【技术实现步骤摘要】
压力平衡的热制程设备
本技术涉及一种热制程设备,特别是涉及一种压力平衡的热制程设备。
技术介绍
快速热制程(RapidThermalProcessing,RTP)是指以极快的速度加热晶圆表面,以达消除应力、退火等目的。为了保持制程的稳定性需提供气密腔体或真空环境,将晶圆置于其中。气密腔体的外侧以石英平板作为窗口,让灯管的灯光穿透石英平板以对气密腔体内的晶圆加热。然而,当制程需要更高温度或更低真空时会导致石英平板破裂,故石英平板必须随之增加厚度以承受高真空所导致的内外压力差。
技术实现思路
因此,为解决上述问题,本技术的目的即在提供一种压力平衡的热制程设备。本技术为解决现有技术的问题所采用的技术手段提供一种压力平衡的热制程设备,用以形成高温气密环境以进行热处理,该热制程设备包含:气密腔体,包括一壁体以及二个透光石英板,该二个透光石英板隔设于该壁体内而分别与该壁体形成上均压腔室及下均压腔室,该二个透光石英板之间形成制程腔室,供放置热处理目标对象;载台,设置于该制程腔室中,用以载置该热处理目标对象;多数个具辐射穿透性的管材,分别设置于该上均压腔室及该下均压腔室;以及多数个加热组 ...
【技术保护点】
一种压力平衡的热制程设备,用以形成高温气密环境以进行热处理,所述的热制程设备包含:气密腔体,包括一壁体以及二个透光石英板,所述的二个透光石英板隔设于所述的壁体内而分别与所述的壁体形成上均压腔室及下均压腔室,所述的二个透光石英板之间形成制程腔室,供放置热处理目标对象;载台,设置于所述的制程腔室中,用以载置所述的热处理目标对象;多数个具辐射穿透性的管材,分别设置于所述的上均压腔室及所述的下均压腔室;多数个加热组件,对应设置于所述的多数个管材的内部,通过所述的管材对所述的热处理目标对象进行热处理;其特征在于,所述的壁体或所述的二个透光石英板具有连通所述的制程腔室及所述的上均压腔室 ...
【技术特征摘要】
1.一种压力平衡的热制程设备,用以形成高温气密环境以进行热处理,所述的热制程设备包含:气密腔体,包括一壁体以及二个透光石英板,所述的二个透光石英板隔设于所述的壁体内而分别与所述的壁体形成上均压腔室及下均压腔室,所述的二个透光石英板之间形成制程腔室,供放置热处理目标对象;载台,设置于所述的制程腔室中,用以载置所述的热处理目标对象;多数个具辐射穿透性的管材,分别设置于所述的上均压腔室及所述的下均压腔室;多数个加热组件,对应设置于所述的多数个管材的内部,通过所述的管材对所述的热处理目标对象进行热处理;其特征在于,所述的壁体或所述的二个透光石英板具有连通所述的制程腔室及所述的上均压腔室的上通道以及连通所述的制程腔室及所述的下均压腔室的下通道。2.根据权利要求1所述的压力平衡的热制程设备,其特征在于,所述的上通道及所述的下通道位于所述的二个透光石英板的边缘。3.根据权利要求1所述的压力平衡的热制程设备,其特征在于,所述的上通道及所述的下通道为螺纹通孔。4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:林武郎,郑煌玉,方建利,刘又玮,陈世敏,
申请(专利权)人:技鼎股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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