一种管式POCl3扩散方阻自动调整方法技术

本发明专利技术公开了一种管式POCl3扩散方阻自动调整方法。它包括液态磷源扩散设备、自动上下料机器以及与液态磷源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各个液态磷源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，计算机内存储上述DLV文件并能够对各个液态磷源扩散设备对应温区的方阻值进行计算处理，在生产过程中，液态磷源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过对DLV参数的调用，自动对液态磷源扩散设备内不同温区的扩散温度进行调整。采用上述的方法后，建立的数据链接变量文件DLV，在生产过程中，通过DLV文件的自动调用，实现连续生产过程扩散方阻的自动调节。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设及一种晶体娃太阳能电池的制作方法，具体地说是一种管式POCls扩散 方阻自动调整方法。
技术介绍
目前，在晶体娃太阳电池制造行业，P型衬底晶娃太阳能电池扩散制备pn结主要 采用管式液态憐源高溫扩散方式；一般通过调整炉管溫度或携带憐源的小氮流量来调控小 范围内的扩散方阻波动。炉管溫度调整的常见方法是在连续数管内，保持沉积步溫度不变， 待方阻波动至一定范围后，对沉积步溫度进行调整，然后再连续生产数管，W此反复；另一 种方法则基于实际测量的方阻与目标方阻的差异，基于既有经验，通过小氮流量设定变化 来调整扩散方阻。尽管运些方法在一定程度上起到了扩散方阻的稳定工作，但受限于炉管 自身差异、憐源源瓶液位高度的持续变化，运些方法均具有很大的局限性。同时，受限于工 程师能力差异，上述调节方法本身更具有很大的风险性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种能够实现连续生产过程扩散方阻的自动调 节的管式POCls。 为了解决上述技术问题，本专利技术的管式POCls，包括液态憐 源扩散设备、自动上下料机器W及与液态憐源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各 个液态憐源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，计算机内存储上 述DLV文件并能够对各个液态憐源扩散设备对应溫区的方阻值进行计算处理，计算时各个 溫区分开独立计算，对应公式如下：CTEMPm=(A(R)m-Rtarget)XKco打+CTEMP巧EMde 其中A(R)m代表连续生产n舟的对应溫区的方阻均值，化为第i舟对应溫区的方 阻计算值，CTEMPm为第m次的自动调整溫度值，RtSIWt为预设目标方阻值，KtMf为与憐源液 位高度相关的第m次溫度调整的溫度修正系数，CTEMP为炉管初始设定沉积溫度，TEMd。为 炉管不同溫区的沉积溫度补偿值； 在生产过程中，液态憐源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过对 DLV参数的调用，自动对液态憐源扩散设备内不同溫区的扩散溫度进行调整。 所述计算机还与一个方阻测试设备连接，所述方阻测试设备能够对方阻值进行测 试。 所述液态憐源扩散设备为管式扩散炉。 采用上述的方法后，由于各个液态憐源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自 动生成的DLV文件，计算机内存储上述DLV文件并能够对各个液态憐源扩散设备对应溫区 的方阻值进行计算处理，由此建立的数据链接变量文件DLV，在生产过程中，通过DLV文件 的自动调用，实现连续生产过程扩散方阻的自动调节；除能够实现稳定、均匀的炉管扩散方 阻外，基于各个炉管单独存储的DLV文件，能够详细保存计算获得的各管不同溫区的扩散 沉积溫度；基于上述溫度汇总数据，可W方便快捷地对比出不同炉管的沉积溫度差异，进而 更有效地实现扩散工段的整体优化。【具体实施方式】 下面结合【具体实施方式】，对本专利技术的POCls作进一步详细 说明。 本专利技术的POCls，包括液态憐源扩散设备、自动上下料机 器、方阻测试设备W及与液态憐源扩散设备、自动上下料机、方阻测试设备连接的计算机， 液态憐源扩散设备优选为管式扩散炉，自动上下料机优选为罗伯特科自动上下料设备，方 阻测试设备优选为Semil油方阻自动检测（测试光电压）设备，针对各个液态憐源扩散设 备具有通过软件程序自动生成的DLV文件，计算机内存储上述DLV文件并能够对各个液态 憐源扩散设备对应溫区的方阻值进行计算处理，公式如下： Rlz二R1、Rclz二（R2+R3) /2、Rcz二（R4+Rs) /2、Rcgz二（Re+R?)、Rgz二R8 扩散沉积步的炉管溫度通过前n舟（可根据实际情况做调整）的对应5个溫区的 方阻均值自动计算完成，计算时5个溫区分开独立计算，对应公式如下：CTEMPm=(A(R)m-Rtarget)XKco打+CTEMP巧EMde 其中A(R)m代表连续生产n舟的对应溫区的方阻均值，化为第i舟对应溫区的方 阻计算值，CTEMPm为第m次的自动调整溫度值，RtSIWt为预设目标方阻值，KtMf为与憐源液 位高度相关的第m次溫度调整的溫度修正系数，CTEMP为炉管初始设定沉积溫度，TEMd。