【技术实现步骤摘要】
一种用于氮化炉的气体稳压装置
本技术涉及氮化炉
,具体为一种用于氮化炉的气体稳压装置。
技术介绍
氮化硅粉体在光伏产业中作为硅锭的脱模剂来使用,也用做实验阶段的荧光粉和溅射用靶材,在医学工程上可以制作人工关节,在工业上用于轴承球、陶瓷刀具、热电偶保护管、升液管等陶瓷的烧结。作为陶瓷烧结用粉体原料,产品质量的稳定性至关重要。硅粉氮化法生产氮化硅粉体过程中,氮气流量及炉体内氮气压力对粉体质量的稳定性起到至关重要的作用,现有氮化炉一般通过流量计控制氮气流量,通过手动泄气孔稳定炉体内氮气压力。氮化炉内氮气压力随着炉内温度的升高而增大,很难通过手动泄气孔来保持炉内氮气压力的稳定。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于氮化炉的气体稳压装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于氮化炉的气体稳压装置,包括有阀门主体,所述阀门主体的左端和右端分别安装法兰,阀门主体的左端设有进气孔,阀门主体的右端设有出气孔,所述阀门主体内设有气动活塞,气动活塞的上端设置定位稍,且定位稍带有螺纹及螺纹孔,所述定位稍的螺纹孔内旋入旋转螺栓,且旋转螺栓旋入阀门主体内部,所述旋转螺栓通过压感弹簧与气动活塞连接,所述定位稍、旋转螺栓及气动活塞之间设置密封圈,所述压感弹簧连接压力传感器。优选的,所述阀门主体的左侧和下部各自设有凸块,两个所述的凸块与气动活塞的底部相接触。优选的,所述阀门主体的凸块上垂直设有导向杆,气动活塞的本体对称开设导向槽,导向槽与导向杆匹配契合。优选的,所述法兰分别安装在进气孔的端口和出气孔的端口,进气孔连通气动活塞内部。优选的,所述气 ...
【技术保护点】
一种用于氮化炉的气体稳压装置,包括有阀门主体(1),其特征在于:所述阀门主体(1)的左端和右端分别安装法兰(2),阀门主体(1)的左端设有进气孔(3),阀门主体(1)的右端设有出气孔(4),所述阀门主体(1)内设有气动活塞(5),气动活塞(5)的上端设置定位稍(6),且定位稍(6)带有螺纹及螺纹孔,所述定位稍(6)的螺纹孔内旋入旋转螺栓(7),且旋转螺栓(7)旋入阀门主体(1)内部,所述旋转螺栓(7)通过压感弹簧(8)与气动活塞(5)连接,所述定位稍(6)、旋转螺栓(7)及气动活塞(5)之间设置密封圈(9),所述压感弹簧(8)连接压力传感器(10)。
【技术特征摘要】
1.一种用于氮化炉的气体稳压装置,包括有阀门主体(1),其特征在于:所述阀门主体(1)的左端和右端分别安装法兰(2),阀门主体(1)的左端设有进气孔(3),阀门主体(1)的右端设有出气孔(4),所述阀门主体(1)内设有气动活塞(5),气动活塞(5)的上端设置定位稍(6),且定位稍(6)带有螺纹及螺纹孔,所述定位稍(6)的螺纹孔内旋入旋转螺栓(7),且旋转螺栓(7)旋入阀门主体(1)内部,所述旋转螺栓(7)通过压感弹簧(8)与气动活塞(5)连接,所述定位稍(6)、旋转螺栓(7)及气动活塞(5)之间设置密封圈(9),所述压感弹簧(8)连接压力传感器(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于氮化...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹献莹,刘久明,田卓,张嵘,
申请(专利权)人:河北正雍新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
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