一种太阳能电池扩散用盛源装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种太阳能电池扩散用盛源装置，包括：圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管，所述源瓶底部设有一倒锥形的容置腔，所述送气管位于所述源瓶上端的正中且其下端伸入所述容置腔内，所述送气管底端固接有一球形结构的扩散头且所述扩散头上设有若干允许气流穿过的扩散孔，所述送气管靠近扩散头的一端倾斜地设置有扩散副管。本发明专利技术既能够吸收从高处向低处集中起来的源从而减少源的浪费，又能够避免因为液面不足造成方块电阻性能不稳定的风险，更重要的是，该盛源装置能够保证在全部的扩散过程中，气流能够以稳定的速率产生稳定的扩散效果，保证方块电阻实际尺寸的稳定，进而保证成品的转换效率。

With Shengyuan device for solar cell diffusion

The invention relates to a device for Shengyuan solar battery diffusion, including: a cylindrical source is arranged on the bottle and the bottle at the upper end of the air source and the air outlet pipe, the cavity bottom of the bottle is provided with a source of inverted cone, the air in the bottle at the upper end of the median source and the lower end extends into the accommodating the gas tube cavity, the bottom is fixedly connected with a spherical head and the structure of the diffusion diffusion diffusion head is provided with a plurality of holes to allow airflow through the end of the air near the head tilted diffusion diffusion tube side. The invention not only can absorb from high to low concentrated sources so as to reduce the source of waste, but also can avoid the risks caused by the sheet resistance performance is not stable because of insufficient level, more importantly, the device can ensure the diffusion process in Shengyuan all in the air can produce diffusion effect stable at a steady rate, guarantee the square resistance of the actual size stability, and ensure the product conversion efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池扩散用盛源装置
本专利技术属于太阳能电池组件生产及研发
，特别是涉及一种太阳能电池扩散用盛源装置。
技术介绍
太阳能电池生产中工序有制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝印，其中扩散工序中主要用的气体是三氯氧磷，简称源，扩散热处理是在有计划的通入P源后完成的，源的纯度、流量都会直接影响到扩散的工艺参数方块电阻，由于生产过程中源的不断消耗，常常因为液面不足导致扩散后的方阻不均匀和偏大的现象，方块电阻太大或太小直接影响到成品后的转换效率，另一方面，由于液面太低，底部的源液作废舍弃，既浪费也存在安全隐患。为解决上述技术问题，专利ZL201220425747.8公开有一种太阳能电池扩散用盛源装置，它包括圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管，源瓶的内底部由瓶壁向中间厚度逐渐变薄，源瓶的内底部为阶梯形圆环结构，阶梯形圆环结构由源瓶的瓶壁向中间逐渐收缩，送气管的上端位于源瓶上端面的中部，下端位于接近最底层圆环结构的底面处。虽然上述技术方案通过设置直径逐渐减小的阶梯型环形结构，送气管路延伸到瓶子的底部可以更好的吸收从高处向低处集中起来的源，一定程度上减少源的浪费并且避免了因液面不足而造成方块电阻性能不稳定的风险，但是，在实际使用过程中，上述技术方案中的进气管直接进入源的底部，在源的初始液面较高时，进气管内的气流需要突破源的最高液面与最低液面之间压力对气流产生的阻力，才能够将源扩散出去，所以在扩散的初始阶段，扩散的效率并不高，从而使得扩散的全过程中会出现不稳定的状态，会影响到源扩散的实际效果，从而影响到方块电阻的实际尺寸，进而直接影响到成品后的转换效率。
技术实现思路
本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供了一种相较于现有技术而言，既能够吸收从高处向低处集中起来的源从而减少源的浪费，又能够避免出现因为液面不足造成方块电阻性能不稳定的太阳能电池扩散用盛源装置。本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种太阳能电池扩散用盛源装置，包括：圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管，所述源瓶底部设有一倒锥形的容置腔，所述送气管位于所述源瓶上端的正中且其下端伸入所述容置腔内，所述送气管底端固接有一球形结构的扩散头且所述扩散头上设有若干允许气流穿过的扩散孔，所述送气管靠近扩散头的一端倾斜地设置有扩散副管。为解决现有技术中的问题，本专利技术提供有上述技术方案。