一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于辊道本体轴端部上以用于安装辊道本体的轴头、套设在轴头上的绝缘保护套。轴头与辊道本体之间设有绝缘层，轴头上加设的绝缘保护套后能够有效保护绝缘层，使得绝缘层不会被靶材溅射到，完全避免了辊道与轴头导通的可能性，使辊道和轴头之间保持绝缘状态，减少了废品率。同时由于绝缘保护套结构简单、维护成本低廉；清理更换保护套简单便捷，提高磁控溅射镀膜生产线的生产效率。

Insulating roller table in vacuum magnetron sputtering coating production line

The utility model discloses a roller insulation vacuum magnetron sputtering coating production line, including roller body, a roller body shaft end for the shaft and the roller body is sheathed on the shaft installed on the insulating protective sleeve. An insulating layer is arranged between the shaft and the roller shaft head body, adding insulation protective jacket can effectively protect the insulating layer, the insulating layer is not completely to the sputtering target, to avoid the possibility of roller shaft head and conduction, keep the insulating state between the roller and the shaft head, reduce the reject rate. At the same time, the insulation protection sleeve has simple structure and low maintenance cost, and the cleaning and replacing protective sleeve is simple and convenient, so as to improve the production efficiency of the magnetron sputtering coating production line.

【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道
本技术涉及一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道。
技术介绍
现有技术中，通常是在真空磁控溅射镀膜生产线上对玻璃产品进行镀膜处理。在该真空磁控溅射镀膜生产线上，腔室内辊道往往是直接设置于腔室内的，辊道右为接地状态，在真空磁控溅射镀膜过程中，辊道和玻璃直接接触，当玻璃表面积累的电荷过多后，玻璃膜面极易与地导通放电，造成膜面损坏，从而产生废品。为了避免上述情况的发生，目前采用的技术是，在辊道本体和轴头之间添加一层绝缘层，使得辊道本体和轴头之间绝缘不导电，因而玻璃膜面也不会与地导通放电，以此来保护镀膜玻璃。但是由于辊道在真空磁控溅射的环境下长时间使用后，辊道本体、绝缘层、轴头的表面会被溅射到靶材，因为靶材通常为金属导电材料，过段时间就会使得辊道本体和轴头相导通，使得绝缘层失效。因此生产过程中需要定期将辊道拆下打磨，此过程耗时费力，维护成本较高，同时也影响生产效率。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的缺点，提供一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，能够有效避免绝靶材溅射至缘层上，保持轴头与辊道本体相绝缘。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于所述辊道本体轴端部上以用于安装所述辊道本体的轴头，其特征在于：所述辊道本体上开设有沿轴向贯穿的安装孔、位于所述辊道本体轴端部上的限位孔，其中所述限位孔的孔径大于所述安装孔的孔径；所述轴头沿轴向依次包括安装轴部、限位轴部与连接轴部，其中所述安装轴部与所述限位轴部的外侧周部上均设有绝缘层，所述安装轴部配合地穿设在所述安装孔中，且所述限位轴部配合地设置在所述限位孔中，所述绝缘辊道还包括套设在所述连接轴部上的绝缘保护套，所述绝缘保护套具有与所述限位轴部相固定连接的连接套部、与所述连接轴部相配合套设的安装套部，所述连接套部的外侧周部与所述限位孔的...

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于所述辊道本体轴端部上以用于安装所述辊道本体的轴头，其特征在于：所述辊道本体上开设有沿轴向贯穿的安装孔、位于所述辊道本体轴端部上的限位孔，其中所述限位孔的孔径大于所述安装孔的孔径；所述轴头沿轴向依次包括安装轴部、限位轴部与连接轴部，其中所述安装轴部与所述限位轴部的外侧周部上均设有绝缘层，所述安装轴部配合地穿设在所述安装孔中，且所述限位轴部配合地设置在所述限位孔中，所述绝缘辊道还包括套设在所述连接轴部上的绝缘保护套，所述绝缘保护套具有与所述限位轴部相固定连接的连接套部、与所述连接轴部相配合套设的安装套部，所述连接套部的外侧周部与所述限位孔的周向孔壁相紧密贴合，且所述安装套部与所述连接轴部之间间隙设置。2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述辊道本体上，所述安装孔与所述限位孔之间形成环状的限位面，所述限位轴部的一侧端面抵挡在所述限位面上。3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何天黎，张青涛，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32