一种基板搬运装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种基板搬运装置及镀膜设备，涉及液晶显示器制作领域，能够方便弹簧定位块的安装，节省安装时间。所述基板搬运装置包括相对设置的内框架和外框架，外框架上设有基板押元；基板押元上设有多个弹性定位块，弹性定位块用于支撑和定位基板；弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，支撑垫和弹性件均设置在第一凹槽内；弹性件的两端分别与第一凹槽的底面和支撑垫的底面抵接，弹性件可支撑支撑垫上下移动；弹性定位块还包括插入件，支撑底座的侧面上设置有插口，支撑垫上设置有与插入件配合的限位结构，插入件可插入插口和限位结构中，以限制支撑垫的位移量。本实用新型专利技术用于基板搬运。

A substrate handling device and coating equipment

The embodiment of the utility model provides a substrate conveying device and a coating device, relating to the production field of LCD, which is convenient for the installation of spring positioning blocks and saves installation time. The substrate handling device comprises an inner frame and the outer frame is set on the frame, and a substrate element; substrate and element is provided with a plurality of elastic positioning block, elastic positioning block for supporting and positioning the substrate; the elastic locating piece comprises a support base, support pad and elastic member; the supporting surface is arranged on the support base a first groove, the support pad and the elastic element are arranged in the first groove; both ends of the elastic piece are respectively connected with the first bottom surface of the groove and the bottom surface of the support pad contact, the elastic member can support pad to move up and down; the elastic locating block also includes an insert member, the side supporting base is arranged on the socket support the pad is provided with insert with the limit structure, insert can be inserted into the socket and the limit structure, displacement limit support pad. The utility model is used for carrying on the base plate.

【技术实现步骤摘要】
一种基板搬运装置及镀膜设备
本技术涉及液晶显示器制作领域，尤其涉及一种基板搬运装置及镀膜设备。
技术介绍
在液晶面板的制造工艺中，金属膜和透明导电膜通常需要通过溅射成膜的技术来实现，在溅射成膜工艺中，一般利用基板搬送装置来承载玻璃基板在各个腔室中移动并完成镀膜。现有技术中基板搬送装置的结构如图1所示，包括内框架01、外框架02、基板押元03和弹簧定位块04。内框架01和外框架02可以合并和分离，合并时会将玻璃基板固定在两者之间。基板押元03安装在外框架02上，弹簧定位块04安装在基板押元03上，起到定位和支撑玻璃基板的作用。如图2和图3所示，现有技术中的弹簧定位块04一般包括支撑底座041、支撑垫042和两个弹簧043，弹簧043安装在支撑底座041内部用以支撑支撑垫042，两个固定螺丝044将支撑底座041固定在基板押元03上。然而现有技术中在安装弹簧定位块04时，是将弹簧定位块04的各个部件逐一固定在基板押元03上的，这样使得弹簧定位块04安装起来不方便；并且现有技术中的弹簧043需要从支撑底座041的底部安装，由于弹簧043本身具有弹性，这样进一步造成安装不方便，并且会耗费大量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬运装置，包括相对设置的内框架和外框架，所述基板的边缘可固定在所述内框架和所述外框架之间，所述外框架上设有基板押元；其特征在于，所述基板押元上设有多个弹性定位块，所述弹性定位块用于支撑和定位所述基板；所述弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；所述支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，所述支撑垫和所述弹性件均设置在所述第一凹槽内；所述弹性件的两端分别与所述第一凹槽的底面和所述支撑垫的底面抵接，所述弹性件可支撑所述支撑垫上下移动；所述弹性定位块还包括插入件，所述支撑底座的侧面上设置有插口，所述支撑垫上设置有与所述插入件配合的限位结构，所述插入件可插入所述插口和所述限位结构中，以限制所述支撑垫...

【技术特征摘要】
1.一种基板搬运装置，包括相对设置的内框架和外框架，所述基板的边缘可固定在所述内框架和所述外框架之间，所述外框架上设有基板押元；其特征在于，所述基板押元上设有多个弹性定位块，所述弹性定位块用于支撑和定位所述基板；所述弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；所述支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，所述支撑垫和所述弹性件均设置在所述第一凹槽内；所述弹性件的两端分别与所述第一凹槽的底面和所述支撑垫的底面抵接，所述弹性件可支撑所述支撑垫上下移动；所述弹性定位块还包括插入件，所述支撑底座的侧面上设置有插口，所述支撑垫上设置有与所述插入件配合的限位结构，所述插入件可插入所述插口和所述限位结构中，以限制所述支撑垫的位移量。2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述限位结构为卡槽，所述卡槽位于所述支撑垫的侧面上，所述插入件可插入所述插口和所述卡槽中，以限制所述支撑垫的位移量。3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述第一凹槽的底面设置有圆柱状的第二凹槽，所述第二凹槽的直径与所述弹簧的外径相等；所述弹簧的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛瑞锋，金相起，程贯杰，李元虎，
申请(专利权)人：合肥京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34