The invention discloses a method for producing silicon nitride and silicon nitride, the method comprises the following steps: the raw material of silicon and nitrogen into at least two tandem fluidized bed device for reaction, reaction temperature is 1281~1600 DEG C, obtained silicon nitride. The present invention, raw material of silicon and nitrogen into at least two tandem fluidized bed device within 1281 to 1600 DEG C through the fluidized bed tandem reaction, so as to prolong the residence time of the raw material of silicon and nitrogen in it, so as to increase the contact time of raw materials of silicon and nitrogen, beneficial to prolonging the reaction time increase reaction efficiency further, improve the production yield of silicon nitride. The preparation method of the invention is simple, the performance is controllable, and the production cycle is short, which greatly reduces the production cost and is suitable for large-scale industrial production.
【技术实现步骤摘要】
一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅
本专利技术属于多晶硅生产
,具体涉及一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅。
技术介绍
氮化硅突出的优点包括机械强度高、热稳定性好、化学性能稳定,这些优点使得它广泛的应用在冶金、机械、能源、化工、半导体、航空航天、汽车工业、核动力工程和医学工程领域,氮化硅完全满足现代技术经常遇到的高温、高速、强腐蚀介质和高磨损的工作环境,且工作寿命长,技术性能稳定,可以与高温合金媲美,应用效果令人满意。随着氮化硅材料的应用范围不断扩大,高性能、低成本的氮化硅粉体的制备越来越引起人们的重视。然而想要得到性能优良的氮化硅陶瓷材料,首先必须要制备出高品质的氮化硅粉体。目前氮化硅粉体的主要制备方法有直接氮化法、碳碳热还原法、氨解法、等离子气相合成法PCVD、热分解法,不同方法制备的氮化硅粉体产品品质存在较大的差异。同时粉体中晶相含量也各不相同。相对于氮化硅的各种生产方法,直接氮化法生产工艺流程简单、生产成本较低,生产氮化硅产品的品质能够满足广泛工程应用的要求,同时直接氮化硅粉过程没有副产品。但是常规直接氮化法生产工艺存在生产周期长、劳动强度大、生产效率低、间歇性生产存在污染环境及职业健康侵害,产品品质均一性较差等一系列问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足,提供一种β相氮化硅的生产方法及β相氮化硅,通过多级串联的流化床装置从而延长了原料硅和氮气在其内的停留时间,从而提高了原料硅和氮气的接触时间,有利于延长反应时间提高反应效率。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是提供一种β相氮化硅的生产方法,包括以 ...
【技术保护点】
一种β相氮化硅的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:将原料硅和氮气通入到至少两级串联的流化床装置内进行反应,反应温度为1281~1600℃,得到β相氮化硅。
【技术特征摘要】
1.一种β相氮化硅的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:将原料硅和氮气通入到至少两级串联的流化床装置内进行反应,反应温度为1281~1600℃,得到β相氮化硅。2.根据权利要求1所述的β相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述流化床装置为2~10级串联。3.根据权利要求1所述的β相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述流化床装置内的压力为0~100KPag。4.根据权利要求1所述的β相氮化硅的生产方法,其特征在于,在串联的每级流化床装置内的所述反应时间为60~600秒。5.根据权利要求1所述的β相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述硅的粒径为1~100μm。6.根据权利要求1~5任意一项所述的β相氮化硅...
【专利技术属性】
技术研发人员:张吉武,黄彬,潘小龙,刘兴平,宋娟娟,
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:新疆,65
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