Diffusion furnace air intake system of the utility model discloses a solar panel production, including nitrogen source and source diffusion bottle, the diffusion source bottle comprises an air inlet pipe and an air outlet pipe and the diffusion furnace, the source is the bottom of the bottle for the downward convex hemispherical or conical diffusion source, the bottom of the bottle embedded in the base; the lower part of the base has a gravity sensor, the whole system consists of two identical and independent of the gas, two gas path arranged in parallel, the mixing pipe aggregated to the mixed gas duct, mixed gas duct and oxygen nitrogen source will pass into the gas pump after mixing into diffusion furnace. The device can use the three phosphorus oxychloride in the diffuser bottle and ensure the atmosphere in the diffusion furnace is stable.
【技术实现步骤摘要】
太阳能电池板生产用扩散炉进气系统
本技术涉及一种太阳能电池板生产用设备,具体涉及一种扩散炉的气体供应系统。
技术介绍
晶体硅太阳能电池的扩散工艺一般是利用掺硼的P型硅作为基底材料,在800℃左右,通过扩散五价的磷原子形成n型的半导体,组成P-N结的过程。扩散使用的设备是扩散炉,三氯氧磷是扩散的主要原材料,将装有三氯氧磷的扩散源瓶安装到设备的恒温装置中,如扩散源瓶通入小流量氮气,小流量氮气将三氯氧磷带进石英管内参加反应。由于扩散过程中对三氯氧磷需要的量是一定的,当扩散源瓶中的三氯氧磷低于一定量时,其氮气所携带的三氯氧磷的量就不能满足生产工艺的需要,必须更换新的扩散源瓶,这样更换下来的旧扩散源瓶内还剩余少量的三氯氧磷,这不但造成了三氯氧磷的浪费,且由于三氯氧磷是剧毒化学品,暴露于潮湿空气中即水解生成磷酸和氯化氢,进而产生白烟,遇水和酒精则产生大量的热和盐酸气体,甚至爆炸,人体吸入有致命的危险,一旦泄露会给周围环境会造成很大的危险,所以旧扩散源瓶的储存也存在很大的危险。因此,生产过程中,最好将三氯氧磷全部用尽。现有技术中也有相关研究,如中国专利,申请号:CN201420207177.4,公告号:CN203904505U,名称为“一种晶体硅太阳能电池扩散工艺中三氯氧磷的供给装置”,披露了一种装置,用于将三氯氧磷用尽。该装置的原理是在还存留少量的三氯氧磷的扩散源瓶与一个装满三氯氧磷的扩散源瓶通过管道串联。氮气先通过旧扩散源瓶,然后经过新扩散源瓶,氮气逐渐将旧扩散源瓶内的三氯氧磷全部带走,且通过新扩散源瓶来保证气体中三氯氧磷的含量能够复合要求。这种装置以及方法能够将旧 ...
【技术保护点】
一种太阳能电池板生产用扩散炉进气系统,包括氮气源(1)和扩散源瓶(2)以及扩散炉(130),其特征在于,所述扩散源瓶(2)包括一个进气管(21)和一个出气管(22),进气管(21)底端距离扩散源瓶(2)的底端不大于5毫米;所述氮气源(1)通过氮气管(101)与进气软管(501)连通,所述氮气管(101)上设有氮气阀(102),所述进气软管(501)与进气管(21)连通,所述进气管(21)上设有进气阀(211),所述出气管(22)与一个出气软管(502)连通,所述出气管(22)上设有出气阀(221),所述出气软管(502)与一个混合气管(701)连通,该混合气管(701)上设有混合气阀(702);所述扩散源瓶(2)的底部为向下凸出的半球形或锥形,扩散源瓶(2)底部嵌入底座(24)内,底座(24)的底部为平面;所述底座(24)的下部有一个重力感应器(3),该重力感应器(3)与一个重量显示报警装置(4)连接;所述氮气阀(102)、进气软管(501)、扩散源瓶(2)、出气软管(502)、混合气管(701)以及混合气阀(702)均有两个,形成两个独立气路(100);每个独立气路(100)的混合气 ...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池板生产用扩散炉进气系统,包括氮气源(1)和扩散源瓶(2)以及扩散炉(130),其特征在于,所述扩散源瓶(2)包括一个进气管(21)和一个出气管(22),进气管(21)底端距离扩散源瓶(2)的底端不大于5毫米;所述氮气源(1)通过氮气管(101)与进气软管(501)连通,所述氮气管(101)上设有氮气阀(102),所述进气软管(501)与进气管(21)连通,所述进气管(21)上设有进气阀(211),所述出气管(22)与一个出气软管(502)连通,所述出气管(22)上设有出气阀(221),所述出气软管(502)与一个混合气管(701)连通,该混合气管(701)上设有混合气阀(702);所述扩散源瓶(2)的底部为向下凸出的半球形或锥形,扩散源瓶(2)底部嵌入底座(24)内,底座(24)的底部为平面;所述底座(24)的下部有一个重力感应器(3),该重力感应器(3)与一个重量显示报警装置(4)连接;所述氮气阀(102)、进气软管(501)、扩散源瓶(2)、出气软管(502)、混合气管(701)以及混合气阀(702)均有两个,形成两个独立气路(100);每个独立气路(100)的混合气管(701)上在混合气阀(702)和出气软管(502)与混合气管(701)接口处之间有一支路气管(801),该支路气管(801)上有一支路气管阀(802),该支路气管(801)的另一端与另一个独立气路(100)连通,连通处在氮气阀(102)和进气软管(501)与氮气管(101)的接口处之间;两个独立气路(100)的混合气管(701)均与总混合气管(...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵江华,陈桂宝,唐磊,朱姚培,
申请(专利权)人:江苏荣马新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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