一种多晶硅铸锭用提纯炉制造技术

本实用新型专利技术提出了一种多晶硅铸锭用提纯炉，包括：导热筒体；导热筒体外绕有螺旋盘管式加热电极；螺旋盘管式加热电极外套有炉体；炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料；导热筒体内设置有坩埚；炉体外壁上设置有抽真空装置；离心装置设于炉体下方，并与坩埚通过离心装置的主轴固定连接。本实用新型专利技术中导热筒体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果，使得炉体内温度均匀，节省导热筒体空间，提高空间利用率；通过采用离心装置对多晶硅进行提纯，提高了晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。实验结果表明，采用本实用新型专利技术的提纯炉得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。

A purifying furnace for polysilicon ingot

The utility model provides a polycrystalline silicon ingot furnace used, including heat conduction tube; heat conduction cylinder wound with spiral electrode heating; spiral electrode heating jacket with the furnace body; a thermal insulation material is filled between the furnace body and the spiral heating electrode; the heat conducting cylinder is arranged inside the crucible; the outer wall of the furnace body is provided with a vacuum pumping device; under the centrifugal device arranged on the furnace body, and is fixedly connected with the crucible by centrifugal spindle device. The spiral coil heating electrode of the utility model in the heat conduction tube and its periphery can improve the heating effect, the temperature inside the furnace heat evenly, save cylinder space, improve space utilization rate; for polysilicon purification by using centrifugal device, improve the requirements of amorphous silicon solar polysilicon purity. The experimental results show that phosphorus in polycrystalline silicon obtained by the purify furnace is below 5ppm, and boron below 0.3ppm, which meets the requirement of crystalline silicon solar energy for purity of polycrystalline silicon.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭用提纯炉
本技术涉及多晶硅领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭用提纯炉。
技术介绍
冶金法多晶硅是采用物理法对冶金级的硅进行造渣、精炼、酸洗(湿法冶金)、凝固等方式，将杂质去除后得到的高纯多晶硅，是光伏转换的基础材料，具有广泛的应用前景。但是，在多晶硅生产和提纯的过程中，通常需要先采用真空感应炉进行熔炼去杂，再进行多次凝固去杂，过程比较繁琐，且提纯得到的多晶硅不符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种多晶硅铸锭用提纯炉，能够提高多晶硅纯度的要求。本技术的技术方案是这样实现的：一种多晶硅铸锭用提纯炉，包括：导热筒体；所述导热筒体外绕有螺旋盘管式加热电极；所述螺旋盘管式加热电极外套有炉体；所述炉体与所述螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料；所述导热筒体内设置有坩埚；所述炉体外壁上设置有抽真空装置。离心装置设于所述炉体下方，并与所述坩埚通过所述离心装置的主轴固定连接。优选地，所述坩埚包括坩埚体，所述坩埚体的内部设置有容纳槽；所述容纳槽的下方、所述坩埚体的底部设置有冷却腔，所述冷却腔内设置有冷却流道。优选地，所述冷却流道为费马螺线流道。优选地，所述坩埚的数量与所述离心装置的数量相同为2～100个。优选地，所述保温材料为耐火保温纤维。优选地，所述螺旋盘管式加热电极为石墨电极。本技术的有益效果为：本技术提供了一种多晶硅铸锭用提纯炉，导热筒体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果，使得炉体内温度均匀，节省导热筒体空间，提高炉体空间利用率消除了盲区，避免了原料的浪费，同时降低了能耗；通过采用离心装置对多晶硅进行提纯，提高了晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。实验结果表明，采用本专利技术的提纯炉得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术多晶硅铸锭用提纯炉的结构示意图；图2为图1中坩埚的结构示意图；图3为图1中冷却流道的结构示意图。图中：1、炉体；2、坩埚；3、导热筒体；4、螺旋盘管式加热电极；5、保温材料；6、离心装置；7、抽真空装置；8、坩埚体；9、容纳槽；10、冷却腔；11、冷却流道。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术提供的一种多晶硅铸锭用提纯炉，包括：导热筒体3；导热筒体3外绕有螺旋盘管式加热电极4；螺旋盘管式加热电极4外套有炉体1；炉体1与螺旋盘管式加热电极4之间填充有保温材料5；导热筒体3内设置有坩埚2；炉体1外壁上设置有抽真空装置7。离心装置6设于炉体1下方，并与坩埚2通过离心装置6的主轴固定连接。上述技术方案中，导热筒体3及其外围的螺旋盘管式加热电极4能够提高加热效果，使得炉体1内温度均匀，节省导热筒体3空间，提高炉体1空间利用率消除了盲区，避免了原料的浪费，同时降低了能耗；通过采用离心装置6对多晶硅进行提纯，提高了晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。实验结果表明，采用本专利技术的提纯炉得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。在本实施方式中，为了使提纯炉具有定性提纯的功能，坩埚2包括坩埚体8，坩埚体8的内部设置有容纳槽9；容纳槽9的下方、坩埚体8的底部设置有冷却腔10，冷却腔10内设置有冷却流道11，具体参见附图2；冷却管道内的冷却介质冷却容纳槽9内的液体硅，从而提高冷却效率。在本实施方式中，参见附图3，冷却流道11为费马螺线流道，能够提高容纳槽9内物质的冷却均匀均匀性，进而优化多晶硅的品质。在本实施方式中，离心装置6通过带动主轴旋转，实现对多晶硅的提纯，可设置2～100个坩埚2和离心装置6，可实现多组多晶硅同时提纯，保证高纯度多晶硅的批量化生产，提高了高纯度多晶硅的生产效率。保温材料5用来减少炉内热量流失，从而保证提纯炉的保温性能。在本实施方式中，保温材料5为耐火保温纤维，该材料能够保证提纯炉的保温性能。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，包括：导热筒体(3)；所述导热筒体(3)外绕有螺旋盘管式加热电极(4)；所述螺旋盘管式加热电极(4)外套有炉体(1)；所述炉体(1)与所述螺旋盘管式加热电极(4)之间填充有保温材料(5)；所述导热筒体(3)内设置有坩埚(2)；所述炉体(1)外壁上设置有抽真空装置(7)。离心装置(6)设于所述炉体(1)下方，并与所述坩埚(2)通过所述离心装置(6)的主轴固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，包括：导热筒体(3)；所述导热筒体(3)外绕有螺旋盘管式加热电极(4)；所述螺旋盘管式加热电极(4)外套有炉体(1)；所述炉体(1)与所述螺旋盘管式加热电极(4)之间填充有保温材料(5)；所述导热筒体(3)内设置有坩埚(2)；所述炉体(1)外壁上设置有抽真空装置(7)。离心装置(6)设于所述炉体(1)下方，并与所述坩埚(2)通过所述离心装置(6)的主轴固定连接。2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，所述坩埚(2)包括坩埚体(8)，所述坩埚体(8)的内部设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：王增林，
申请(专利权)人：宁夏金海金晶光电产业有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64