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一种改善扩散片内方阻均匀性的装置制造方法及图纸
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下载一种改善扩散片内方阻均匀性的装置的技术资料
文档序号:15857961
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本实用新型公开了一种改善扩散片内方阻均匀性的装置,包括喷淋管、石英管、插片卡槽、接液瓶和排气箱,所述喷淋管通过卡扣与石英管内壁连接,所述喷淋管的左侧设置有进气口,且喷淋孔设置在喷淋管右端,所述石英管左侧设置有细管口,且石英管右侧设置有后密封...
该专利属于常州好时新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州好时新能源有限公司授权不得商用。
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