The invention discloses a spray etching groove, including etching tank, pump and nozzle, the medial wall of the etched groove are symmetrically arranged on the fixed plate, the fixed plate is arranged in the chute chute is movably arranged in the slider, the slider is provided with a mounting groove, a fixed shaft is fixed on the inner wall of the nozzle and the groove. Through the pipeline and pump connected with a fixing ring is fixed on the side wall of the etching groove, the installation of mobile ring fixed column, the fixed ring and moving ring by the connecting line is connected; the etching trough installed inside wall of the fixed plate is provided with a horizontal roller. The present invention with the nozzle and water pump, can be very good to complete the etching liquid spraying on the side wall of the silicon wafer, the wafer can be of different sizes for spraying, very convenient, in the process of making silicon diffusion surface back etching of silicon on the side wall of the etching, while saving a lot of time at the same time, can also be to improve the quality of silicon etching, very effective.
【技术实现步骤摘要】
一种喷涂式刻蚀槽
本专利技术涉及硅片刻蚀
,具体为一种喷涂式刻蚀槽。
技术介绍
太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤,其中对硅片的刻蚀工艺也是必不可少的一部分,硅片在刻蚀过程中,需要使用刻蚀液对硅片除了扩散面以外的所有面进行刻蚀。现有技术中,常用的刻蚀槽均采用粘液滚轮,来对硅片进行刻蚀,通过粘液滚轮将刻蚀液粘在滚轮上,然后滚轮将刻蚀液传递到硅片上完成刻蚀,但是这种方式存在一个较为明显的缺陷:采用粘液滚轮的方式对硅片进行刻蚀时,使得硅片的侧壁无法很好的进行刻蚀,从而导致了硅片在刻蚀过程中,无法很好的将除了扩散面以外的其余面均刻蚀到,也就容易造成硅片刻蚀质量下降的情况。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种喷涂式刻蚀槽,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种喷涂式刻蚀槽,包括刻蚀槽、水泵以及喷嘴,所述刻蚀槽的内侧壁上对称设置有固定板,所述固定板中开设有滑槽,所述滑槽内活动设置有滑块,所述滑块中开设有安装槽,所述安装槽内侧壁上固定有定轴,所述定轴上活动连接有安装柱;所述喷嘴固定于安装柱上,且喷嘴通过管道与水泵连通,所述刻蚀槽侧壁上固定有固定环,所述安装柱上固定有移动环,所述固定环与移动环通过连接线相连;所述刻蚀槽安装有固定板的内侧壁上水平设置有滚轮。优选的,每个所述喷嘴对应连接于一个水泵上。优选的,所述水泵设置于支撑板上,所述支撑板固定于刻蚀槽外侧壁上。优选的,所述滚轮上固定套设有限位轮。与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:本专利技术的喷嘴通过水泵的作用,可以喷涂出刻蚀液对硅片的侧壁进行刻蚀,滑槽和滑块的 ...
【技术保护点】
一种喷涂式刻蚀槽,包括刻蚀槽(1)、水泵(2)以及喷嘴(9),其特征在于:所述刻蚀槽(1)的内侧壁上对称设置有固定板(3),所述固定板(3)中开设有滑槽(4),所述滑槽(4)内活动设置有滑块(5),所述滑块(5)中开设有安装槽(6),所述安装槽(6)内侧壁上固定有定轴(7),所述定轴(7)上活动连接有安装柱(8);所述喷嘴(9)固定于安装柱(8)上,且喷嘴(9)通过管道与水泵(2)连通,所述刻蚀槽(1)侧壁上固定有固定环(10),所述安装柱(8)上固定有移动环(11),所述固定环(10)与移动环(11)通过连接线(12)相连;所述刻蚀槽(1)安装有固定板(3)的内侧壁上水平设置有滚轮(13)。
【技术特征摘要】
1.一种喷涂式刻蚀槽,包括刻蚀槽(1)、水泵(2)以及喷嘴(9),其特征在于:所述刻蚀槽(1)的内侧壁上对称设置有固定板(3),所述固定板(3)中开设有滑槽(4),所述滑槽(4)内活动设置有滑块(5),所述滑块(5)中开设有安装槽(6),所述安装槽(6)内侧壁上固定有定轴(7),所述定轴(7)上活动连接有安装柱(8);所述喷嘴(9)固定于安装柱(8)上,且喷嘴(9)通过管道与水泵(2)连通,所述刻蚀槽(1)侧壁上固定有固定环(10),所述安装柱(8)上固定有移动环(...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐峰,陈刚,谭飞,徐光,葛新国,
申请(专利权)人:通威太阳能安徽有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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