可结晶液体雾化装置及方法制造方法及图纸
Crystallizable liquid atomizing device and method
A crystal liquid atomization device and method, wherein the device comprises a liquid source for providing liquid; the first pipe, one end connected to the liquid source connected; atomization device, connected with the other end of the first line, for the liquid atomization treatment; also includes a super sonic oscillator, and the first the pipeline coupling for ultrasonic vibration on the first line of liquid. The invention can reduce or avoid the formation of crystallization on the pipeline of the transport liquid and improve the atomization effect.
【技术实现步骤摘要】
可结晶液体雾化装置及方法
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种可结晶液体雾化装置及方法。
技术介绍
在半导体集成电路制造工艺中，需要将多种液体从液体雾化为微小液滴，以进行淀积工艺或者形成中间产品。例如，可以利用正硅酸乙酯(TEOS)台阶覆盖性好以及成本低的特点，采用TEOS淀积二氧化硅；或者采用磷酸三乙酯(TEPO)生成磷硅玻璃或硼磷硅玻璃，所述磷硅玻璃或硼磷硅玻璃可用于形成层间介质。但是，部分液体在工艺过程中容易发生结晶，导致运输该液体的管路发生堵塞以及流量不稳定的问题，甚至导致对该液体进行雾化处理的雾化装置发生堵塞，影响机台产出率。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供一种可结晶液体雾化装置及方法，可以减少或避免在运输液体的管路上形成结晶，提高雾化效果。为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；第一管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述第一管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：超声波震荡器，与所述第一管路耦合，用于对所述第一管路中的液体进行超声波震荡。可选的，所述可结晶液体雾化...
【技术保护点】
一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；第一管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述第一管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；其特征在于，还包括：超声波震荡器，与所述第一管路耦合，用于对所述第一管路中的液体进行超声波震荡。
【技术特征摘要】
1.一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；第一管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述第一管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；其特征在于，还包括：超声波震荡器，与所述第一管路耦合，用于对所述第一管路中的液体进行超声波震荡。2.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，还包括：流量控制阀，设置在所述第一管路上；其中，所述超声波震荡器与所述第一管路的耦合点设置在所述流量控制阀与所述雾化装置之间。3.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，还包括：清洁装置，所述清洁装置包含有与所述第一管路三通连接的清洁气体输入管路，用于向所述第一管路输入清洁气体；其中，所述超声波震荡器与所述第一管路的耦合点设置在所述清洁气体输入管路与所述第一管路的连接位置的第一预设距离内。4.根据权利要求3所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述清洁气体包括氮气。5.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述超声波震荡器与所述第一管路的耦合点设置在所述雾化装置的第二预设距离内。6.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述液体为可结晶液体，选自TEOS以及TEPO。7.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述雾化装置包括喷射阀以及载气输入装置，所述喷射阀安装于所述第一管路，所述载气输入装置包含有与所述第一管路三通连接的载气输入管路，用于向所述喷射阀输入载气。8.根据权利要求7所述的可...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟杰，林宗贤，吴龙江，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。