下载一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道的技术资料

文档序号:16494027

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本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道,包括辊道本体、设于辊道本体轴端部上以用于安装辊道本体的轴头、套设在轴头上的绝缘保护套。轴头与辊道本体之间设有绝缘层,轴头上加设的绝缘保护套后能够有效保护绝缘层,使得绝缘层不会被靶材溅射...
该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。

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