一种电子源产生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源。

【技术实现步骤摘要】
一种电子源产生装置
本技术涉及电子显微镜领域，尤其涉及一种电子源产生装置。
技术介绍
对微观物体进行探测的工具称为观测仪器，观测仪器经历了从简单的放大镜发展到科研级的共聚焦显微镜，观测仪器的发展是为了能够观测到越来越微观的物体，即不断提高显微镜的分辨率；但是，由于衍射效应的存在，光学显微镜的分辨率被限制在半个光波长量级，约200nm。在20世纪60年代出现了电子显微镜，如扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，SEM)、透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope，TEM)、扫描透射电子显微镜(ScanningTransmissionElectronMicroscope，STEM)等；与光学显微镜相比，电子显微镜中的电子经过加速后具有比光子更高的能量，根据德布罗意的物质波理论，电子所具有的波长远小于光波长，因此，电子显微镜具有比光学显微镜更高的分辨率。电子显微镜的分辨率大小取决于照射到被观测物体上的电子束斑的大小；因此，如何减小电子照射到物体上的束斑直径是提高电子显微镜分辨率一直研究的课题；通常情况下，决定电子会聚束斑直径本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源。

【技术特征摘要】
1.一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电极包括吸取极和阳极。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述移动装置包括：第一马达和第二马达；其中，所述第一马达用于控制所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅，何伟，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11