排气装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种用于多种气体分离排气的排气装置。排气装置(100)包括外管(102)、内管(103)和致动器(104)。外管(102)包括管体(1021)。管体(1021)的侧壁设有多个排气口(1022)。内管(103)容纳在外管(102)的管体(1021)内。内管(103)的一端是开口的，内管(103)的另一端是封闭的。内管(103)的侧壁设有一个通孔(1033)或多个通孔(1033)。致动器(104)被配置为驱动内管(103)在外管(102)的管体(1021)内旋转以使内管(103)的通孔(1033)对上外管(102)的一个排气口(1022)以排出一种气体，与此同时外管(102)的其他排气口(1022)由内管(103)的侧壁封闭。

Exhaust

The invention discloses an exhaust device for separating and exhausting various gases. The exhaust device (100) includes an outer tube (102), an inner tube (103), and an actuator (104). The outer tube (102) includes a tube body (1021). The side wall of the pipe body (1021) is provided with a plurality of exhaust ports (1022). The inner tube (103) is accommodated in the tube body (1021) of the outer tube (102). One end of the inner tube (103) is open, and the other end of the inner tube (103) is closed. The side wall of the inner tube (103) is provided with a through hole (1033) or a plurality of through holes (1033). The actuator (104) is configured to drive the inner tube (103) to rotate in the tube body (1021) of the outer tube (102) so that the through hole (1033) of the inner tube (103) is aligned with an exhaust port (1022) of the upper outer tube (102) to discharge a gas, while the other exhaust ports (1022) of the outer tube (102) are closed by the side wall of the inner tube (103).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】排气装置
本专利技术涉及一种排气装置，尤其涉及一种改进的排气装置，适用于几种气体分离排气。
技术介绍
众所周知，半导体生产过程中的主要污染源是在例如刻蚀，清洗等过程中产生的酸性气体、碱性气体、可燃气体等。由于酸性气体、碱性气体及可燃气体有不同的处理方法，因此，需要分开排放、收集及处理酸性气体、碱性气体及可燃气体。在传统的半导体制造设备中，为了分开排放酸性气体、碱性气体及可燃气体，传统的半导体制造设备通常设有三个排气装置。每个排气装置用于排放一种气体。具体地，每个排气装置具有气体入口及气体出口。每个排气装置的气体入口连接工艺腔，每个排气装置的气体出口连接厂务排气系统。对应于酸性气体、碱性气体及可燃气体，厂务排气系统具有厂务酸性气体排气系统、厂务碱性气体排气系统及厂务可燃气体排气系统。根据工艺腔内废气(酸性气体、碱性气体或可燃气体)的性质，需要选择对应的排气装置及对应的厂务排气系统。虽然使用多个排气装置可以实现多种气体的分离排放，然而还是存在着缺点。一方面，多个排气装置占据着大量空间，导致半导体制造设备变得臃肿。另一方面，当一个排气装置在使用时，其他的排气装置处于闲置状态，导致了排气装置利用率的降低。传统的排气装置占据了空间和花费，这显然是不可取的。
技术实现思路
相应地，本专利技术的目的是提供一种用于几种气体分离排气的排气装置。根据本专利技术的一个实施例，提出的排气装置包括外管、内管和致动器。外管包括管体。管体的侧壁设有多个排气口。内管容纳在外管的管体内。内管的一端是开口的，内管的另一端是封闭的。内管的侧壁设有一个通孔。致动器被配置为驱动内管在外管的管体内旋转以使内管的通孔对上外管的一个排气口以排放一种气体，与此同时外管的其他排气口则由内管的侧壁封闭。根据本专利技术的另一个实施例，提出的排气装置包括外管、内管和致动器。外管包括管体。管体的侧壁设有多个排气口。内管容纳在外管的管体内。内管的一端是开口的，内管的另一端是封闭的。内管的侧壁设有多个通孔。致动器被配置为驱动内管在外管的管体内旋转以使内管的一个通孔对上外管的一个排气口来排放一种气体，与此同时外管的其他排气口由内管的侧壁封闭住，内管的其他通孔由外管的管体的侧壁封闭住。综上所述，本专利技术的排气装置通过驱动内管在外管内旋转，从而使内管的通孔每次对上外管相应的排气口来实现多种气体分离排出。与传统的排气装置相比，本专利技术的排气装置不仅实现了多种气体分离排放，而且结构简单，制造成本低且占用的空间少。附图说明图1揭示了根据本专利技术的一典型实施例的排气装置的透视图。图2揭示了图1所示排气装置的顶视图。图3揭示了图2中沿A-A的剖视图。图4揭示了本专利技术排气装置的外管的透视图。图5揭示了本专利技术排气装置的内管的透视图。图6揭示了本专利技术排气装置的另一透视图。图7揭示了本专利技术排气装置的检测板的透视图。图8揭示了根据本专利技术排气装置的另一实施例的外管的透视图。图9揭示了根据本专利技术排气装置的另一实施例的内管的透视图。图10揭示了根据本专利技术排气装置的另一实施例的外管的透视图。图11揭示了根据本专利技术排气装置的另一实施例的内管的透视图。图12揭示了根据本专利技术排气装置的另一实施例的外管的透视图。