冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备制造方法及图纸
Flushing ejecting device and wet etching equipment
The utility model provides a flushing spray device and a wet etching device, which can simplify the structure and improve the operation efficiency. The utility model provides a washing spray device includes: a hollow inside the first body, the first body is provided with a first groove; the first coat of the second body in vitro, the second body is provided with at least two can be inside the first body and the second body connected through groove second, second body relative to the first body to rotate to make the first groove and a second groove communicated with the supply pipe, and inside; the first body provides a liquid or gas inside the first body of the.
【技术实现步骤摘要】
冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备
本技术涉及显示器制备
，尤其涉及一种冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备。
技术介绍
喷出刀是液晶面板生产领域一种较为常用的功能性硬件，具有干燥、润洗、防逆流等作用，特别是湿法刻蚀设备应用最为广泛。喷出刀根据其功能分为液体喷出刀、气体喷出刀。以湿法刻蚀设备为例，目前设备分别在工艺区间安装液体喷出刀及气体喷出刀，在快速清洗区间安装液体喷出刀，出口处安装气体喷出刀，在最后一道的清洗工艺的出口处安装气体喷出刀。其中气体喷出刀、液体喷出刀的结构设计分别如图1和图2所示，喷出刀01仅具有一个狭缝出口011，当需要调节喷出刀距离基板的距离、倾斜度时，需要在狭小的腔室内对整个喷出刀进行调整作业，过程复杂，耗费人力，喷出刀一般通过螺钉012固定与操作本体上，当需要改变狭缝出口大小时，需要更换新的喷出刀，拆卸安装较麻烦，当狭缝出口堵塞时，需要将整个设备停止工作进行清理。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备，用以简化结构，可以提高作业效率。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：本技术提供了一种冲洗喷出装置，包括：内部中空的第一本体，所述第...
【技术保护点】
一种冲洗喷出装置，其特征在于，包括：内部中空的第一本体，所述第一本体上设有一个第一通槽；外套于所述第一本体外的第二本体，所述第二本体上设有至少两个可将所述第一本体的内部和所述第二本体的内部连通的第二通槽，所述第二本体可相对所述第一本体转动以使所述第一通槽与一所述第二通槽连通；与所述第一本体的内部连通、为所述第一本体的内部提供液体或气体的供给管路。
【技术特征摘要】
1.一种冲洗喷出装置，其特征在于，包括：内部中空的第一本体，所述第一本体上设有一个第一通槽；外套于所述第一本体外的第二本体，所述第二本体上设有至少两个可将所述第一本体的内部和所述第二本体的内部连通的第二通槽，所述第二本体可相对所述第一本体转动以使所述第一通槽与一所述第二通槽连通；与所述第一本体的内部连通、为所述第一本体的内部提供液体或气体的供给管路。2.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，还包括：外套于所述第二本体外的第三本体，所述第三本体设有与所述第一通槽朝向相同的第三通槽。3.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，每个所述第二通槽大小不同。4.根据权利要求3所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第二通槽的个数为四个，且四个所述第二通槽的大小均不同。5.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第一通槽在所述第一本体靠近所述第二本体的一侧的开口等于每个所述第二通槽在所述第二本体靠近所述第一本体的一侧的开口。6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓治国，王振，魏悦，任志明，王成龙，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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