The utility model provides a tail exhaust anti blocking device and the high temperature diffusion furnace, tail row anti blocking device comprises an exhaust pipe arranged, cooling bottle and a vacuum pump, forming the cooling exhaust cooling bottle collecting material, exhaust anti blocking device also comprises a nitrogen storage tank and water storage tank with nitrogen the water storage device is communicated with each other through nitrogen pipe sealing connection, exhaust pipe and a water storage device connected to each other through sealing through the air inlet pipe, a nitrogen pipe including air outlet, air inlet pipe comprises an air inlet, an air outlet and an air inlet above the liquid level in the water storage device arranged at intervals; high temperature diffusion furnace comprises a tail row anti blocking device. Nitrogen gas supplied by nitrogen storage tank is connected with tail gas through water storage device, carrying nitrogen of water vapor and condensing. After tail gas condensing, liquid substance is discharged from tail row, which will not cause blockage of tail row, reduce maintenance cost and production loss of jam. The design of the structure is reasonable and effective, and the realization is simple. It is beneficial to increase the utilization of equipment and prolong the service life of the equipment.
【技术实现步骤摘要】
一种尾排防堵装置及高温扩散炉
本技术涉及高温扩散炉领域,尤其涉及一种尾排防堵装置及高温扩散炉。
技术介绍
高温扩散炉是国内太阳能行业的主要设备之一,由于客户生产工艺的改善,为达到提高硅片的转换效率的目的,在反应腔内通入的源会增加,导致反应腔内会产生一些固态颗粒随尾排一起排抽出。现有高温扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒(偏磷酸等)随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出。由于尾排抽出气体在管道中冷却、冷凝会产生固态物质,例如固态偏磷酸,导致尾排接头、真空泵、阀等部件容易出现堵塞现象。
技术实现思路
为解决以上问题,本技术提供了一种防止尾排堵塞的尾排防堵装置及高温扩散炉。一种尾排防堵装置,包括依次设置的尾气管、冷却瓶和真空泵,所述冷却瓶收集尾气冷却后形成的物质,所述尾排防堵装置还包括氮气储罐和储水装置,所述氮气储罐与储水装置通过氮气管相互贯通密封连接,所述尾气管与储水装置通过进气管相互贯通密封连接,所述氮气管包括出气口,所述进气管包括进气口,所述出气口和进气口间隔设置于储水装置的液面上方;在真空泵提供的低压环境下,氮气管通入的氮气经过储水装置后,氮气携带水蒸气与尾气管的尾气汇合形成液态混合物,经过真空泵抽离排出。优选地,所述进气管上设有开关阀。优选地,所述储水装置底部设有加热装置。一种高温扩散炉,包含如上所述的尾排防堵装置。本技术的有益效果如下:在传统的尾排装置处增加氮气储罐、储水装置,所述氮气储罐提供的氮气经过储水装置,氮气携带水蒸气与尾气交汇,起到降温冷凝作用,加之固态偏磷酸固体溶于水蒸气中,尾气中气体冷凝和固体溶解后形成液态混合物从尾排排出,不会造成 ...
【技术保护点】
一种尾排防堵装置,包括依次设置的尾气管、冷却瓶和真空泵,所述冷却瓶收集尾气冷却后形成的物质,其特征在于,所述尾排防堵装置还包括氮气储罐和储水装置,所述氮气储罐与储水装置通过氮气管相互贯通密封连接,所述尾气管与储水装置通过进气管相互贯通密封连接,所述氮气管包括出气口,所述进气管包括进气口,所述出气口和进气口间隔设置于储水装置的液面上方。
【技术特征摘要】
1.一种尾排防堵装置,包括依次设置的尾气管、冷却瓶和真空泵,所述冷却瓶收集尾气冷却后形成的物质,其特征在于,所述尾排防堵装置还包括氮气储罐和储水装置,所述氮气储罐与储水装置通过氮气管相互贯通密封连接,所述尾气管与储水装置通过进气管相互贯通密封连接,所述氮气管包括出气口,所述进气管包...
【专利技术属性】
技术研发人员:周湘源,张勇,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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