一种氦气浓度关联型氦气检漏系统技术方案

本实用新型专利技术提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其与被试物的内部空腔以抽吸管道(3)连通；氦气混合气源装置(2)，其具有以管道(22)相连的喷枪(21)，喷枪(21)与被试物的外部连通；及回收泵(4)，其设置于抽吸管道(3)的管路之上。本实用新型专利技术采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正，实现了一种高精度低成本的氦气检漏系统。

【技术实现步骤摘要】
一种氦气浓度关联型氦气检漏系统
本技术涉及检漏仪器，尤其涉及一种氦气浓度关联型氦气检漏系统。
技术介绍
氦气检漏仪使用氦气作为检测气体，由于氦气具有分子小质量轻、扩散穿透性强、反应快且稳定等特点，使氦气检漏装置受到重视并广泛使用。但是因为氦气在空气中含量极少且价格较高，所以采用氦气作为检漏气源使用不可避免地增加成本。为了克服现有技术中氦气检漏存在高使用成本的缺陷，本技术提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统。本技术采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正，实现了一种高精度低成本的氦气检漏系统。
技术实现思路
本技术提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪，其与被试物的内部空腔以抽吸管道连通；氦气混合气源装置，其具有以管道相连的喷枪，所述喷枪与被试物的外部连通；及回收泵，其设置于所述抽吸管道的管路之上。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置为氦气与惰性气体的混合气源。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置为氦气与氮气的混合气源，其具有氦气气源、氮气气源、以及与两者相连的气体混合装置。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述管道设有氦气浓度计，所述氦气浓度计与所述氦气检漏仪连接。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述被试物外部设有气体回收装置。本技术提出的所述氦气浓度关联型氦气检漏系统中，所述氦气混合气源装置进一步设有回收气体贮藏装置，其注入端与所述气体回收装置连通，输气端与所述管道连通。本技术的有益效果在于：本技术采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正。附图说明图1是一具体实施方式中氦气检漏系统的结构示意图。图2是图1优选实施例中氦气检漏系统的结构示意图。图1与图2中，1-氦气检漏仪，2-氦气混合气源装置，3-抽吸管道，4-回收泵，5-气体回收装置，6-回收气体贮藏装置，7-氦气浓度计，21-喷枪，22-管道，23-氦气气源，24-氮气气源，25-气体混合装置。具体实施方式结合以下具体实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明。实施本技术的过程、条件、实验方法等，除以下专门提及的内容之外，均为本领域的普遍知识和公知常识，本技术没有特别限制内容。图1显示的是一具体实施方式中氦气检漏系统的结构示意图。本实施例中的氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括：氦气检漏仪1、氦气混合气源装置2、抽吸管道3与回收泵4。氦气检漏仪1用于检测氦气浓度，氦气混合气源装置2用于提供氦气或氦气混合气体，氦气混合气源装置2具有以管道22连通的喷枪21，喷枪21设置于被试物100的外部。抽吸管道3连通氦气检漏仪1与被试物100的内部空腔，抽吸管道3上设有回收泵4。使用时，打开喷枪21，氦气或氦气混合气体通过管道22从喷枪21喷扫至被试物100表面，同时开启回收泵4将被试物100内部空腔的气体吸入氦气检漏仪1中。因为氦气具有分子小质量轻、扩散穿透性强、反应快且稳定等特点，当被试物100存在微小裂缝或缝隙时，氦气将从裂缝或缝隙进入被试物100的内部空腔中，进而被回收泵4吸入氦气检漏仪1中被探测得到氦气浓度，获得被试物100的泄漏率。具体参阅图1，在管道22上设有氦气浓度计7，氦气浓度计7与氦气检漏仪1通信，将从氦气混合气源装置2输出的氦气混合气体中的氦气浓度值发送至氦气检漏仪1中，氦气检漏仪1对喷枪11探测的氦气真实泄漏率进行修正，具体修正方式如下：真实泄漏率＝实测泄漏率/(氦气浓度值×0.01)。例如，对于相同被试物的检漏测量，若以100％浓度的纯氦气进行检测，氦气检漏仪1所测得的泄漏率为1.0×10-6Pa*m3/s；若氦气混合气源装置2输出的氦气混合气体的氦气浓度值为60％，则氦气检漏仪1实际所测得的泄漏率为0.6×10-6Pa*m3/s。如果容许泄漏率为0.9×10-6Pa*m3/s，则以氦气混合气体进行检测，该被试物100会被判定为优良品，从而导致本技术检测精度下降。所以本技术利用氦气浓度值对实测泄漏率进行修正，提高了本技术的氦气浓度检测精度。本技术中所涉及的氦气混合气体为氦气与其他干燥的惰性的气体所混合后的气体。任何能与氦气混合、不与氦气发生化学反应的气体均在本技术的构思之中。氦气混合气体包括氦气与氮气的混合气体，以下使用氦氮混合气体为例，进一步说明本技术的优选实施方式。图2显示的是一优选实施方式中氦气检漏系统的结构示意图。本实施方式中的氦气检漏系统中，氦气混合气源装置2中设有氦气气源23、氮气气源24、气体混合装置25、气体回收装置5以及回收气体贮藏装置6。气体混合装置23将氦气与氮气混合后输入抽吸管道3中，气体混合装置25与氦气浓度计7通信，可将氦气与氮气混合至相应氦气浓度值后喷射到被试物100的表面。气体回收装置5设于被试物100的外部，回收喷枪21喷出的氦氮混合气体至回收气体贮藏装置6内存储。优选地，将回收气体贮藏装置6的输气端与管道22连通，在该连通状态下可关闭气体混合装置25，将回收气体贮藏装置6中的氦气混合气体通过管道22输送到喷枪21中进行检测，直到氦气浓度值低于阈值时开启气体混合装置25予以氦气浓度补偿。本技术的保护内容不局限于以上实施例。在不背离技术构思的精神和范围下，本领域技术人员能够想到的变化和优点都被包括在本技术中，并且以所附的权利要求书为保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其与被试物的内部空腔以抽吸管道(3)连通；氦气混合气源装置(2)，其具有以管道(22)相连的喷枪(21)，所述喷枪(21)与被试物的外部连通；及回收泵(4)，其设置于所述抽吸管道(3)的管路之上。

【技术特征摘要】
1.一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其与被试物的内部空腔以抽吸管道(3)连通；氦气混合气源装置(2)，其具有以管道(22)相连的喷枪(21)，所述喷枪(21)与被试物的外部连通；及回收泵(4)，其设置于所述抽吸管道(3)的管路之上。2.如权利要求1所述的氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，所述氦气混合气源装置(2)为氦气与惰性气体的混合气源。3.如权利要求2所述的氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，所述氦气混合气源装置(2)为氦气与氮气的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔文豪，落合英二郎，
申请(专利权)人：广舜检测技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31