The invention discloses a preparation method of silicon nano micro suede chain milling equipment, diamond wire based on the diamond wire to silicon wafers into a mixture of AgNO3, HF and HNO3 in the reaction, formed on the surface of nano silver particles containing many internal corrosion pits, and then immersed into the reaction solution, and then immersed into the reaction mixture of HF and HNO3 in the nano submicron expansion of corrosion pit corrosion pits, finally alkali washing and pickling. The preparation method of the invention can effectively remove the surface of a silicon wafer cutting diamond wire line, submicron suede uniform morphology by one-step method; simple, low cost, stable process and good reproducibility, without the use of additives, suitable for industrial mass production; by changing the process temperature and liquid ratio, can adjust the size, texture reflectance and uniform appearance, with the solar cell and subsequent diffusion coating process is different, can obtain good passivation effect, resulting in a higher cell conversion efficiency.
【技术实现步骤摘要】
基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法
本专利技术涉及晶体硅电池领域,特别是一种金刚线硅片绒面制备方法。
技术介绍
近年来,随着光伏技术的成熟与发展,太阳能电池的制备成本大幅降低,然而与传统石化能源相比,太阳能电池的成本仍然较高。为了进一步降低成本,硅片生产厂商不断更新和改进晶体硅切割技术。金钢线切割技术,作为一种新型的硅片切割技术,以其切割效率高、成本低和环境污染小的优势在单晶硅片中已经得到了广泛的应用。然而金刚线切割的硅片反射率高、损伤层小,因此在多晶硅片上使用常规的酸制绒方法难以形成良好的绒面结构,从而阻碍了其在多晶硅片中的大规模应用。目前,解决金刚线硅片制绒的方法主要有三种,基于反应离子刻蚀的干法黑硅制备方法,使用添加剂结合常规制绒的方法和基于金属催化腐蚀的湿法黑硅方法。使用添加剂结合常规制绒的方法,应用较为普遍,但是难以形成形貌均一、反射率较低的绒面。金属催化腐蚀的湿法黑硅方法具有成本低、提效高的综合优势,能够有效降低反射率,在金刚线多晶硅片上形成良好的绒面,最具发展潜力,但通常需要通过两步法完成;而且目前的湿法黑硅制绒工艺主要配合槽式制绒设备,使用花篮承载硅片,浸没在药液中进行化学反应,整个过程中硅片处于静止状态,然而由于槽体中各个部位溶液浓度和温度不均匀,则会造成绒面制备不均一。一种金刚线硅片的制绒方法及应用(国别:中国,公开号:105696084A,公开日期:2016-06-22)公开了以硝酸银为第一处理液,氢氟酸和双氧水的混合溶液为第二处理液,进行两步法处理并进行碱洗和酸洗后,得到硅片表面反射率在17-18.3%。基于金刚线切割的硅 ...
【技术保护点】
一种基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一:将金刚线硅片浸入到AgNO3、HF、HNO3的混合液中反应,同时进行银颗粒沉积和HF‑HNO3酸腐蚀体系的表面织构化,去除金刚线切割痕,表面形成许多内部含银颗粒的纳米级腐蚀坑;步骤二:将步骤一得到的金刚线硅片浸入到硝酸溶液中反应,去除银颗粒并用去离子水进行清洗;步骤三:将步骤二得到的金刚线硅片浸入到HF、HNO3的混合液中反应,使步骤一中的纳米级腐蚀坑扩大为亚微米级腐蚀坑;步骤四:将步骤三得到的金刚线硅片进行碱洗和酸洗,去除表面的多孔硅和其它杂质,并清洗烘干。
【技术特征摘要】
1.一种基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一:将金刚线硅片浸入到AgNO3、HF、HNO3的混合液中反应,同时进行银颗粒沉积和HF-HNO3酸腐蚀体系的表面织构化,去除金刚线切割痕,表面形成许多内部含银颗粒的纳米级腐蚀坑;步骤二:将步骤一得到的金刚线硅片浸入到硝酸溶液中反应,去除银颗粒并用去离子水进行清洗;步骤三:将步骤二得到的金刚线硅片浸入到HF、HNO3的混合液中反应,使步骤一中的纳米级腐蚀坑扩大为亚微米级腐蚀坑;步骤四:将步骤三得到的金刚线硅片进行碱洗和酸洗,去除表面的多孔硅和其它杂质,并清洗烘干。2.根据权利要求1所述的基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法,其特征在于:步骤一中,所述AgNO3、HF、HNO3的混合液中,AgNO3摩尔浓度为0.0001~0.01mol/L,以溶质计算,HNO3与HF的体积比为1∶(1~5),AgNO3与HF、HNO3两者质量和的比值为1∶(3000~6000)。3.根据权利要求1所述的基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法,其特征在于:步骤一中,反应温度为10~40℃,反应时间为30~70s。4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄钧林,余静文,黄青松,周肃,张鑫,贾佳,黄惜惜,邱家梁,勾宪芳,
申请(专利权)人:中节能太阳能科技镇江有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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