一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备技术

本发明专利技术公开了一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备，涉及故障报警技术领域，所述方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。本发明专利技术通过实时监控MPCVD设备的工作参数数据来判断MPCVD设备是否出现异常情况，并针对不同工作参数数据对应的告警程度进行相应的处理，保证了操作人员能够及时处理MPCVD设备的异常情况，有利于金刚石的正常生长。有利于金刚石的正常生长。有利于金刚石的正常生长。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备


[0001]本专利技术涉及故障报警
，尤其涉及一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法、系统、终端及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)设备全称叫微波等离子体化学气相沉积设备，MPCVD设备作为优异的金刚石培育设备，其工作原理是通过微波源产生微波，微波通过波导馈入反应腔体内，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态。等离子体呈球状形成于金刚石衬底上，利用等离子体的高温让衬底可以加热到一定的温度，这样便创造了金刚石生长的基础生长环境。
[0003]MPCVD设备可以以微米级每小时的速率沉积工具级金刚石膜、热沉级金刚石膜、光学级金刚石膜等。但是由于金刚石在生长过程中，生长条件非常苛刻，所涉及到的MPCVD设备参数繁琐，当MPCVD设备出现异常情况后，设备操作人员不能及时进行处理，不利于维持金刚石生长所需要的特定生长环境，严重时，对MPCVD设备也会造成损坏。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述基于MPCVD设备的故障报警处理方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。2.根据权利要求1所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，之前包括：建立存储数据库，所述存储数据库中包括预设损害程度的工作参数和预设工作参数的数据范围；接收多种传感器采集的MPCVD设备的工作参数，并根据所述工作参数对所述MPCVD设备的损害程度将所述工作参数进行分类；将对所述MPCVD设备的损害程度超过所述预设损害程度的工作参数作为紧急停机类参数；将对所述MPCVD设备的损害程度未超过所述预设损害程度的工作参数作为手动调控类参数。3.根据权利要求1所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，具体包括：接收多种传感器采集的MPCVD设备的当前工作参数的数据，将所述当前工作参数的数据依次与预设工作参数的数据范围进行对比；判断所述紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；判断所述手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围。4.根据权利要求1所述的基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作，具体包括：当判断所述紧急停机类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则继续检测下一个紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，直到所有紧急停机类参数全部检测完毕，并且在整个生产过程中实时监控已通过检测的紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；当判断所述紧急停机类参数的数据超...

【专利技术属性】
技术研发人员：全峰，顾亚骏，蒋礼，
申请(专利权)人：深圳优普莱等离子体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：