一种氦气浓度关联型氦气检漏系统技术方案

本实用新型专利技术提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其设有相连通的嗅漏枪(11)；嗅漏枪(11)置于被试物的外部；氦气混合气源装置(2)，其与被试物的内部空腔以输气管道(3)连通；及加压泵(4)，其设置于输气管道(3)的管路之上。本实用新型专利技术采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正，实现了一种高精度低成本的氦气检漏系统。

【技术实现步骤摘要】
一种氦气浓度关联型氦气检漏系统
本技术涉及检漏仪器，尤其涉及一种氦气浓度关联型氦气检漏系统。
技术介绍
氦气检漏仪使用氦气作为检测气体，由于氦气具有分子小质量轻、扩散穿透性强、反应快且稳定等特点，使氦气检漏装置受到重视并广泛使用。但是因为氦气在空气中含量极少且价格较高，所以采用氦气作为检漏气源使用不可避免地增加成本。为了克服现有技术中氦气检漏存在高使用成本的缺陷，本技术提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统。本技术采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正，实现了一种高精度低成本的氦气检漏系统。
技术实现思路
本技术提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪，其设有相连通的嗅漏枪；所述嗅漏枪置于被试物的外部；氦气混合气源装置，其与被试物的内部空腔以输气管道连通；及加压泵，其设置于所述输气管道的管路之上。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置为氦气与惰性气体的混合气源。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置为氦气与氮气的混合气源，其具有氦气气源、氮气气源、以及与两者相连的气体混合装置。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述输气管道设有氦气浓度计，所述氦气浓度计与所述氦气检漏仪连接。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置与所述被试物的内部空腔之间进一步设有回收管道，所述回收管道的管路上设有回收泵。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置进一步设有回收气体贮藏装置，其注入端与所述回收管道连通，输气端与所述输气管道连通。本技术的有益效果在于：本技术采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正。附图说明图1是一具体实施方式中氦气检漏系统的结构示意图。图2是图1优选实施例中氦气检漏系统的结构示意图。图1与图2中，1-氦气检漏仪，2-氦气混合气源装置，3-输气管道，4-加压泵，5-回收管道，6-回收泵，7-氦气浓度计，8-回收气体贮藏装置，21-氦气气源，22-氮气气源，23-气体混合装置。具体实施方式结合以下具体实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明。实施本技术的过程、条件、实验方法等，除以下专门提及的内容之外，均为本领域的普遍知识和公知常识，本技术没有特别限制内容。图1显示的是一具体实施方式中氦气检漏系统的结构示意图。本实施例中的氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括：氦气检漏仪1、氦气混合气源装置2、输气管道3、加压泵4、回收管道5以及回收泵6。氦气检漏仪1用于检测氦气浓度，具有与其连通的嗅漏枪11。氦气混合气源装置2与被试物100的内部空腔以输气管道3连通，输气管道3设有加压泵4。回收管道5同样连通氦气混合气源装置2及被试物100，回收管道5上设有回收泵6。使用时，打开加压泵4从氦气混合气源装置2内向被试物100空腔泵入氦气混合气体。因为氦气混合气体内的氦气具有分子小质量轻、扩散穿透性强、反应快且稳定等特点，当被试物100存在微小裂缝或缝隙时，氦气将从裂缝或缝隙泄漏，嗅漏枪11置于被试物100的外部，利用嗅漏枪11扫掠被试物100表面探测到氦气时，则表示嗅漏枪11所正对的被试物100的表面存在裂缝或缝隙。在回收被试物100空腔内的氦气混合气体时，打开回收泵6将氦气混合气体泵入氦气混合气源装置2内收集。具体参阅图1，在输气管道3上设有氦气浓度计7，氦气浓度计7与氦气检漏仪1通信，将从氦气混合气源装置2输出的氦气混合气体中的氦气浓度值发送至氦气检漏仪1中，氦气检漏仪1对嗅漏枪11探测的氦气真实泄漏率进行修正，具体修正方式如下：真实泄漏率＝实测泄漏率/(氦气浓度值×0.01)。例如，对于相同被试物的检漏测量，若以100％浓度的纯氦气进行检测，氦气检漏仪1所测得的泄漏率为1.0×10-8Pa*m3/s；若氦气混合气源装置2输出的氦气混合气体的氦气浓度值为80％，则氦气检漏仪1实际所测得的泄漏率为0.8×10-8Pa*m3/s。如果容许泄漏率为0.9×10-8Pa*m3/s，则以氦气混合气体进行检测，该被试物100会被判定为优良品，从而导致本技术检测精度下降。所以本技术利用氦气浓度值对实测泄漏率进行修正，提高了本技术的氦气浓度检测精度。本技术中所涉及的氦气混合气体为氦气与其他干燥的惰性的气体所混合后的气体。任何能与氦气混合、不与氦气发生化学反应的气体均在本技术的构思之中。氦气混合气体包括氦气与氮气的混合气体，以下使用氦氮混合气体为例，进一步说明本技术的优选实施方式。图2显示的是一优选实施方式中氦气检漏系统的结构示意图。本实施方式中的氦气检漏系统中，氦气混合气源装置2中设有氦气气源21、氮气气源22、气体混合装置23以及回收气体贮藏装置8。气体混合装置23将氦气与氮气混合后输入输气管道3中，气体混合装置23与氦气浓度计7通信，可将氦气与氮气混合至相应氦气浓度值后输入被试物100内。回收气体贮藏装置8用于存储经回收管道5所回收的气体，本实施例中所回收的气体为氦氮混合气体。优选地，将回收气体贮藏装置8的输气端与输气管道3连通，在该连通状态下可关闭气体混合装置23，将回收气体贮藏装置8中的氦气混合气体通过输气管道3输入被试物100中进行检测，直到氦气浓度值低于阈值时开启气体混合装置23予以氦气浓度补偿。本技术的保护内容不局限于以上实施例。在不背离技术构思的精神和范围下，本领域技术人员能够想到的变化和优点都被包括在本技术中，并且以所附的权利要求书为保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其设有相连通的嗅漏枪(11)；所述嗅漏枪(11)置于被试物的外部；氦气混合气源装置(2)，其与被试物的内部空腔以输气管道(3)连通；及加压泵(4)，其设置于所述输气管道(3)的管路之上。

【技术特征摘要】
1.一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其设有相连通的嗅漏枪(11)；所述嗅漏枪(11)置于被试物的外部；氦气混合气源装置(2)，其与被试物的内部空腔以输气管道(3)连通；及加压泵(4)，其设置于所述输气管道(3)的管路之上。2.如权利要求1所述的氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，所述输气管道(3)设有氦气浓度计(7)，所述氦气浓度计(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔文豪，落合英二郎，
申请(专利权)人：广舜检测技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31