一种改善扩散片内方阻均匀性的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，包括喷淋管、石英管、插片卡槽、接液瓶和排气箱，所述喷淋管通过卡扣与石英管内壁连接，所述喷淋管的左侧设置有进气口，且喷淋孔设置在喷淋管右端，所述石英管左侧设置有细管口，且石英管右侧设置有后密封塞，所述石英管内部设置有插片卡槽，且插片卡槽上固定有插片，所述石英管底部固定有排废管，且排废管左边与接液瓶连接，所述接液瓶设置有废液进口，且废液出口设置有废液出口，所述接液瓶顶部和底部均安装有缓冲阀，所述废液出口左端与冷却瓶的右侧连接，且冷却瓶的顶部通过导管与排气箱连接。本实用新型专利技术减少了硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性。

Device for improving uniformity of square resistance in diffusion sheet

The utility model discloses an improved diffusion sheet inside resistance device uniformity, which comprises a spraying tube, quartz tube, insert card slot, then the liquid bottle and the exhaust box, the spray pipe through the buckle and the inner wall of the quartz pipe connection, left the spray pipe provided with an air inlet, and the spray hole at the right end of the spray pipe, the quartz tube are arranged at the left side of the mouth, and the quartz tube is arranged right after the seal plug, the quartz tube is arranged inside the insert slot, is inserted and fixed insert slot on the quartz tube are fixed at the bottom of the exhaust pipe and the exhaust pipe. On the left side and is connected with a liquid bottle, the bottle is provided with a liquid inlet is connected with liquid, and liquid outlet is provided with a waste liquid outlet, the receiving bottle top and bottom are provided with a buffer valve, the waste outlet left and right connecting cooling bottle, and the bottle top cooling through the catheter Connect with the exhaust box. The utility model reduces the square resistance gradient in the silicon wafer, and improves the uniformity of the diffusion square resistance.

【技术实现步骤摘要】
一种改善扩散片内方阻均匀性的装置
本技术涉及太阳能电池设备
，具体为一种改善扩散片内方阻均匀性的装置。
技术介绍
目前，太阳能电池，也称光伏电池，是一种太阳能的光能直接转化为电能的半导体器件。由于他是绿色的环保产品，不会引起环境污染，而且是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源。随着扩散方阻的不断提高，现有炉管扩散方式的均匀性已经很差，不能满足目前的产线需求。普通扩散石英舟是硅片与炉管进气气流方向呈90°角，这种扩散方式呈现出的方阻趋势是中间高，边缘低，随着扩散方阻的不断升高，中心方阻与边缘方阻的差异越来越大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，所具有的有益效果是：本技术减少了硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，包括喷淋管、石英管、插片卡槽、接液瓶和排气箱，所述喷淋管通过卡扣与石英管内壁连接，所述喷淋管的左侧设置有进气口，且喷淋孔设置在喷淋管右端，所述石英管左侧设置有细管口，且石英管右侧设置有后密封塞，所述石英管内部设置有插片卡槽，且插片卡槽上固定有插片，所述石英管底部固定有排废管，且排废管左边与接液瓶连接，所述接液瓶设置有废液进口，且废液出口设置有废液出口，所述接液瓶顶部和底部均安装有缓冲阀，所述废液出口左端与冷却瓶的右侧连接，且冷却瓶的顶部通过导管与排气箱连接。优选的，所述细管口左侧设置有前密封塞。优选的，所述插片卡槽两侧设置有插片卡板。优选的，所述接液瓶与冷却瓶之间安装有减压阀。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该设备，取消原扩散炉台机的常规进气方式，更换成新型喷淋管进行气体输送，使得扩散源在管内分布更均匀，解决了扩散源从炉尾传送到炉口距离的问题；减少硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性；通过缩短石英舟片间距，增加插片的数量，减小印刷烧结后接触电阻的大小，从而提升电池片效率，此外，该设备减少了硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的局部视图。图中：1-进气口；2-前密封塞；3-细管口；4-喷淋管；5-卡扣；6-石英管；7-插片；8-喷淋孔；9-插片卡板；10-后密封塞；11-插片卡槽；12-排废管；13-接液瓶；14-减压阀；15-冷却瓶；16-导管；17-排气箱；18-废液出口；19-缓冲阀；20-废液进口。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1和图2，一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，包括喷淋管4、石英管6、插片卡槽11、接液瓶13和排气箱17，喷淋管4通过卡扣5与石英管6内壁连接，喷淋管4的左侧设置有进气口1，且喷淋孔8设置在喷淋管4右端，石英管6左侧设置有细管口3，且石英管6右侧设置有后密封塞10，所述石英管6内部设置有插片卡槽11，且插片卡槽11上固定有插片7，石英管6底部固定有排废管12，且排废管12左边与接液瓶13连接，接液瓶13设置有废液进口20，且废液出口18设置有废液出口18，接液瓶13顶部和底部均安装有缓冲阀19，废液出口18左端与冷却瓶15的右侧连接，且冷却瓶15的顶部通过导管16与排气箱17连接，细管口3左侧设置有前密封塞2，插片卡槽11两侧设置有插片卡板9，接液瓶13与冷却瓶15之间安装有减压阀14。工作原理：使用时，启动进气装置，气流从进气口1进入喷淋管4，从喷淋管4右端的喷淋孔8进入石英管6，在与插片7接触后从排废管12流出，进入接液瓶13，改造后的接液瓶13具有接液和缓冲功能，能够在外围排废压力发生扰动时自动缓冲，避免气场受到扰动，最后气体经过冷却瓶15冷却后从排气箱17排出。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，包括喷淋管（4）、石英管（6）、插片卡槽（11）、接液瓶（13）和排气箱（17），其特征在于：所述喷淋管（4）通过卡扣（5）与石英管（6）内壁连接，所述喷淋管（4）的左侧设置有进气口（1），且喷淋孔（8）设置在喷淋管（4）右端，所述石英管（6）左侧设置有细管口（3），且石英管（6）右侧设置有后密封塞（10），所述石英管（6）内部设置有插片卡槽（11），且插片卡槽（11）上固定有插片（7），所述石英管（6）底部固定有排废管（12），且排废管（12）左边与接液瓶（13）连接，所述接液瓶（13）设置有废液进口（20），且废液出口（18）设置有废液出口（18），所述接液瓶（13）顶部和底部均安装有缓冲阀（19），所述废液出口（18）左端与冷却瓶（15）的右侧连接，且冷却瓶（15）的顶部通过导管（16）与排气箱（17）连接。

【技术特征摘要】
1.一种改善扩散片内方阻均匀性的装置，包括喷淋管（4）、石英管（6）、插片卡槽（11）、接液瓶（13）和排气箱（17），其特征在于：所述喷淋管（4）通过卡扣（5）与石英管（6）内壁连接，所述喷淋管（4）的左侧设置有进气口（1），且喷淋孔（8）设置在喷淋管（4）右端，所述石英管（6）左侧设置有细管口（3），且石英管（6）右侧设置有后密封塞（10），所述石英管（6）内部设置有插片卡槽（11），且插片卡槽（11）上固定有插片（7），所述石英管（6）底部固定有排废管（12），且排废管（12）左边与接液瓶（13）连接，所述接液瓶（13）设置有废液进口（20），且废...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，孔群，杨玉生，姜春潮，
申请(专利权)人：常州好时新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32