The utility model discloses a removal device, the sealing cover and the graphite crucible to form a sealed space through the sealing cover of the vacuum pumping device makes the sealed space to form a vacuum environment, convenient for industrial silicon purification; impeller can drive the telescopic rod to move the silicon liquid stirring, improving the mixing strength of silicone fluid that makes the molten silicon in graphite crucible under rolling, makes the silicon liquid in the phosphorus can reach the surface evaporation of silicon liquid, significantly reduce the impurity content of phosphorus in polycrystalline silicon, phosphorus impurities in 0.5ppm. In addition, the phosphorus removal device provided by the utility model is small in volume and light in weight, and is suitable for use in the laboratory.
【技术实现步骤摘要】
除磷装置
本技术涉及多晶硅领域,尤其涉及一种除磷装置。
技术介绍
半导体和太阳能电池行业的发展,使得原料多晶硅的生产成为热点行业,同时对多晶硅的纯度要求也越来越高,如何有效地去除多晶硅中的杂质成为我国多晶硅行业的难题。含磷化合物种类繁多,成分复杂,与氯硅烷体系沸点十分接近,如何有效地去除含磷杂质成为多晶硅行业面临的主要问题。并且现有的除磷装置往往很难将磷杂质的含量降到符合要求的范围,从而使得多晶硅的品质降低,影响发电效率。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提出一种除磷装置,该除磷装置能够有效去除含磷杂质,提高多晶硅的纯度。本技术的技术方案是这样实现的:一种除磷装置,包括:两个支架,所述支架之间通过转轴安装有密封盖;所述密封盖下方设置有升降机构,所述升降机构上方设置有基座,所述基座上固定有石墨坩埚,所述石墨坩埚的外壁上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有加热电极,所述石墨坩埚的外部设置有保温套;所述石墨坩埚与所述密封盖形成密封空间;所述密封盖顶部设置有电机,所述电机底部连接一伸缩杆,所述伸缩杆贯穿所述密封盖伸入所述密封盖下方,所述伸缩杆与搅拌桨连接,所述搅拌桨底部设置有桨叶;所述密封盖上设置有抽真空装置;与所述石墨坩埚相接触的所述基座上设置有水冷装置。优选地,所述桨叶为螺旋叶片。优选地,所述保温套包括双层套筒及设置在所述双层套筒内壁与所述石墨坩埚的所述外壁设置之间填充有隔热材料。优选地,所述伸缩杆、所述搅拌桨与所述桨叶的表面均覆有聚四氟乙烯。优选地,所述密封盖内设置有能够伸入所述石墨坩埚的热电偶,所述热电偶与所述密封盖外的温度显示器连接。优选地,所述水冷盘包括上盘体、下盘 ...
【技术保护点】
一种除磷装置,其特征在于,包括:两个支架(20),所述支架(20)之间通过转轴(21)安装有密封盖(5);所述密封盖(5)下方设置有升降机构(22),所述升降机构(22)上方设置有基座(1),所述基座(1)上固定有石墨坩埚(2),所述石墨坩埚(2)的外壁(3)上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有加热电极(4),所述石墨坩埚(2)的外部设置有保温套;所述石墨坩埚(2)与所述密封盖(5)形成密封空间;所述密封盖(5)顶部设置有电机(7),所述电机(7)底部连接一伸缩杆(8),所述伸缩杆(8)贯穿所述密封盖(5)伸入所述密封盖(5)下方,所述伸缩杆(8)与搅拌桨(9)连接,所述搅拌桨(9)底部设置有桨叶(10);所述密封盖(5)上设置有抽真空装置(11);与所述石墨坩埚(2)相接触的所述基座(1)上设置有水冷装置(12);所述桨叶(10)为螺旋叶片;所述保温套包括双层套筒及设置在所述双层套筒内壁与所述石墨坩埚(2)的所述外壁(3)设置之间填充有隔热材料(6);所述伸缩杆(8)、所述搅拌桨(9)与所述桨叶(10)的表面均覆有聚四氟乙烯;所述密封盖(5)内设置有能够伸入所述石墨坩埚(2)的热电偶, ...
【技术特征摘要】
1.一种除磷装置,其特征在于,包括:两个支架(20),所述支架(20)之间通过转轴(21)安装有密封盖(5);所述密封盖(5)下方设置有升降机构(22),所述升降机构(22)上方设置有基座(1),所述基座(1)上固定有石墨坩埚(2),所述石墨坩埚(2)的外壁(3)上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有加热电极(4),所述石墨坩埚(2)的外部设置有保温套;所述石墨坩埚(2)与所述密封盖(5)形成密封空间;所述密封盖(5)顶部设置有电机(7),所述电机(7)底部连接一伸缩杆(8),所述伸缩杆(8)贯穿所述密封盖(5)伸入所述密封...
【专利技术属性】
技术研发人员:王增林,
申请(专利权)人:宁夏金海金晶光电产业有限公司,
类型:新型
国别省市:宁夏,64
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