The invention relates to a semi molten bottom seed high impurity crushing process belongs to the field of preparation of silicon material production, which comprises the following steps: first, the reclaimer, impurity removal, the heating and cooling pretreatment, pretreatment, the silicon material crushing, the purification steps, through the use of alternating hot and cold and the negative temperature value is applied to the production process, have good removal effect, simplifies the process steps, without drying, and thus eliminate the water stains, there is no risk of water stains, with good production effect, greatly improving the recovery rate.
【技术实现步骤摘要】
一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺
本专利技术属于硅片生产领域,特别涉及一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺。
技术介绍
在高效多晶硅的制备方法多采用有籽晶高效多晶硅技术,即俗称的半熔高效,半熔高效多晶硅技术生长的硅锭,其半熔底部籽晶料有大量的皮下气孔,多晶硅锭在加工过程中会有油污藏留在半熔底部籽晶的气孔中,难以将其清洗彻底,造成半熔底部籽晶不能用于直接回收投炉,必须通过高效多晶硅提纯工艺提高硅料的纯洁度,现有技术中回收投炉一般是使用金属破碎或者其他介质的高压破碎法,此种破碎方法需要采用固/液介质与硅料接触,接触本身就会造成二次污染,即便后续仍进行酸洗也是进一步的加大了污染面积,因此回收效率低,只可制备低质量硅料对于公司本身就造成了亏损,并且这也一直是本行业内继续解决的一个问题,如何回收硅边料、籽晶料的回收效率,并且在后续的提纯过程中不可避免的使用大量的人力和物力,现有技术中需要多次破碎、烘干、清洗、碱洗、烘干、酸洗、烘干、超声波清洗、烘干,烘干次数过多容易在硅料上表面留下水渍,导致后期成型差、效果差、导电性能不佳,因此以往的工艺存在着诸多不足,本专利技术针对此上诸多不足进行了改进
技术实现思路
要解决的技术问题为,解决当前的工艺中工艺步骤繁杂工序冗长并且回收效率低容易污染硅料的问题,而提出一种高效率的回收方法,其可以对硅料进行高效破碎,有效剥离杂质,提升回收率提升回收硅料品质提升回收硅料的纯净度。为解决上述问题而提供的技术方案为:一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺,其中:①取料,采用专用夹具取出需进行处理的常温半溶底部籽晶硅料;②初次除杂,使用打磨工具剔除半溶 ...
【技术保护点】
一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺,其特征在于:①取料,采用专用夹具取出需进行处理的常温半溶底部籽晶硅料;②初次除杂,使用打磨工具剔除半溶底部籽晶硅料外表层的形成的坩埚杂质层;③升温预处理,采用纯水对半溶底部籽晶硅料表面进行清洗,清洗完毕后采用专用夹具将半溶底部籽晶硅料置入烘箱内,烘箱逐渐升温对半溶底部籽晶硅料进行加热,待半溶底部籽晶硅料的中心温度达到150°‑200°之间的任意一数值时,停止烘箱升温保持烘箱此刻的温度,保持时常大于等于3小时;④冷却预处理,步骤③中的高温半溶底部籽晶硅料迅速置入液氮罐中进行急速冷却,冷却时常大于等于30分钟小于等于1小时;⑤硅料破碎,步骤④中冷却完毕的硅料迅速置入气动破碎机中,采用高压惰性气体对硅料进行破碎,破碎时常大于等于45分钟小于等于1小时;⑥除杂,将破碎完毕的硅料放置至室温,并依次进行碱洗和酸洗,清洗完毕后得到高纯洁度硅料。
【技术特征摘要】
1.一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺,其特征在于:①取料,采用专用夹具取出需进行处理的常温半溶底部籽晶硅料;②初次除杂,使用打磨工具剔除半溶底部籽晶硅料外表层的形成的坩埚杂质层;③升温预处理,采用纯水对半溶底部籽晶硅料表面进行清洗,清洗完毕后采用专用夹具将半溶底部籽晶硅料置入烘箱内,烘箱逐渐升温对半溶底部籽晶硅料进行加热,待半溶底部籽晶硅料的中心温度达到150°-200°之间的任意一数值时,停止烘箱升温保持烘箱此刻的温度,保持时常大于等于3小时;④冷却预处理,步骤③中的高温半溶底部籽晶硅料迅速置入液氮罐中进行急速冷却,冷却时常大于等于30分钟小于等于1小时;⑤硅料破碎,步骤④中冷却完毕的硅料迅速置入气动破碎机中,采用高压惰性气体对硅料进行破碎,破碎时常大于等于45分钟小于等于1小时;⑥除杂,将破碎完毕的硅料放置至室温,并依次进行碱洗和酸洗,清洗完毕后得到高纯洁度硅料。2.根据权利要求1所述的一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺,其特征在于:所述的步骤④中液氮罐的内腔分隔为由上至下依次设置的低温气室和低温液氮室,低温液体氮储存在低温液氮室内,低温气室与低温液体氮室的室温相同,所述的高温半溶底部籽晶硅料迅速转移至低温气室内。3.根据权利要求1所述的一种半熔底部籽晶的高效除杂破碎工艺,其特征在于:所述的步骤⑤中采用气流粉碎机对硅料进行破碎。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:李永峰,刘存国,张在存,闫宁志,白贵杰,王朋,及天傲,
申请(专利权)人:宁晋松宫电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:河北,13
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