一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备技术

本发明专利技术公开了一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备，涉及故障报警技术领域，所述方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。本发明专利技术通过实时监控MPCVD设备的工作参数数据来判断MPCVD设备是否出现异常情况，并针对不同工作参数数据对应的告警程度进行相应的处理，保证了操作人员能够及时处理MPCVD设备的异常情况，有利于金刚石的正常生长。有利于金刚石的正常生长。有利于金刚石的正常生长。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备


[0001]本专利技术涉及故障报警
，尤其涉及一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法、系统、终端及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)设备全称叫微波等离子体化学气相沉积设备，MPCVD设备作为优异的金刚石培育设备，其工作原理是通过微波源产生微波，微波通过波导馈入反应腔体内，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态。等离子体呈球状形成于金刚石衬底上，利用等离子体的高温让衬底可以加热到一定的温度，这样便创造了金刚石生长的基础生长环境。
[0003]MPCVD设备可以以微米级每小时的速率沉积工具级金刚石膜、热沉级金刚石膜、光学级金刚石膜等。但是由于金刚石在生长过程中，生长条件非常苛刻，所涉及到的MPCVD设备参数繁琐，当MPCVD设备出现异常情况后，设备操作人员不能及时进行处理，不利于维持金刚石生长所需要的特定生长环境，严重时，对MPCVD设备也会造成损坏。
[0004]因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法、系统、终端及计算机可读存储介质，旨在解决现有技术中当MPCVD设备出现异常情况后，操作人员无法及时获知并进行处理的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法，所述基于MPCVD设备的故障报警处理方法包括如下步骤：
[0007]获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；
[0008]若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；
[0009]若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。
[0010]可选地，所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其中，所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，之前包括：
[0011]建立存储数据库，所述存储数据库中包括预设损害程度的工作参数和预设工作参数的数据范围；
[0012]接收多种传感器采集的MPCVD设备的工作参数，并根据所述工作参数对所述MPCVD设备的损害程度将所述工作参数进行分类；
[0013]将对所述MPCVD设备的损害程度超过所述预设损害程度的工作参数作为紧急停机
类参数；
[0014]将对所述MPCVD设备的损害程度未超过所述预设损害程度的工作参数作为手动调控类参数。
[0015]可选地，所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其中，所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，具体包括：
[0016]接收多种传感器采集的MPCVD设备的当前工作参数的数据，将所述当前工作参数的数据依次与预设工作参数的数据范围进行对比；
[0017]判断所述紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；
[0018]判断所述手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围。
[0019]可选地，所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其中，所述若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作，具体包括：
[0020]当判断所述紧急停机类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则继续检测下一个紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，直到所有紧急停机类参数全部检测完毕，并且在整个生产过程中实时监控已通过检测的紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；
[0021]当判断所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行告警和控制所述MPCVD设备进行自动紧急停机操作。
[0022]可选地，所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其中，所述若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理，具体包括：
[0023]当判断所述手动调控类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则继续检测下一个手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，直到所有手动调控类参数全部检测完毕，并且在整个生产过程中实时监控已通过检测的手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；
[0024]当判断所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。
[0025]可选地，所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其中，所述操作人员手动处理包括：手动解除警报或调整所述预设工作参数的数据范围或手动停机。
[0026]可选地，所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其中，所述多种传感器包括接触传感器、压力传感器和温度传感器。
[0027]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种基于MPCVD设备的故障报警处理系统，其中，所述基于MPCVD设备的故障报警处理系统包括：
[0028]参数获取模块，用于获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；
[0029]紧急停机模块，用于若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；
[0030]手动调控模块，用于若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范
围，则进行报警和提示操作人员手动处理。
[0031]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种终端，其中，所述终端包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的基于MPCVD设备的故障报警处理程序，所述基于MPCVD设备的故障报警处理程序被所述处理器执行时实现如上所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法的步骤。
[0032]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种计算机可读存储介质，其中，所述计算机可读存储介质存储有基于MPCVD设备的故障报警处理程序，所述基于MPCVD设备的故障报警处理程序被处理器执行时实现如上所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法的步骤。
[0033]本专利技术中，获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述基于MPCVD设备的故障报警处理方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。2.根据权利要求1所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，之前包括：建立存储数据库，所述存储数据库中包括预设损害程度的工作参数和预设工作参数的数据范围；接收多种传感器采集的MPCVD设备的工作参数，并根据所述工作参数对所述MPCVD设备的损害程度将所述工作参数进行分类；将对所述MPCVD设备的损害程度超过所述预设损害程度的工作参数作为紧急停机类参数；将对所述MPCVD设备的损害程度未超过所述预设损害程度的工作参数作为手动调控类参数。3.根据权利要求1所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，具体包括：接收多种传感器采集的MPCVD设备的当前工作参数的数据，将所述当前工作参数的数据依次与预设工作参数的数据范围进行对比；判断所述紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；判断所述手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围。4.根据权利要求1所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作，具体包括：当判断所述紧急停机类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则继续检测下一个紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，直到所有紧急停机类参数全部检测完毕，并且在整个生产过程中实时监控已通过检测的紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；当判断所述紧急停机类参数的数据超...

【专利技术属性】
技术研发人员：全峰，顾亚骏，蒋礼，
申请(专利权)人：深圳优普莱等离子体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：