下载一种多晶硅铸锭用提纯炉的技术资料

文档序号:16921576

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本实用新型提出了一种多晶硅铸锭用提纯炉,包括:导热筒体;导热筒体外绕有螺旋盘管式加热电极;螺旋盘管式加热电极外套有炉体;炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料;导热筒体内设置有坩埚;炉体外壁上设置有抽真空装置;离心装置设于炉体下方,并与...
该专利属于宁夏金海金晶光电产业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏金海金晶光电产业有限公司授权不得商用。

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