具体实施方式参考图1至图3所示，揭示了根据本专利技术的一实施例的排气装置。排气装置100包括进气管101、外管102、内管103及致动器104。进气管101基本呈L形且包括横向部分1011及纵向部分1012。横向部分1011包括进气口1013。横向部分1011的管壁上设有排液孔1014，该排液孔1014通过连接器105连接排液管。纵向部分1012向外突出形成支撑部1015。外管102固定在进气管101的支撑部1015上。如图4所示，外管102具有圆柱形的管体1021。管体1021的侧壁设有三个排气口1022。三个排气口1022的中心位于同一水平面上。应该认识到的是排气口1022的数量不仅限于3个。根据所要排放的气体种类，管体1021的侧壁可以设有相应数量的排气口1022。为了便于连接到厂务排气系统，各排气口1022都连接着排气管1023。各排气管1023的一端连接一个排气口1022，排气管1023的另一端连接厂务排气系统。较佳地，三个排气口1022的尺寸和形状是一样的。内管103容纳在外管102的管体1021内且由进气管101的支撑部1015支撑。虽然在内管103的外壁和管体1021的内壁之间形成有间隙，但因为间隙非常小，且厂务排气系统在排气过程中持续抽气，所以导致气体漏气的可能性非常小。内管103连接进气管101。如图5所示，内管103是圆柱形。内管103的一端是开口的并连接进气管101，内管103的另一端是封闭的并连接连接轴106，如图3所示。具体地，内管103的另一端由密封板1031密封。密封板1031的中心设有安装槽1032。连接轴106的一端安装并固定在内管103的安装槽1032内。内管103的侧壁设有通孔1033。通孔1033与外管102的排气口1022相匹配。较佳地，通孔1033与排气口1022具有相同的大小和形状。连接轴106的一端固定在内管103的安装槽1032。连接轴106的另一端固定在联轴器107上。联轴器107连接致动器104。致动器104通过联轴器107及连接轴106驱动内管103在外管102的管体1021内旋转，使得内管103的通孔1033对上外管102的一个排气口1022来排出一种气体。致动器104可以是马达。排气装置100具有良好的密封性。具体地，第一密封环108设置在外管102和进气管101的支撑部1015之间。此外，盖板109固定在外管102上。连接轴106穿过盖板109的中心。第二密封环110设置在盖板109和外管102之间。第三密封环111设置在连接轴106和盖板109之间。固定环112设置在第三密封环111上用于安放第三密封环111。如图6所示，排气装置100进一步包括四个传感器113。四个传感器113分别位于四个支撑座114上，四个支撑座114固定在盖板109上且位于联轴器107周围。每两个相邻的传感器113之间设有间隔。较佳地，每两个相邻传感器113之间的夹角为90°。四个传感器113可以是光电传感器。检测板115固定在联轴器107上且随着联轴器107一起旋转。如图7所示，检测板115为环形且在检测板115的外边缘设有缺口1151。四个传感器113分别对应外管102的三个排气口1022及初始位置。检测板115的缺口1151对应内管103的通孔1033。为了更清晰地阐述，外管102的三个排气口1022分别标记为1022A，1022B及1022C。三个排气管1023分别标记为1023A，1023B及1023C。四个传感器113分别标记为113A,113B,113C及113D。传感器113A对应排气口1022A。传感器113B对应排气口1022B。传感器113C对应排气口1022C。传感器113D对应初始位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种排气装置，其特征在于，包括：/n外管，包括管体，管体的侧壁设有多个排气口；/n内管，容纳在外管的管体内，内管的一端是开口的，内管的另一端是封闭的，内管的侧壁设有通孔；以及/n致动器，被配置为驱动内管在外管的管体内旋转以使内管的通孔对上外管的一个排气口以排放一种气体，与此同时外管的其他排气口则由内管的侧壁封闭。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种排气装置，其特征在于，包括：
外管，包括管体，管体的侧壁设有多个排气口；
内管，容纳在外管的管体内，内管的一端是开口的，内管的另一端是封闭的，内管的侧壁设有通孔；以及
致动器，被配置为驱动内管在外管的管体内旋转以使内管的通孔对上外管的一个排气口以排放一种气体，与此同时外管的其他排气口则由内管的侧壁封闭。


2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述外管的多个排气口的中心位于同一平面上。


3.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述内管的通孔和外管的排气口的尺寸和形状相同。


4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，进一步包括进气管，外管与进气管固定且内管开口的一端与进气管连接。


5.根据权利要求4所述的排气装置，其特征在于，所述进气管基本呈L形且包括横向部分和纵向部分，横向部分的壁设有排液孔。


6.根据权利要求4所述的排气装置，其特征在于，进一步包括第一密封环，设置在外管和进气管之间。


7.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述外管的每个排气口连接相应的排气管。


8.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，进一步包括连接轴，连接轴的一端与内管的封闭端固定，连接轴的另一端固定在联轴器内，致动器连接联轴器，致动器通过联轴器和连接轴驱动内管在外管的管体内旋转。


9.根据权利要求8所述的排气装置，其特征在于，进一步包括固定在外管上的盖板，连接轴穿过盖板的中心，第二密封环设置在盖板和外管之间，第三密封环设置在连接轴和盖板之间。


10.根据权利要求8所述的排气装置，其特征在于，进一步包括多个传感器和检测板，该多个传感器和检测板...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷强，贾社娜，王晖，
申请(专利权)人：盛美半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31