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本发明公开了一种硅片批量吸取装置,包括:吸取组件;以及用于将吸取组件锁紧固定的紧固组件,其中,吸取组件由若干片彼此紧贴的硅片吸盘层叠而成,紧固组件包括分别设在吸取组件左右两端的左安装板与右安装板,以及设于左安装板与右安装板之间的连接杆,吸取...该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种硅片批量吸取装置,包括:吸取组件;以及用于将吸取组件锁紧固定的紧固组件,其中,吸取组件由若干片彼此紧贴的硅片吸盘层叠而成,紧固组件包括分别设在吸取组件左右两端的左安装板与右安装板,以及设于左安装板与右安装板之间的连接杆,吸取...