多晶硅还原装置制造方法及图纸
Polysilicon reduction device
The utility model discloses a polysilicon reduction device, through the observation window is provided with two CCD image sensor, the two CCD image sensor can also shoot the two edges of the silicon cores from different angles, the simulation of human eyes, the formation of stereo vision, and transmits the image to control intake machine image processing, and to obtain the silicon core diameter value is displayed on the terminal display, which can accurately measure the diameter of the silicon core; the control device and the control machine is connected, which control machine to control the device within the preset threshold to the silicon core diameter transmission control device, control device for parking operation, which makes the unified specifications the prepared silicon rod.
【技术实现步骤摘要】
多晶硅还原装置
本技术涉及多晶硅领域，尤其涉及一种多晶硅还原装置。
技术介绍
在生产多晶硅的生产技术中，改良西门子法为主要的生产方法。在生产多晶硅棒的过程中，将三氯氢硅(SiHCl3)和氢气(H2)按一定比例混合后通往还原装置反应器内，反应器内设有有用于提供附着体的硅芯。在反应器温度达1000～1200℃时，三氯氢硅被氢气还原后，生成硅并不断附着在硅芯上，最终得到硅棒。其中，还原装置上安装有用于观察硅芯直径的观察窗，在操作人员观察到其中的硅芯直径大概生长至预定的数值时，进行停车操作。由于操作人员在观察硅芯的直径过程中，只能凭感觉，没有特定的参照，采用上述观察的生产方法生产出来的硅棒的直径误差较大，规格不统一。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种多多晶硅还原装置，能够使得制得硅棒的规格统一。本技术的技术方案是这样实现的：一种多晶硅还原装置，包括：炉体；所述炉体内设置有硅芯支撑件及硅芯；所述硅芯支撑件设置在所述炉体内底部，所述硅芯竖直设置在所述硅芯支撑件顶部；所述炉体上设置有观察窗述观察窗能够观察到所述炉体内的所述硅芯；所述观察窗上设置有两个CCD图像传感器，两个所述C...
【技术保护点】
一种多晶硅还原装置，其特征在于，包括：炉体(1)；所述炉体(1)内设置有硅芯支撑件(2)及硅芯(3)；所述硅芯支撑件(2)设置在所述炉体(1)内底部，所述硅芯(3)竖直设置在所述硅芯支撑件(2)顶部；所述炉体(1)上设置有观察窗(4)，所述观察窗(4)能够观察到所述炉体(1)内的所述硅芯(3)；所述观察窗(4)上设置有两个CCD图像传感器(5)，两个所述CCD图像传感器(5)在同一水平面上；所述炉体(1)上设置有中控机(6)，所述中控机(6)分别与两个所述CCD图像传感器(5)、所述炉体(1)外的显示终端(7)连接；所述中控机(6)与对多晶硅还原进行控制的控制装置连接；所述...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原装置，其特征在于，包括：炉体(1)；所述炉体(1)内设置有硅芯支撑件(2)及硅芯(3)；所述硅芯支撑件(2)设置在所述炉体(1)内底部，所述硅芯(3)竖直设置在所述硅芯支撑件(2)顶部；所述炉体(1)上设置有观察窗(4)，所述观察窗(4)能够观察到所述炉体(1)内的所述硅芯(3)；所述观察窗(4)上设置有两个CCD图像传感器(5)，两个所述CCD图像传感器(5)在同一水平面上；所述炉体(1)上设置有中控机(6)，所述中控机(6)分别与两个所述CCD图像传感器(5)、所述炉体(1)外的显示终端(7)连接；所述中控机(6)与对多晶硅还原进行控制的控制装置连接；所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王增林，
申请(专利权)人：宁夏金海金晶光电产业有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64
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