下载改善PERC高效电池EL良率的工艺的技术资料

文档序号:16530693

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本发明涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其是一种改善PERC高效电池EL良率的工艺,该工艺包括以下步骤:a、将炉管内的温度提升至800±200℃,然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫,去除炉管内杂质物;b、接着向炉管内通入5...
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