一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法及相关设备技术

本发明专利技术公开了一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法及相关设备，所述方法包括：接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线；接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据；根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据获取异常参数数据，并根据所述异常参数数据对工艺元件或所述工艺参数数据进行调整。本发明专利技术通过设置工艺参数动态曲线来显示金刚石生长过程中的异常参数数据，能够实时直观的获取到工艺参数的具体情况，并针对出现的异常参数数据做出对应的措施进行处理，保证了金刚石的正常生长。保证了金刚石的正常生长。保证了金刚石的正常生长。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法及相关设备


[0001]本专利技术涉及数据处理
，尤其涉及一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法及相关设备。

技术介绍

[0002]金刚石由于具有极其优异的物理化学性质，引起了大家的关注。但天然金刚石储量有限，于是人们开发出多种合成金刚石方法，如高温高压法(HPHT，High pressure High temperature)、热丝化学气相沉积法(HFCVD，hot filament chemical vapor deposition)等。其中微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD，Microwave plasma chemical vapordeposition)合成金刚石法由于没有杂质的引入，可以合成出高品质和大面积的金刚石，具有无电极放电污染、沉积速率快、稳定性好等优点，被认为是制备高质量单晶金刚石的最优方法。
[0003]人造金刚石规模化生产制造过程中，包含多个精细的工序处理与品质控制，金刚石生长培育过程中，常常无法直观地获取到工艺参数的具体情况，同时，也无法有效地对当前出现的异常数据或历史异常数据进行合理的分析并做出对应措施进行处理，影响了金刚石的正常生长。
[0004]因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法、系统、终端及计算机可读存储介质，旨在解决现有技术中无法有效地对金刚石生长过程中当前出现的异常数据或历史异常数据进行合理的分析并做出对应措施进行处理，从而导致金刚石无法正常生长的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法，所述金刚石生长过程中的异常参数检测方法包括如下步骤：接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线；接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据；根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据获取异常参数数据，并根据所述异常参数数据对工艺元件或所述工艺参数数据进行调整。
[0007]可选地，所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其中，所述接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线，之前还包括：接收工艺元件显示指令，根据所述工艺元件显示指令获取金刚石生长过程中各工艺元件的输入状态和输出状态，并根据所述输入状态和所述输出状态判断所述各工艺元件
是否工作正常。
[0008]可选地，所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其中，所述接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线，具体包括：当接收到所述第一工艺参数显示指令时，根据所述第一工艺参数显示指令获取金刚石生长过程中工艺参数的温度数值和气压数值；根据所述温度数值生成所述工艺参数中温度随时间变化的第一工艺动态曲线，根据所述气压数值生成所述工艺参数中气压随时间变化的第二工艺动态曲线，其中，所述工艺动态曲线包括所述第一工艺动态曲线和所述第二工艺动态曲线。
[0009]可选地，所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其中，所述接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线，之后还包括：根据所述第一工艺动态曲线设置所述工艺参数的预设温度范围，并根据所述第二工艺动态曲线设置所述工艺参数的预设气压范围；根据所述预设温度范围和所述预设气压范围控制所述温度数值和所述气压数值维持正常工作状态。
[0010]可选地，所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其中，所述接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据，具体包括：当接收到第二工艺参数显示指令时，对所述第二工艺参数显示指令进行解析，得到所述第二工艺参数显示指令中设置的预设时刻；根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据。
[0011]可选地，所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其中，所述根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据获取异常参数数据，并根据所述异常参数数据对工艺元件或所述工艺参数数据进行调整，具体包括：根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据生成工艺参数监控表，并根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数监控表获取金刚石生长过程中的当前异常参数数据和历史异常参数数据；根据所述当前异常参数数据查找对应的异常工艺元件，并对所述异常工艺元件进行告警提示或停机处理；根据所述历史异常参数数据查找对应的异常参数，并对所述异常参数对应的工艺参数数据进行阈值调整或输入输出调整。
[0012]可选地，所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其中，所述工艺参数数据包括：样品表面温度、腔体气压、各路工艺气体流量、微波功率以及反射功率。
[0013]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种金刚石生长过程中的异常参数检测系统，其中，所述金刚石生长过程中的异常参数检测系统包括：工艺动态曲线生成模块，用于接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线；
工艺参数数据获取模块，用于接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据；异常参数数据调整模块，用于根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据获取异常参数数据，并根据所述异常参数数据对异常工艺元件或异常工艺参数数据进行调整。
[0014]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种终端，其中，所述终端包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的金刚石生长过程中的异常参数检测程序，所述金刚石生长过程中的异常参数检测程序被所述处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法的步骤。
[0015]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种计算机可读存储介质，其中，所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程中的异常参数检测程序，所述金刚石生长过程中的异常参数检测程序被处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法的步骤。
[0016]本专利技术中，接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线；接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据；根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据获取异常参数数据，并根据所述异常参数数据对工艺元件或所述工艺参数数据进行调整。本专利技术通过获取金刚石生长设备过程中的工艺参数数据，并转化为工艺动态曲线，通过工艺动态曲线能够实时获取各个时刻对应的工艺参数数据，并将其中出现的异常参数数据进行分类，得到当前异常工艺参数数据和历史异常工艺参数数据，根据当前异常工艺参数数据和历史异常工艺参数数据能够采取对应的处理措施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其特征在于，所述金刚石生长过程中的异常参数检测方法包括：接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线；接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据；根据所述工艺动态曲线和所述工艺参数数据获取异常参数数据，并根据所述异常参数数据对工艺元件或所述工艺参数数据进行调整。2.根据权利要求1所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其特征在于，所述接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线，之前还包括：接收工艺元件显示指令，根据所述工艺元件显示指令获取金刚石生长过程中各工艺元件的输入状态和输出状态，并根据所述输入状态和所述输出状态判断所述各工艺元件是否工作正常。3.根据权利要求1所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其特征在于，所述接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线，具体包括：当接收到所述第一工艺参数显示指令时，根据所述第一工艺参数显示指令获取金刚石生长过程中工艺参数的温度数值和气压数值；根据所述温度数值生成所述工艺参数中温度随时间变化的第一工艺动态曲线，根据所述气压数值生成所述工艺参数中气压随时间变化的第二工艺动态曲线，其中，所述工艺动态曲线包括所述第一工艺动态曲线和所述第二工艺动态曲线。4.根据权利要求3所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其特征在于，所述接收第一工艺参数显示指令，根据所述第一工艺参数显示指令生成金刚石生长过程中工艺参数对应的工艺动态曲线，之后还包括：根据所述第一工艺动态曲线设置所述工艺参数的预设温度范围，并根据所述第二工艺动态曲线设置所述工艺参数的预设气压范围；根据所述预设温度范围和所述预设气压范围控制所述温度数值和所述气压数值维持正常工作状态。5.根据权利要求1所述的金刚石生长过程中的异常参数检测方法，其特征在于，所述接收第二工艺参数显示指令，根据所述第二工艺参数显示指令获取所述工艺动态曲线中预设时刻的工艺参数数据，具体包括：当接收到第二工艺参数显示指令时，对所述第二工艺参数显示指令进行解...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾亚骏，全峰，蒋礼，
申请(专利权)人：深圳优普莱等离子体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：