除磷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种除磷装置，钟罩与石墨坩埚能够形成密封空间，通过钟罩上的抽真空装置使得密封空间能够形成真空环境，便于工业硅提纯；搅拌桨能够在伸缩杆的带动下对硅液进行移动搅拌，提高了硅液的搅拌强度，使得熔融的硅液在石墨坩埚内上下翻滚，使得硅液内的磷能够蒸发达到硅液的表面，显著降低多晶硅中磷杂质含量，磷杂质在0.5ppm以下。另外，本实用新型专利技术提供的除磷装置可大规模的对工业硅进行提纯，提纯量大，适于工业化大批量生产多晶硅。

Phosphorus removal device

The utility model discloses a removal device, the bell to form a sealed space with a graphite crucible, the sealed space through the bell on the vacuum pumping device capable of forming a vacuum environment for industrial silicon purification; impeller can drive the telescopic rod to move the silicon liquid stirring, improving the mixing strength of silicone fluid that makes the molten silicon in graphite crucible under rolling, makes the silicon liquid in the phosphorus can reach the surface evaporation of silicon liquid, significantly reduce the impurity content of phosphorus in polycrystalline silicon, phosphorus impurities in 0.5ppm. In addition, the phosphorus removal device provided by the utility model can purify industrial silicon on a large scale, and has large purification capacity, and is suitable for industrial large batch production of polysilicon.

【技术实现步骤摘要】
除磷装置
本技术涉及多晶硅领域，尤其涉及一种除磷装置。
技术介绍
半导体和太阳能电池行业的发展，使得原料多晶硅的生产成为热点行业，同时对多晶硅的纯度要求也越来越高，如何有效地去除多晶硅中的杂质成为我国多晶硅行业的难题。含磷化合物种类繁多，成分复杂，与氯硅烷体系沸点十分接近，如何有效地去除含磷杂质成为多晶硅行业面临的主要问题。并且现有的除磷装置往往很难将磷杂质的含量降到符合要求的范围，从而使得多晶硅的品质降低，影响发电效率。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提出一种除磷装置，该除磷装置能够有效去除含磷杂质，提高多晶硅的纯度。本技术的技术方案是这样实现的：一种除磷装置，包括：基座，所述基座上固定石墨坩埚，所述石墨坩埚的外壁上设置有若干凹槽，所述凹槽内设置有加热电极，所述石墨坩埚的外部设置有保温套；所述石墨坩埚的顶部设置有钟罩，所述石墨坩埚与所述钟罩形成密封室；所述钟罩顶部设置有电机，所述电机底部连接一伸缩杆，所述伸缩杆贯穿所述钟罩伸入所述钟罩内，所述伸缩杆与搅拌桨连接，所述搅拌桨底部设置有桨叶；所述钟罩上设置有抽真空装置；与所述石墨坩埚相接触的所述基座上设置有水冷盘。优选地，所述桨叶为螺旋叶片。优本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种除磷装置，其特征在于，包括：基座(1)，所述基座(1)上固定石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)的外壁(3)上设置有若干凹槽，所述凹槽内设置有加热电极(4)，所述石墨坩埚(2)的外部设置有保温套；所述石墨坩埚(2)的顶部设置有钟罩(5)，所述石墨坩埚(2)与所述钟罩(5)形成密封室；所述钟罩(5)顶部设置有电机(7)，所述电机(7)底部连接一伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)贯穿所述钟罩(5)伸入所述钟罩(5)内，所述伸缩杆(8)与搅拌桨(9)连接，所述搅拌桨(9)底部设置有桨叶(10)；所述钟罩(5)上设置有抽真空装置(11)；与所述石墨坩埚(2)相接触的所述基座(1)上设置有水冷盘(12)；...

【技术特征摘要】
1.一种除磷装置，其特征在于，包括：基座(1)，所述基座(1)上固定石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)的外壁(3)上设置有若干凹槽，所述凹槽内设置有加热电极(4)，所述石墨坩埚(2)的外部设置有保温套；所述石墨坩埚(2)的顶部设置有钟罩(5)，所述石墨坩埚(2)与所述钟罩(5)形成密封室；所述钟罩(5)顶部设置有电机(7)，所述电机(7)底部连接一伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)贯穿所述钟罩(5)伸入所述钟罩(5)内，所述伸缩杆(8)与搅拌桨(9)连接，所述搅拌桨(9)底部设置有桨叶(10)；所述钟罩(5)上设置有抽真空装置(11)；与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王增林，
申请(专利权)人：宁夏金海金晶光电产业有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64