产生剧毒和浓烟，因此操作安全性较差，工人每次操作必须全副武装做好防护，却仍然存在安全隐患。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术中之不足，本技术提供一种安全性高、源瓶控温准确的太阳电池扩散源恒温装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳电池扩散源恒温装置，包括带有密封门的箱体，箱体内设有放置内装有三氯氧磷的源瓶的搁板，箱体通过管道连接有向箱体内通入冷却气体的压缩机，所述的源瓶上连接有向源瓶内通入高纯度氮气的氮气进气管和携带三氯氧磷蒸汽通入扩散炉的氮气出气管，所述的氮气进气管插入至源瓶底部，氮气出气管连接在源瓶顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳电池扩散源恒温装置，包括带有密封门(2)的箱体(1)，箱体(1)内设有放置内装有三氯氧磷的源瓶(3)的搁板(4)，箱体(1)通过管道连接有向箱体(1)内通入冷却气体的压缩机，其特征是：所述的源瓶(3)上连接有向源瓶(3)内通入高纯度氮气的氮气进气管(5)和携带三氯氧磷蒸汽通入扩散炉的氮气出气管(6)，所述的氮气进气管(5)插入至源瓶(3)底部，氮气出气管(6)连接在源瓶(3)顶部。

【技术特征摘要】
1.一种太阳电池扩散源恒温装置，包括带有密封门(2)的箱体(1)，箱体(1)内设有放置内装有三氯氧磷的源瓶(3)的搁板(4)，箱体(1)通过管道连接有向箱体(1)内通入冷却气体的压缩机，其特征是：所述的源瓶(3)上连接有向源瓶(3)内通入高纯度氮气的氮气进气管(5)和携带三氯氧磷蒸汽通入扩散炉的氮气出气管(6)，所述的氮气进气管(5)插入至源瓶(3)底部，氮气出气管(6)连接在源瓶(3)顶部。2.如权利要求1所述的太阳电池扩...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭银银，符亮，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32