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本实用新型涉及一种太阳电池扩散源恒温装置，包括带有密封门的箱体，箱体内设有放置内装有三氯氧磷的源瓶的搁板，箱体通过管道连接有向箱体内通入冷却气体的压缩机，所述的源瓶上连接有向源瓶内通入高纯度氮气的氮气进气管和携带三氯氧磷蒸汽通入扩散炉的氮气...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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