A PCB plasma processing apparatus includes: a process chamber for plasma processing, provides a place for PCB circuit board; the process chamber is provided with a plasma source for the PCB circuit board is positioned inside a process chamber of a plasma processing; on the track, the first side through the process chamber, for the entrance to the process chamber end process the cavity body transfer PCB circuit board; the moving mechanism, for the second side of the PCB circuit board is moved to the process chamber will be located in the first side of the process chamber; under the track, second side through the process chamber, PCB circuit board to process through the outlet end of the cavity will be located in the process chamber second side outgoing process cavity. Thus, the PCB circuit board can be automatically conveyed to the process cavity, and the PCB circuit board can be automatically transmitted from the process cavity, thus improving the automation level of the plasma treatment of the PCB board. The rapid pipelining operation can be realized, and the efficiency of plasma treatment can be improved.
【技术实现步骤摘要】
PCB等离子体加工装置
本专利技术涉及PCB加工领域,具体涉及一种PCB等离子体加工装置。
技术介绍
印刷电路板(PCB)是电子信息业不可或缺的重要配件。PCB在加工过程中,常需要进行等离子体处理。等离子体处理能激活活性,对印刷电路板去污和背面蚀刻是一种较方便、高效、优质的方法。等离子体处理的流程是在钻孔后沉铜前,主要是对孔的处理,普遍的等离子体处理流程为:钻孔——等离子体处理——KMnO4清洗二次处理——化学沉铜。等离子体处理可以清除孔内胶渣残留、碳化物残留导致的内层铜层电性结合不良以及回蚀不充分等问题,但目前制程存在清除不彻底,因此需要额外增加KMnO4药水进行二次处理,以彻底消除胶渣及碳化物对PCB板性能的影响。一般而言,在对PCB进行等离子体处理时,常通过高频发生器(典型40KHZ和13.56MHZ),利用电场的能量在真空条件下、分离加工气体建立等离子体体技术。这些激发不稳定的分离气体物质,将表面进行改性和轰击。现有技术中,在进行等离子体处理时,常将需要处理的PCB板人工叠放在等离子体处理用的工艺腔中,在人工叠放待处理的PCB板后,启动等离子体处理程序,以对放置在工艺腔中的待处理的PCB板同时进行等离子体处理;在等离子体处理完毕后,再将位于工艺腔中的PCB板人工取出。这种等离子体处理方式虽然能够批量处理,但是,在等离子体处理前后需要人工进行放置和取出,非常繁琐,自动化程度偏低。此外,这种等离子体处理方式总耗时长达30分钟。因此,如何解决人力需求过多,以实现快速流水作业与现行流水制程衔接成为亟待解决的技术问题。此外,如何更有效地清除PCB板孔内残胶和 ...
【技术保护点】
一种PCB等离子体加工装置,其特征在于,包括:工艺腔,用于为PCB电路板提供等离子体加工场所;所述工艺腔设置有等离子体源,用于为位于所述工艺腔内的PCB电路板进行等离子体加工;上片轨道,贯穿所述工艺腔腔体的第一侧,用于通过所述工艺腔腔体的入口端向所述工艺腔腔体内传送PCB电路板;移动机构,用于将位于所述工艺腔腔体第一侧的PCB电路板移动至所述工艺腔腔体的第二侧;下片轨道,贯穿所述工艺腔腔体的第二侧,用于通过所述工艺腔腔体的出口端将位于所述工艺腔腔体第二侧的PCB电路板传出所述工艺腔腔体。
【技术特征摘要】
1.一种PCB等离子体加工装置,其特征在于,包括:工艺腔,用于为PCB电路板提供等离子体加工场所;所述工艺腔设置有等离子体源,用于为位于所述工艺腔内的PCB电路板进行等离子体加工;上片轨道,贯穿所述工艺腔腔体的第一侧,用于通过所述工艺腔腔体的入口端向所述工艺腔腔体内传送PCB电路板;移动机构,用于将位于所述工艺腔腔体第一侧的PCB电路板移动至所述工艺腔腔体的第二侧;下片轨道,贯穿所述工艺腔腔体的第二侧,用于通过所述工艺腔腔体的出口端将位于所述工艺腔腔体第二侧的PCB电路板传出所述工艺腔腔体。2.如权利要求1所述的PCB等离子体加工装置,其特征在于,所述等离子体源位于所述工艺腔腔体的第一侧和所述工艺腔腔体的第二侧之间,用于分别对位于所述工艺腔腔体的第一侧上的PCB电路板和所述工艺腔腔体的第二侧上的PCB电路板进行等离子体处理。3.如权利要求1所述的PCB等离子体加工装置,其特征在于,所述等离子体源为微波等离子体发生装置。4.如权利要求1-3任意一项所述的PCB等离子体加工装置,其特征在于,所述工艺腔腔体的入口端和所述工艺腔腔体的出口端位于所述工艺腔的同一端面;所述PCB等离子体加工装置还包括:过渡腔,与所述工艺腔腔体的入口端和出口端连通...
【专利技术属性】
技术研发人员:全峰,邬钦崇,邬明旭,朱振龙,
申请(专利权)人:深圳优普莱等离子体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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