一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置，涉及显示技术领域。本发明专利技术实施例提供的显示基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域，所述周边区域内设置有多个压力传感器，所述压力传感器的材质为多晶硅，在垂直于所述显示基板的方向上，所述压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层，上方直接设置有第二膜层，所述第一膜层和第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。本发明专利技术的技术方案能够提高压力传感器检测压力的精度。

Display substrate and manufacturing method thereof, display panel and display device

The embodiment of the invention provides a display substrate and a manufacturing method thereof, a display panel and a display device, relating to the display technology field. According to an embodiment of the invention provides a substrate includes a display area and a peripheral area surrounding the display area, the surrounding area is provided with a pressure sensor, the pressure sensor is made of polysilicon, the display substrate in the vertical direction, the pressure sensor is directly arranged below the film the first film, directly above the set of second films, the young's modulus modulus of at least one layer of the first layer and the second layer is larger than the silicon oxide. The technical proposal of the invention can improve the accuracy of the pressure detection of the pressure sensor.

【技术实现步骤摘要】
一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置。
技术介绍
具有触控功能的显示面板被广泛应用于手机、平板电脑、公共场所大厅的信息查询机等各种显示装置中。用户只需用手指触摸显示面板上的标识就能够实现对该显示装置的操作，消除了用户对其他输入设备(如键盘和鼠标等)的依赖，使人机交互更为简易。为了更好地满足用户需求，通常在显示面板中设置有用于检测用户按压显示面板时压力大小的压力传感器，使显示面板不仅能够采集触控位置信息，而且能够采集压力大小，以丰富触控技术的应用范围。显示面板结构复杂，其包括许多膜层，现有技术中直接设置在压力传感器所在膜层上方和下方的膜层的材质均为氧化硅，其杨氏模量较小，在受到外力作用时，不仅会发生弹性形变，还会发生非弹性形变，其中，非弹性形变会残留在膜层中，无法恢复，使得当压力传感器所在位置无应力作用时，压力传感器仍然具有一定的形变，导致压力传感器的基线发生漂移，影响压力传感器检测压力的精度。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置，可以提高压力传感器检测压力的精度。第一方面，本专利技术实施例提供一种显示基板，所述显示基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域，所述周边区域内设置有多个压力传感器，所述压力传感器的材质为多晶硅，在垂直于所述显示基板的方向上，所述压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层，上方直接设置有第二膜层，所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。第二方面，本专利技术实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括以上任一项所述的显示基板。第三方面，本专利技术实施例提供一种显示装置，所述显示装置包括以上所述的显示面板。第四方面，本专利技术实施例提供一种显示基板的制作方法，所述显示基板的制作方法包括：将所述显示基板划分为显示区域和围绕所述显示区域的周边区域；在所述周边区域内形成第一膜层；在形成所述第一膜层的所述周边区域内，直接形成多个压力传感器，所述压力传感器的材质为多晶硅；在形成多个所述压力传感器的所述周边区域内，直接形成第二膜层；其中，所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。本专利技术实施例提供了一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置，其中，显示基板包括显示区域和围绕显示区域的周边区域，周边区域内设置有多个压力传感器，压力传感器的材质为多晶硅，在垂直于显示基板的方向上，压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层，上方直接设置有第二膜层，由于现有技术中直接设置在压力传感器所在膜层上方和下方的膜层的材质均为氧化硅，而本专利技术实施例中第一膜层和第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量，使得与现有技术相比第一膜层和第二膜层中的至少一个膜层更难压缩，不易发生非弹性形变，进而使得当压力传感器所在位置无应力作用时，压力传感器不会发生形变，可以有效防止压力传感器的基线发生漂移，可以起到提高压力传感器检测压力的精度的作用。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的显示基板的俯视图；图2为本专利技术实施例提供的图1沿A-A’方向的截面示意图；图3为现有技术中两次使用相同大小的压力按压显示面板时压力传感器的输出信号示意图；图4为本专利技术实施例提供的图1沿B-B’方向的截面示意图一；图5为本专利技术实施例提供的图1沿B-B’方向的截面示意图二；图6为本专利技术实施例提供的显示基板的显示区域的俯视图；图7为本专利技术实施例提供的压力传感器的结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的压力传感器的连接示意图；图9为本专利技术实施例提供的显示装置的俯视图；图10为本专利技术实施例提供的显示基板的制作方法流程图；图11为本专利技术实施例提供的显示基板的制作过程示意图一；图12为本专利技术实施例提供的显示基板的制作过程示意图二。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术实施例中的各特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。本专利技术实施例提供一种显示基板，如图1和图2所示，图1为本专利技术实施例提供的显示基板的俯视图，图2为本专利技术实施例提供的图1沿A-A’方向的截面示意图，显示基板1包括显示区域A和围绕显示区域A的周边区域B，周边区域B内设置有多个压力传感器10，压力传感器10的材质为多晶硅，在垂直于显示基板1的方向上，压力传感器10所在膜层下方直接设置有第一膜层20，上方直接设置有第二膜层30，第一膜层20和第二膜层30中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅(SiO2)的杨氏模量(75GPa)。其中，上述“压力传感器10所在膜层下方直接设置有第一膜层20，上方直接设置有第二膜层30”指的是压力传感器10所在膜层的下表面与第一膜层20直接接触，且上表面与第二膜层30直接接触。其中，压力传感器10检测压力大小的原理如下：在显示面板上某一位置施加压力时，压力传感器10所在位置具有由该压力引发的应力，在该应力的作用下，压力传感器10发生形变，进而使得压力传感器10的电阻发生变化，压力传感器10的输出值发生变化，通过此变化即可计算得出施加在显示面板上的压力的大小。压力传感器10在无应力作用时，压力传感器10的输出值为压力传感器10的基线(baseline)，上述压力传感器10的输出值的变化量即为：压力传感器10在有应力作用时，对应的输出值与基线之间的差值。由以上所述可知，若压力传感器10的基线发生漂移，则会导致压力传感器10在有应力作用时，即在显示面板上施加压力时，计算得到的压力的大小不准确，进而使得压力传感器10检测压力的精度不高。造成压力传感器10的基线漂移的主要原因在于，显示基板包括许多膜层，在受到按压时，膜层会发生弹性形变和非弹性形变，其中，非弹性形变会残留在膜层中，无法恢复，使得压力传感器10在无应力作用时，压力传感器10仍然具有一定的形变。通常材质为多晶硅的压力传感器，与显示区域中的薄膜晶体管包括的材质也为多晶硅的有源层同一膜层制备，由于氧化硅与多晶硅接触界面良好，使得该多晶硅具有比较好的半导体特性，薄膜晶体管具有很好的电性能，而且还会阻挡其他膜层(例如氮化硅层)中的氢元素与多晶硅的接触，避免氢元素对多晶硅的半导体性能的负面影响。因此，通常直接设置在有源层上方和下方的膜层的材质均为氧化硅，使得直接设置在压力传感器所在膜层上方和下方的膜层的材质也均为氧化硅。然而氧化硅的杨氏模量较小，在受到外力作用时，不仅会发生弹性形变，还会发生非弹性形变，其中，非弹性形变会残留在膜层中，无法恢复，使得当压力传感器所在位置无应力作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板，其特征在于，所述显示基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域，所述周边区域内设置有多个压力传感器，所述压力传感器的材质为多晶硅，在垂直于所述显示基板的方向上，所述压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层，上方直接设置有第二膜层，所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。

