一种微波等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括装置本体，所述装置本体的内部活动连接有密封门，所述装置本体的外部设置有连接管道，所述装置本体的外部设置有防烫结构组件；所述防烫结构组件包括滑条、防烫外壳、滑槽、真空腔、连接板、滑板、水箱、制冷器、水泵、水管和进水头。该微波等离子体化学气相沉积装置，通过设置滑条、防烫外壳和滑槽，使得装置本体便于从防烫外壳的内部安装拆卸，当防烫外壳受到损伤时，便于安装更换，同时可以避免工作人员不小心误碰到装置外壳造成烫伤，通过设置真空腔，方便避免装置本体外壳的热量传递到防烫外壳的外部，通过设置水箱、制冷器、水泵、水管和进水头，方便给防烫外壳的温度降温。方便给防烫外壳的温度降温。方便给防烫外壳的温度降温。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体化学气相沉积装置


[0001]本技术涉及微波等离子体化学气相沉积装置
，具体为一种微波等离子体化学气相沉积装置。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积是使反应气体的分子离化的微波，微波等离子体CVD将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入CH4与H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
[0003]但现有的微波等离子体化学气相沉积装置在使用时，会产生极高的温度，高温传递到装置外壳，会使得装置外壳温度过高，在使用时工作人员不小心误碰到装置外壳极易造成烫伤，故而提出一种微波等离子体化学气相沉积装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种微波等离子体化学气相沉积装置，具备防烫结构，避免工作人员不小心误碰到装置外壳造成烫伤，同时防烫外壳便于更换等优点，解决了现有的微波等离子体化学气相沉积装置在使用时，会产生极高的温度，高温传递到装置外壳，会使得装置外壳温度过高，在使用时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括装置本体(1)，其特征在于：所述装置本体(1)的内部活动连接有密封门(2)，所述装置本体(1)的外部设置有连接管道(3)，所述装置本体(1)的外部设置有防烫结构组件(4)；所述防烫结构组件(4)包括滑条(401)、防烫外壳(402)、滑槽(403)、真空腔(404)、连接板(405)、滑板(406)、水箱(407)、制冷器(408)、水泵(409)、水管(410)和进水头(411)，所述滑条(401)固定连接在装置本体(1)的外部，所述滑条(401)的外部活动连接有防烫外壳(402)，所述防烫外壳(402)的内部开设有滑槽(403)，所述防烫外壳(402)的内部开设有真空腔(404)，所述防烫外壳(402)的外部固定连接有连接板(405)，所述连接板(405)的内部活动连接有滑板(406)，所述滑板(406)的外部固定连接有水箱(407)，所述水箱(407)的内部固定连接有制冷器(408)，所述水箱(407)的外部设置有水泵(409)，所述水泵(409)的外部活动连接有水管(410)，所述水管(410)的外部活动连接有进水头(411)。2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述密封门(2)的外部活动连接在装置本体(1)前侧的内部，所述连接管道(3)的底部设置在装置本体(1)的顶部，所述滑条(401)的数量为两个，两个所述滑条(401)的顶部呈对称固定连接在装置本...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪涛，
申请(专利权)人：苏州墨时科技有限公司，
类型：新型
国别省市：