The invention discloses an integrated circuit substrate cleaning apparatus includes a cleaning cavity, swing arm device and flammable liquid liquid supply system, cleaning the cavity is provided with a loading disk and disk carrying vertical fixed support shaft, the supporting shaft is driven to rotate by the driving device; the swing arm device comprises a base, a liquid pipe, a liquid pipe comprises a vertical pipe body and the horizontal tube, vertical tube body is vertically fixed on the base and connected with a flammable liquid liquid supply system for liquid, liquid spray nozzle body is provided with a horizontal tube, liquid spray nozzle for carrying liquid pipe outer wall plate, is wrapped with a heating sleeve, heat medium heating sleeve for filling flammable liquid heating, the heat is transferred to the swing arm device within the flammable liquid with water bath heating method. The method of heating flammable liquid by water bath can not only prevent the loss of liquid heat in the process of transmission, but also avoid the problems of leakage, static electricity and other safety problems in traditional electric heating mode.
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路基板清洗设备
本专利技术涉及半导体制造领域,尤其涉及一种集成电路基板清洗设备。
技术介绍
在半导体基板制造过程中,在湿法步骤易燃液体是经常被用到的。随着半导体器件关键尺寸变得越来越小,易燃液体被用于许多关键的工艺步骤。在一些应用当中,易燃液体需要在高温下使用,其温度极其接近该易燃液体的闪点,如高温异丙醇(IPA),被用于干燥步骤。现有清洗设备中,通常使用高温异丙醇(IPA)来干燥基板,一般来说,温度达到50℃以上的IPA被称为高温IPA,在干燥步骤中,IPA的温度一般被控制在80℃左右,而IPA的沸点在82℃。IPA沸点低、易挥发、洁净度高、易干燥的性能,使基板在干燥时不会产生水垢及附着其他污染物。然而,在干燥过程中,高温IPA通过出口管输送到喷头后干燥基板,由于出口管具有一定的长度,在输送过程中容易造成IPA热量的损失,为了防止IPA热量的损失,可以使用电加热的方式,但采用电加热的方式易产生静电,发生漏电等情况也尤为危险。因此,在使用IPA干燥基板时,既要防止传输过程中热量的损失,又要防止漏电、排除静电,防止加热过热等安全性问题成为半导体基板清洗过程中的难题。
技术实现思路
针对易燃液体传输过程中热量损失,电加热易燃液体不安全的问题,本专利技术提出一种集成电路基板清洗设备。本专利技术所采用的技术方案具体是这样实现的:本专利技术提供了一种集成电路基板清洗设备,包括清洗腔、摆臂装置和易燃液体供液系统,清洗腔内设有载盘和与载盘垂直固定的支撑轴,支撑轴由驱动装置驱动旋转;摆臂装置包括底座、液体管,液体管包括竖直管体和水平管体,竖直管体垂直固定在底座上,水 ...
【技术保护点】
一种集成电路基板清洗设备,其特征在于,包括清洗腔(100)、摆臂装置(200)和易燃液体供液系统(300),清洗腔(100)内设有载盘(101)和与载盘(101)垂直固定的支撑轴(102),支撑轴(102)由驱动装置(103)驱动旋转;摆臂装置(200)包括底座(201)、液体管,液体管包括竖直管体(205)和水平管体(206),竖直管体(205)垂直固定在底座(201)上,水平管体(206)上设有液体喷头(207),液体喷头(207)面向载盘(101),液体管与易燃液体供液系统(300)连通供液,液体管的外壁还包裹有加热套(208),加热套(208)内灌有为易燃液体加热的热介质,以水浴加热的方式将热量传递给液体管内的易燃液体。
【技术特征摘要】
1.一种集成电路基板清洗设备,其特征在于,包括清洗腔(100)、摆臂装置(200)和易燃液体供液系统(300),清洗腔(100)内设有载盘(101)和与载盘(101)垂直固定的支撑轴(102),支撑轴(102)由驱动装置(103)驱动旋转;摆臂装置(200)包括底座(201)、液体管,液体管包括竖直管体(205)和水平管体(206),竖直管体(205)垂直固定在底座(201)上,水平管体(206)上设有液体喷头(207),液体喷头(207)面向载盘(101),液体管与易燃液体供液系统(300)连通供液,液体管的外壁还包裹有加热套(208),加热套(208)内灌有为易燃液体加热的热介质,以水浴加热的方式将热量传递给液体管内的易燃液体。2.根据权利要求1所述的集成电路基板清洗设备,其特征在于,摆臂装置(200)还包括与液体管平行的气体管(209),气体管(209)包括水平管和竖直管,竖直管垂直固定在底座(201)上并与外部供气装置相连,水平管上设有气体喷头,气体喷头面向载盘(101)。3.根据权利要求1所述的集成电路基板清洗设备,其特征在于,加热套(208)设有监测热介质温度的第一温度传感器、进水口和出水口,第一温度传感器实时检测热介质的温度,进水口和出水口分别与外部加热装置(400)相连为易燃液体循环供应热介质。4.根据权利要求1所述的集成电路基板清洗设备,其特征在于,摆臂装置(200)...
【专利技术属性】
技术研发人员:初振明,王希,程成,王晖,
申请(专利权)人:盛美半导体设备上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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