一种硅片批量吸取装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片批量吸取装置，包括：吸取组件；以及用于将吸取组件锁紧固定的紧固组件，其中，吸取组件由若干片彼此紧贴的硅片吸盘层叠而成，紧固组件包括分别设在吸取组件左右两端的左安装板与右安装板，以及设于左安装板与右安装板之间的连接杆，吸取组件穿套于连接杆之上并由左安装板与右安装板锁紧固定。根据本发明专利技术，可实现自动插取硅片过程中的批量硅片吸取，同时能消除长期使用过程中硅片吸盘细缝减小导致的硅片划伤，以及减少装配过程中硅片细缝变大导致的硅片划伤或压碎硅片，提高了生产效率的同时提高了成品率。

A device for bulk absorption of silicon

The invention discloses a wafer batch suction device, including: absorbing components; and for fastening assembly, assembly locking fixed will absorb, draw close to each other component is composed of a plurality of wafer chuck stacked, fastening assembly includes components are located in the left and right ends of the left from the mounting plate and the mounting plate is arranged on the right, and install the left connecting rod between the board and the right of the mounting plate is sleeved on the connecting rod component from above and from the left and right mounting plate mounting plate locking. According to the invention can realize the automatic insertion of silicon in the process of bulk silicon to absorb, and can eliminate the long-term use of wafer chuck to reduce silicon slit scratch, and reduce the assembly process of silicon slit change cause silicon wafer scratches or crushed, improve production efficiency and improve the rate of finished products.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片批量吸取装置
本专利技术涉及真空吸取
，特别涉及一种硅片批量吸取装置。
技术介绍
在太阳能硅片工艺处理步骤中，需要先进行插片步骤，即将多片硅片相互间隔地放置在石墨支架上，然后进行工艺处理，再将工艺处理完后的硅片从支架内取出(取片步骤)以备后续的工艺操作。在现有技术中，仍采用由人工操作的生产方式，生产效率受到一定限制，同时硅片容易在插片及取片过程中受到不同程度的污染及划伤，影响产品质量。针对上述问题催生出一批硅片吸取装置，但是现有的硅片吸取装置存在以下几个问题：首先，硅片吸盘具有一定弹性，容易在长期反复使用过程中受到吸盘夹具的影响使得相邻硅片吸盘的细缝变小，进而会划伤硅片表面；硅片吸盘在组装过程中由于装配零件的相互干涉，导致相邻硅片吸盘的细缝变大，影响硅片吸取的稳定性，同时由于待吸取的硅片细缝固定，相邻硅片吸盘的细缝变大后导致硅片在插入至硅片组中时，容易导致硅片吸盘对硅片的压力变大从而划伤或压碎硅片，影响成品率，提高了生产成本。有鉴于此，实有必要开发一种硅片批量吸取装置，用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本专利技术的目的是提供一种硅片批量吸取装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片批量吸取装置，其特征在于，包括：吸取组件(1)；以及用于将吸取组件(1)锁紧固定的紧固组件(2)，其中，吸取组件(1)由若干片彼此紧贴的硅片吸盘(11)层叠而成，紧固组件(2)包括分别设在吸取组件(1)左右两端的左安装板(21)与右安装板(22)，以及设于左安装板(21)与右安装板(22)之间的连接杆(25)，吸取组件(1)穿套于连接杆(25)之上并由左安装板(21)与右安装板(22)锁紧固定。

【技术特征摘要】
1.一种硅片批量吸取装置，其特征在于，包括：吸取组件(1)；以及用于将吸取组件(1)锁紧固定的紧固组件(2)，其中，吸取组件(1)由若干片彼此紧贴的硅片吸盘(11)层叠而成，紧固组件(2)包括分别设在吸取组件(1)左右两端的左安装板(21)与右安装板(22)，以及设于左安装板(21)与右安装板(22)之间的连接杆(25)，吸取组件(1)穿套于连接杆(25)之上并由左安装板(21)与右安装板(22)锁紧固定。2.如权利要求1所述的硅片批量吸取装置，其特征在于，硅片吸盘(11)包括：与硅片相接触的吸取部(112)；以及与吸取部(112)一体成型的根部(111)，其中，吸取部(112)与硅片相接触面上开设有至少两个吸嘴(1121)，硅片吸盘(11)的内部开设有通往根部(111)并连通外界的气路(113)，气路(113)与吸嘴(1121)相连通。3.如权利要求2所述的硅片批量吸取装置，其特征在于，根部(111)的厚度大于吸取部(112)的厚度，吸取部(112)关于根部(111)偏置设置从而...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，贾宇鹏，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32