一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散炉的加热装置，包括导热管体和传热至导热管体的加热元件，导热管体的进气口经第一单向阀与一载气源连接以从载气源接收载气，导热管体的出气口经第二单向阀与一扩散炉连接以向扩散炉输送载气。通过增设一加热装置，当扩散炉炉门打开后，加热装置中的高温载气通入扩散炉中，可以较快速的使晶体硅太阳能电池温度达到工艺要求，并保持管内气氛的稳定，减少升温的时间，可以提升单位时间内的产能。本实用新型专利技术还提供一种保温扩散炉系统，包括载气源、扩散源、进气管、扩散炉以及上述加热装置，载气源中载气携带扩散源中扩散元素经进气管均匀输送至扩散炉中，载气源中载气经加热装置加热后输送至扩散炉中。

【技术实现步骤摘要】
一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统
本技术涉及太阳电池制造
，具体涉及一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。时下，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。其中，晶体硅太阳能电池由于丰富的硅储量得到了广泛应用。现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下：清洗制绒→扩散→刻蚀/去PSG→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中扩散工序通常采用扩散炉，携带有扩散源的载气进入扩散炉中对待扩散晶体硅进行扩散。然而，实际应用中发现：在炉门打开进舟的初始阶段温度通常较低，升温过程较慢，因而增加了升温时间，影响了产能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于扩散炉的加热装置，当扩散炉炉门打开进舟后，此时将加热装置中高温的载气通入扩散炉中，可以较快速的使晶体硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，包括导热管体和传热至所述导热管体的加热元件，所述导热管体的进气口经第一单向阀与一载气源连接以从所述载气源接收载气，所述导热管体的出气口经第二单向阀与一扩散炉连接以向所述扩散炉输送载气。

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，包括导热管体和传热至所述导热管体的加热元件，所述导热管体的进气口经第一单向阀与一载气源连接以从所述载气源接收载气，所述导热管体的出气口经第二单向阀与一扩散炉连接以向所述扩散炉输送载气。2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述管体为石英管，所述加热元件为加热丝。3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括设于所述管体外侧的保温组件。4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述保温组件包括第一保温层和第二保温层中的一层或内外设置的两层，所述第一保温层和所述第二保温层中，其中一层为保温棉，另一层为真空镜面保温管，所述真空镜面保温管为真空镜面管本体或内壁涂覆有镜面反射涂层的真空镜面管或外壁涂覆有镜面反射涂层的真空镜面管或内外壁均涂覆有镜面反射涂层的真空镜面管。5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括设于最外层的金属防护壳体。6.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括自动控制系统，所述自动控制系统包括第一温度传感器和控制器，所述第一温度传感器设于所述导热管体上并与所述控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与所述加热元件连接，所述控制器根据接...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈波涛，杨健，党纪东，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32