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本实用新型提供一种压力平衡的热制程设备，用以形成高温气密环境以进行热处理，该热制程设备包含气密腔体、载台、多数个具辐射穿透性的管材及多数个加热组件，气密腔体包括一壁体以及二个透光石英板，二个透光石英板隔设于壁体内而分别与壁体形成上均压腔室及...
该专利属于技鼎股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过技鼎股份有限公司授权不得商用。

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