一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，包括以下步骤：(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15‑25min；(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10‑3Pa；(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑2数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为90‑300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30‑90min；(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑1数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为50‑200W，基板温度为室温，溅射时间为30‑60min；溅射后最终制得透明导电氧化物复合薄膜。

Preparation method of AMOLED screen conductive oxide composite membrane material

The invention discloses a method for preparing a AMOLED screen conductive oxide composite membrane material, which comprises the following steps: (1) the AMOLED glass substrate in emulsion system for ultrasonic cleaning 15 25min; (2) AMOLED will be installed above the glass substrate after ultrasonic cleaning to the sputtering chamber, through the vacuum sputtering cavity, the the base vacuum degree is less than 1 * 10 3Pa; (3) to the sputtering chamber is filled with the sputtering gas, adjusting gas flow, the oxygen and argon partial pressure ratio is 10 magnitude 2, the total pressure of 0.5 1.5Pa, the sputtering power is 90 300W, AMOLED glass substrate at room temperature. The sputtering time of 30 90min; (4) to adjust the gas flow, the oxygen and argon partial pressure ratio is 10 magnitude 1, the total pressure of 0.5 1.5Pa, the sputtering power is 50 200W, substrate temperature and sputtering time of 30 60min; after sputtering is finally prepared. Transparent conductive oxide composite thin films.

【技术实现步骤摘要】
一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法
本专利技术涉及液晶显示屏
，具体涉及一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法。
技术介绍
透明导电氧化物(TCO)薄膜是功能薄膜材料中比较有特色的一类薄膜，具有在可见光区透明、电阻率低等优异的光电性能，被广泛应用于各种光电器件中，例如：平面液晶显示器、太阳能电池、节能视窗、反射热镜、气体敏感器件、以及光电子、微电子、真空电子器件等领域。TCO材料的电学和光学性能的改善将大幅度提高上述器件的效率和性能。当选择一个TCO电极做光伏器件的时候，除了要考虑它的传统的光透明和良好的电导率的特性以外，无毒、低成本和容易工业规模生产等其它特性也都必须考虑。此外，每一种光伏技术的使用都可以获得某种特殊的性能，例如在一定过程下具有热稳定性高、化学稳定性好、表面电化学性能优异或者室温的可能性制作。由于这个原因，尽管TCO在相当长的一段时间里已经被认识和使用，但是对这些材料的研究仍然很活跃，目的是改善它们的性能。室温制作和耐热性这两个特性对于TCO电极来说都非常重要。此外，新一代的光伏器件，比如DSSC或者有机太阳能电池的发展也要依赖基于TC本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15‑25min；(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10‑3Pa；(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑2数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为90‑300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30‑90min；(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑1数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为50‑200W，基板温度为室温，溅射时间为...

【技术特征摘要】
1.一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15-25min；(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10-3Pa；(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10-2数量级，总压力为0.5-1.5Pa，溅射功率为90-300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30-90min；(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10-1数量级，总压力为0.5-1.5Pa，溅射功率为50-200W，基板温度为室温，溅射时间为30-60min；溅射后最终制得透...

【专利技术属性】
技术研发人员：白航空，
申请(专利权)人：合肥市惠科精密模具有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34