【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种单晶硅片无醇制绒工艺,其特征在于包括以下步骤:1)配制预处理液:将质量比为0.1wt%~10wt%的氧化剂,质量比为0.1wt%~5wt%的碱,加入到余量的水中,混合均匀,加热到60℃‑80℃;2)配制制绒添加剂:将0.05wt%~5wt%的季戊四醇,0.1wt%~5wt%的三乙醇胺,0.01wt%~5wt%的木质素磺酸钠,加入到余量的水中,搅拌混合均匀配制成添加剂;3)配制制绒液:将步骤2)配制的添加剂加入到碱溶液中,混合均匀配制成制绒液,制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.1~5:100;4)将硅片浸入到步骤1)中配制的制绒预处理液中,预处理液温度为60℃‑80℃,预处理时间60s~300s;预处理完成后将硅片浸入到去离子水中,水温为室温,水洗时间为60s‑300s;水洗完成后加入到步骤3)配制的制绒液中,制绒温度为70℃‑90℃,制绒时间600s~1500s。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:瞿辉,徐春,曹玉甲,吕晓华,
申请(专利权)人:江苏顺风光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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