高纯氮化硅粉生产线制造技术

本实用新型专利技术提供了一种高纯氮化硅粉生产线，包括原料混合装置、合成装置、产品收集装置，原料混合装置、合成装置、产品收集装置依次通过输送管路连接，输送管路连接除尘系统，除尘系统连接一级喷淋装置和二级喷淋装置。本实用新型专利技术利用除尘系统的引风负压，对粉块进行吸扫，同时采取密闭作业，由设备代替人工操作，来保证产品纯度，从而使粉体杂质含量从PPm级到PPb级的提升，另外还提高了收率，降低了成本，保护环境不被污染。

High purity silicon nitride powder production line

The utility model provides a high-purity silicon nitride powder production line, including raw material mixing device, synthesis device, product collecting device, collecting device raw material mixing device, product synthesis device, followed by the connecting pipeline, pipeline connection dust removal system, dust removal system is connected with a spray device and two spray device. The utility model uses air negative pressure dust removal system, the powder block was sweeping, take closed operations at the same time, by the device instead of manual operation, to ensure the purity of the product, so that the powder content of impurities from PPm level to PPb level increased, also increased the yield, reduce costs, protect the environment from being polluted.

【技术实现步骤摘要】
高纯氮化硅粉生产线
本技术涉及氮化硅粉生产
，尤其涉及氮化硅粉生产设备。
技术介绍
氮化硅耐高温性能和化学稳定性好，致密性好，是强共价键化合物，有良好的抗氧化、抗腐蚀和耐高温等性能，并且不与熔融硅发生反应，非常符合提纯多晶硅过程中坩埚涂层的要求。但是作为涂层，要求氮化硅粉的纯度高，避免污染硅锭。原有氮化硅粉体生产只是采取人工削切氮化硅粉块的外层方式，来保证纯度，导致产品的收率底，环境污染。
技术实现思路
为了解决原有氮化硅粉体生产方式存在的上述问题，本技术提供了一种高纯氮化硅粉生产线。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：高纯氮化硅粉生产线，包括原料混合装置4、合成装置5、产品收集装置6，原料混合装置4、合成装置5、产品收集装置6依次通过输送管路7连接，输送管路7连接除尘系统3，除尘系统3连接喷淋装置。所述喷淋装置包括一级喷淋装置2和二级喷淋装置1。本技术的高纯氮化硅粉生产线，利用除尘系统的引风负压，对粉块进行吸扫，同时采取密闭作业，由设备代替人工操作，来保证产品纯度，从而使粉体杂质含量从PPm级到PPb级的提升，另外还提高了收率，降低了成本，保护环境不被污染。附图说明图1是本技术高本文档来自技高网...

【技术保护点】
高纯氮化硅粉生产线，其特征在于：包括原料混合装置（4）、合成装置（5）、产品收集装置（6），原料混合装置（4）、合成装置（5）、产品收集装置（6）依次通过输送管路（7）连接，输送管路（7）连接除尘系统（3），除尘系统（3）连接喷淋装置。

【技术特征摘要】
1.高纯氮化硅粉生产线，其特征在于：包括原料混合装置（4）、合成装置（5）、产品收集装置（6），原料混合装置（4）、合成装置（5）、产品收集装置（6）依次通过输送管路（7）连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：高明轩，柏小龙，
申请(专利权)人：埃克诺新材料大连有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21