下载基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法的技术资料

文档序号:17114782

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本发明公开了一种基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法,先将金刚线硅片浸入到AgNO3、HF、HNO3的混合液中反应,表面形成许多内部含银颗粒的纳米级腐蚀坑,然后浸入到硝酸溶液中反应,再浸入到HF、HNO3的混合液中反应,使纳米级腐蚀...
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