一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备技术

技术编号:38434732 阅读:15 留言:0更新日期:2023-08-11 14:20
本发明专利技术公开了一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备,所述方法包括:云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;云端控制中心获取工艺设备的工艺参数,若工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定工艺设备发生异常事件;云端控制中心将异常事件进行分类得到分类结果,并根据分类结果控制工艺设备进行告警提示或停机处理。本发明专利技术通过将云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,能够在云端控制中心实时接收金刚石生产过程中的数据,并进行数据分析以及设备联动,为管理者提供了类可视化的物联智能控制方式,有利于管理者及时发现金刚石生产过程中的异常行为并做出决策,并保证了金刚石的正常生长。生长。生长。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备


[0001]本专利技术涉及智能控制
,尤其涉及一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备。

技术介绍

[0002]金刚石由于具有极其优异的物理化学性质,引起了大家的关注。但天然金刚石储量有限,于是人们开发出多种合成金刚石方法,如高温高压法(HPHT,High pressure High temperature)、热丝化学气相沉积法(HFCVD,Hot filament chemical vapor deposition)等。其中微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD,Microwave plasma chemical vapordeposition)合成金刚石法由于没有杂质的引入,可以合成出高质和大面积的金刚石,具有无电极放电污染、沉积速率快、稳定性好等优点,被认为是制备高质量单晶金刚石的最优方法。
[0003]人造金刚石规模化生产制造过程中,包含多个精细的工序处理与品质控制,金刚石生产过程中往往会出现参数异常的报警情况,而为了查找异常数据的具体情况,往往需要到MPCVD设备上进行查阅,耗费了大量人力去查找,并且查找的过程中也浪费了金刚石的生长时间。
[0004]因此,现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种金刚石生长过程的物联控制方法、系统、云端控制中心及计算机可读存储介质,旨在解决现有技术中无法实时获取金刚石生长过程中出现的异常数据并进行设备间的联动告警,而导致金刚石生长缓慢或生长异常的问题。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供一种金刚石生长过程的物联控制方法,所述金刚石生长过程的物联控制方法包括如下步骤:云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
[0007]可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述工艺设备包括生产设备和环境传感器;所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体包括:所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接。
[0008]可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发
生异常事件,具体包括:所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件;判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件;其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备。
[0009]可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理,具体包括:当所述第一工艺设备发生第一异常事件或所述第二工艺设备发生第二异常事件时,根据紧急程度将所述第一异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件,或根据紧急程度将所述第二异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件;根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理。
[0010]可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理,具体包括:当发生告警类异常事件时,获取所述告警类异常事件对应的所述第一工艺设备的第一位置或所述第二工艺设备的第二位置;根据预设响应关系获取所述第一位置或所述第二位置对应的警报器,并控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示;当发生停机类告警事件时,获取所述停机类告警事件对应的所述第一工艺设备的第三位置或所述第二工艺设备的第四位置;根据预设响应关系获取所述第三位置或所述第四位置对应的工艺设备和警报器,并控制所述工艺设备进行停机处理且控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示。
[0011]可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述建立云端控制中心,并将所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备进行通信连接,具体还包括:所述云端控制中心通过第一标识符与所述生产设备建立通信连接;所述云端控制中心通过第二标识符与所述环境传感器建立通信连接。
[0012]可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述第一工艺参数包括:水冷流量、反射功率、火球上跳以及多晶掉落;所述第二工艺参数包括:环境温度、环境湿度、环境气压、是否漏水以及是否停电。
[0013]此外,为实现上述目的,本专利技术还提供一种金刚石生长过程的物联控制系统,其
中,所述金刚石生长过程的物联控制系统包括:工艺设备通信模块,用于云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;异常事件判断模块,用于所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;异常事件处理模块,用于所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
[0014]此外,为实现上述目的,本专利技术还提供一种云端控制中心,其中,所述云端控制中心包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被所述处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
[0015]此外,为实现上述目的,本专利技术还提供一种计算机可读存储介质,其中,所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
[0016]本专利技术中,云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。本专利技术通过将云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备进行通信连接,能够实时在云端控制中心实时获取金刚石生产过程中的数据,并实时对接收的数据进行分析和检测,当发现异常数据时,能够及时的控制金刚石设备的之间的联动报警或停机处理,有利于保证本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述金刚石生长过程的物联控制方法包括:云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。2.根据权利要求1所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述工艺设备包括生产设备和环境传感器;所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体包括:所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接。3.根据权利要求2所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件,具体包括:所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件;判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件;其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备。4.根据权利要求3所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理,具体包括:当所述第一工艺设备发生第一异常事件或所述第二工艺设备发生第二异常事件时,根据紧急程度将所述第一异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件,或根据紧急程度将所述第二异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件;根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理。5.根据权利要求4所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋礼全峰顾亚骏
申请(专利权)人:深圳优普莱等离子体技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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