The present invention relates to the technical field of solar cell preparation, especially the process for improving yield of EL PERC, the battery, the process comprises the following steps: A, raise the temperature inside the tube furnace to 800 - 200 DEG C, and then blowing into the tube into the 5000 + 1000sccm nitrogen removal furnace tube the impurity; B, then into the tube into the 5000 + 1000sccm oxygen, will not remove the steps of impurities in a oxidation reaction; C, the temperature in the furnace tube to 500 - 200 DEG C, adding nitrogen purge impurities will generate oxidation reaction after blowing, D; the silicon furnace tube into the annealing process, improve the PERC efficient battery EL of the invention will yield precipitation of impurities in the furnace tube. By improving the temperature, the nitrogen and oxygen impurities, oxidation and blowing, followed by annealing treatment, and Voc effect There was no abnormality in EL.
【技术实现步骤摘要】
改善PERC高效电池EL良率的工艺
本专利技术涉及太阳能电池片制备
,尤其是一种改善PERC(钝化发射极背面接触太阳能电池)高效电池EL良率的工艺。
技术介绍
目前常规退火是高温去水汽,增加氧化铝的致密性,在实际的生产过程中发现,炉管工艺次数达到一定量时,制程电池片EL测试检测出硅片的表面有黑点存在,VOC偏低。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是:为了解决现有技术炉管工艺次数达到一定量时,硅片退火去水汽时,所制程的电池片EL测试时,存在硅片表面有黑点存在且VOC偏低的问题,现提供一种改善PERC(钝化发射极背面接触太阳能电池)高效电池EL良率的工艺。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种改善PERC(钝化发射极背面接触太阳能电池)高效电池EL良率的工艺,该工艺包括以下步骤:a、将炉管内的温度提升至800±200℃,然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫,去除炉管内杂质物;b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气,将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应;c、将炉管内的温度降至500±200℃,将里面的杂质凝固,变成粉尘, ...
【技术保护点】
一种改善PERC高效电池EL良率的工艺,其特征在于:该工艺包括以下步骤:a、将炉管内的温度提升至800±200℃,然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫,去除炉管内杂质物;b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气,将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应;c、将炉管内的温度降至500±200℃,将里面的杂质凝固,变成粉尘,通入氮气进行吹扫,将杂质氧化反应后的生成物吹除;d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理。
【技术特征摘要】
1.一种改善PERC高效电池EL良率的工艺,其特征在于:该工艺包括以下步骤:a、将炉管内的温度提升至800±200℃,然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫,去除炉管内杂质物;b、接着向炉管内通入500...
【专利技术属性】
技术研发人员:高翔,孙铁囤,姚伟忠,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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