【技术特征摘要】
1.一种显示基板，其特征在于，所述显示基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域，所述周边区域内设置有多个压力传感器，所述压力传感器的材质为多晶硅，在垂直于所述显示基板的方向上，所述压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层，上方直接设置有第二膜层，所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层的杨氏模量均大于氧化硅的杨氏模量。3.根据权利要求2所述的显示基板，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层的材质均为氮化硅。4.根据权利要求3所述的显示基板，其特征在于，所述显示区域内设置有多晶硅层、第一氧化硅层、第二氧化硅层、第一氮化硅层和第二氮化硅层，其中，在垂直于所述显示基板的方向上，所述第一氮化硅层、所述第一氧化硅层、所述多晶硅层、所述第二氧化硅层和所述第二氮化硅层依次紧邻设置；所述压力传感器所在膜层和所述多晶硅层所在膜层为同一膜层。5.根据权利要求4所述的显示基板，其特征在于，所述第一膜层与所述第一氮化硅层为同一膜层，且二者厚度相同，所述第二膜层与所述第二氮化硅层为同一膜层，且二者厚度相同。6.根据权利要求4所述的显示基板，其特征在于，所述第一膜层与所述第一氮化硅层为同一膜层，且所述第一氮化硅层和所述第一氧化硅层的总厚度与所述第一膜层的厚度相同；所述第二膜层与所述第二氮化硅层为同一膜层，且所述第二氮化硅层和所述第二氧化硅层的总厚度与所述第二膜层的厚度相同。7.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的材质为氮氧化硅。8.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述压力传感器的厚度为50～75nm。9.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的显示基板。10.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的显示面板。11.一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括：将所述显示基板划分为显示区域和围绕所述显示区域的周边区域；在所述周边区域内形成第一膜层；在形成所述第一膜层的所述周边区域内，直接形成多个压力传感器，所述压力传感器的材质为多晶硅；在形成多个所述压力传感器的所述周边区域内，直接形成第二膜层；其中，所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。12.根据权利要求11所述的显示基板的制作方法，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层的杨氏模量均大于氧化硅的杨氏模量。13.根据权利要求12所述的显示基板的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢峰，重村幸治，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31