与现有技术相比，本专利技术的改进之处如下：其一是：改进了送气管底端的结构，即：所述送气管底端固接有一球形结构的扩散头且所述扩散头上设有若干允许气流穿过的扩散孔，之所以设计扩散头是考虑到为了对自送气管底端进入源瓶的气流进行约束之后再进行分散，为了保证气流扩散的均匀，本专利技术设计所述扩散头为球形，其侧壁上设有允许气流穿过的扩散孔。气流在穿过扩散孔时会受到扩散孔的约束，沿着扩散孔的设计位置扩散，实际使用中，操作者可根据出气管的位置来设定扩散孔实际排布的紧密程度。其二是：改进了送气管侧壁的结构，即：所述送气管靠近扩散头的一端倾斜地设置有扩散副管，之所以设计扩散副管是为了保证在源瓶内源的液面处于较高的位置时，处于较高位置的源能够在扩散副管内涌出的气流的带动下自出气管内扩散出去，此设计可以保证在扩散的初始阶段，扩散的效率仍然较高，从而使得扩散的全过程中始终保持较为稳定的状态。之所以设计扩散副管是倾斜设置的，是为了增强气流扩散的速率。在本专利技术的技术方案里，一方面，对自送气管底端进入源瓶内的气流进行约束，以强化扩散的实际效果；另一方面，设置扩散副管以保证在扩散的初始阶段扩散的效率处于稳定的状态，经过上述改进，有效地解决了现有技术中的技术问题，本专利技术能够保证在全部的扩散过程中，气流能够以稳定的速率产生稳定的扩散效果，保证方块电阻实际尺寸的稳定，进而保证成品的转换效率。为了对自扩散副管内进入源瓶的气流进行有效地约束，本专利技术还可以采用如下技术措施：所述扩散副管的末端设有球形结构的扩散副头且所述扩散副头侧壁设有若干扩散孔。此处设计中，气流在穿过扩散孔时会受到扩散孔的约束，沿着扩散孔的设计位置扩散，实际使用中，操作者可根据出气管的位置来设定扩散孔实际排布的紧密程度。为了能够进一步地保证扩散的实际效率及稳定性，本专利技术还可以采用如下技术措施：所述送气管中部倾斜地设有扩散助管且所述扩散助管的末端设有球形结构的扩散助头，所述扩散助头侧壁设有若干扩散助孔。此处设计中，气流在穿过扩散助孔时会受到扩散助孔的约束，沿着扩散助孔的设计位置扩散，实际使用中，操作者可根据出气管的位置来设定扩散助孔实际排布的紧密程度。在实际的使用过程中，为了有效地匹配扩散助管及扩散副管的实际使用效果，本专利技术还可以采用如下技术措施：所述扩散副管和所述扩散助管的倾斜方向同向或反向。即包含以下三种情况：扩散副管与扩散助管同向且朝上；扩散副管与扩散助管反向；扩散副管与扩散助管同向且朝下。之所以能设计扩散副管与扩散助管同向且朝上，是考虑到扩散副管和扩散助管可以共同增强源在源瓶内的扩散速率。之所以能设计扩散副管与扩散助管反向，又包含了两种情况，即：其一是：扩散副管朝上且扩散助管朝下，朝上的扩散副管能够增强源在源瓶内的扩散速率，朝下的扩散助管能够在源的液面接近扩散助管的出口时，直接使得气流与源相互接触，增强源的扩散效率；其二是：扩散副管朝下且扩散助管朝上，朝上的扩散助管能够增强源在源瓶内的扩散速率，朝下的扩散副管能够在源的液面接近扩散副管的出口时，直接使得气流与源相互接触，增强源的扩散效率。之所以能设计扩散副管与扩散助管同向且朝下，是考虑到扩散副管和扩散助管可以分别在源的液面接近二者的出口时，直接使得气流与源相互接触，增强源的扩散效率。本专利技术还可以采用如下技术措施：所述送气管中部倾斜地设有扩散助管且所述扩散助管的末端设有球形结构的扩散助头，所述扩散助头侧壁设有若干扩散助孔。为了能够约束和设计容置腔内扩散副管的位置，本专利技术还可以采用如下技术措施：所述容置腔内壁自上至下设有若干级环形台阶。在实际使用时，操作者完全可以根据台阶的位置来设计扩散副管的位置及数量。为了防止台阶的弯折处会对源的扩散造成影响，本专利技术还可以采用如下技术措施：所述台阶弯折处圆弧过渡。本专利技术具有的优点和积极效果是：基于上述技术方案的改进，本专利技术一方面，对自送气管底端进入源瓶内的气流进行约束，以强化扩散的实际效果；另一方面，设置扩散副管以保证在扩散的初始阶段扩散的效率处于稳定的状态，经过上述改进，有效地解决了现有技术中的技术问题，本专利技术能够保证在全部的扩散过程中，气流能够以稳定的速率产生稳定的扩散效果，保证方块电阻实际尺寸的稳定，进而保证成品的转换效率。基于上述优选技术方案的改进，本发明的技术方案得以进一步地完善，更加高效地解决了上述技术问题。附图说明图1是本专利技术的结构示意图(扩散副管与扩散助管同向且朝上)；图2是本专利技术的结构示意图(容置腔内设有台阶，扩散副管与扩散助管同向且朝上)；图3是本专利技术的结构示意图(容置腔内设有台阶，扩散副管朝上且扩散助管朝下)；图4是本专利技术的结构示意图(容置腔内设有台阶，扩散副管朝下且扩散助管朝上)；图5是本专利技术的结构示意图(容置腔内设有台阶，扩散副管与扩散助管同向且朝下)。图中：1、源瓶；2、送气管；3、出气管；4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池扩散用盛源装置，包括：圆柱形源瓶(1)和设置于源瓶(1)上端的送气管(2)和出气管(3)，其特征在于：所述源瓶(1)底部设有一倒锥形的容置腔(4)，所述送气管(2)位于所述源瓶(1)上端的正中且其下端伸入所述容置腔(4)内，所述送气管(2)底端固接有一球形结构的扩散头(5)且所述扩散头(5)上设有若干允许气流穿过的扩散孔(6)，所述送气管(2)靠近扩散头(5)的一端倾斜地设置有扩散副管(7)。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池扩散用盛源装置，包括：圆柱形源瓶(1)和设置于源瓶(1)上端的送气管(2)和出气管(3)，其特征在于：所述源瓶(1)底部设有一倒锥形的容置腔(4)，所述送气管(2)位于所述源瓶(1)上端的正中且其下端伸入所述容置腔(4)内，所述送气管(2)底端固接有一球形结构的扩散头(5)且所述扩散头(5)上设有若干允许气流穿过的扩散孔(6)，所述送气管(2)靠近扩散头(5)的一端倾斜地设置有扩散副管(7)。2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散用盛源装置，其特征在于：所述扩散副管(7)的末端设有球形结构的扩散副头(8)且所述扩散副头(8)侧壁设有若干扩散孔(6)。3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用盛源装置，其特征在于：所述送气管(2)中部倾斜地设有扩散助管(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：田允劼，
申请(专利权)人：天津爱丽琪科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12