为 炉管不同溫区的沉积溫度补偿值；CTEMPm,氏。"，TEMde,CTEMP作为DLV参数组成部分，即数 据链接变量，该系列参数会独立形成DLV文件。 在实际生产过程中，需在DLV文件中预设目标方阻RtBfgPt,扩散炉初始设定沉积溫 度CTEMP，炉管不同溫区的沉积溫度补偿值TEMd。，W及与源瓶液位高度相关的溫度调整修 正系数K。。。化。。为针对不同液位高度设定的一组值，随液位高度变化，调用的K准也随 之变化）。完成数值设定后，液态憐源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过 对DLV参数的调用，自动对液态憐源扩散设备内不同溫区的扩散溫度进行调整，从而保证 管间扩散方阻的稳定性及管内扩散方阻的均匀性，另外，方阻测试设备能够对方阻值进行 测试，如测试过程中出现错误的、或不可靠的方阻值，可人为干预并将错误结果予W去除， 从而保证计算获得的炉管不同溫区设定沉积溫度CTEMPm的准确性；此外，针对TEMde值，在 生产过程中也同样可W根据需要予W必要调整，通过DLV自动补偿方法优化，实现了如下 产线方阻控制；不同炉管的多个批次晶体娃太阳能电池片的扩散方阻均在很窄范围内波 动；有效实现了管式液态憐源高溫扩散方阻的精确控制，管内不同溫区的方阻均匀性控制 在2. 5 %W内，达到同行业领先水平。【主权项】1. 一种POCl 3，其特征在于：包括液态磷源扩散设备、自动上下 料机器以及与液态磷源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各个所述液态磷源扩散 设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，所述计算机内存储上述DLV文件 并能够对各个所述液态磷源扩散设备对应温区的方阻值进行计算处理，计算时各个温区分 开独立计算，对应公式如下：CTEMPn= (A(R)m-Rtarget) XKcorr+CTEMP+TEMde 其中A(R)ni代表连续生产η舟的对应温区的方阻均值，Ri为第i舟对应温区的方阻计 算值，CTEMPni为第m次的自动调整温度值，R ta_t为预设目标方阻值，Kotit为与磷源液位高 度相关的第m次温度调整的温度修正系数，CTEMP为炉管初始设定沉积温度，TEM&为炉管 不同温区的沉积温度补偿值； 在生产过程中，液态磷源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过对DLV参 数的调用，自动对液态磷源扩散设备内不同温区的扩散温度进行调整。2. 按照权利要求1所述的POCl 3，其特征在于：所述计算机还与 一个方阻测试设备连接，所述方阻测试设备能够对方阻值进行测试。3. 按照权利要求1所述的POCl 3，其特征在于：所述液态磷源扩 散设备为管式扩散炉。【专利摘要】本专利技术公开了一种管式POCl3。它包括液态磷源扩散设备、自动上下料机器以及与液态磷源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各个液态磷源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，计算机内存储上述DLV文件并能够对各个液态磷源扩散设备对应温区的方阻值进行计算处理，在生产过程中，液态磷源扩散设备自动调用并读取DL本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种POCl3扩散方阻自动调整方法，其特征在于：包括液态磷源扩散设备、自动上下料机器以及与液态磷源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各个所述液态磷源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，所述计算机内存储上述DLV文件并能够对各个所述液态磷源扩散设备对应温区的方阻值进行计算处理，计算时各个温区分开独立计算，对应公式如下：A(R)m=Σi=1nRin]]>CTEMPm＝(A(R)m‑Rtarget)×Kcorr+CTEMP+TEMde其中A(R)m代表连续生产n舟的对应温区的方阻均值，Ri为第i舟对应温区的方阻计算值，CTEMPm为第m次的自动调整温度值，Rtarget为预设目标方阻值，Kcorr为与磷源液位高度相关的第m次温度调整的温度修正系数，CTEMP为炉管初始设定沉积温度,TEMde为炉管不同温区的沉积温度补偿值；在生产过程中，液态磷源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过对DLV参数的调用，自动对液态磷源扩散设备内不同温区的扩散温度进行调整。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚剑，韩晓辉，王广为，邱江南，翟颖晗，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山西;14