测试探针、测试装置及测试方法制造方法及图纸

一种测试探针、测试装置及测试方法。该测试探针包括针架以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针。所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。该测试探针可以有效避免基板的扎伤风险。

【技术实现步骤摘要】
测试探针、测试装置及测试方法
本公开实施例涉及一种测试探针、测试装置及测试方法。
技术介绍
阵列综合检测(ArrayTest，AT)设备的测试方式为接触式测试，探针组件(ProbeAssembly，PA)上的测试探针通过与基板表面直接接触以加载测试信号。测试过程中由于支撑PA的探针组件支撑架的安装存在误差，或者PA的安装存在误差，亦或者测试探针的下降高度过低，都可能导致测试探针与基板表面之间的接触变为刚性接触，进而可能导致扎伤基板。而此时测试探针与基板仍然存在接触，AT设备正常测试，因此无法有效避免基板的扎伤风险。
技术实现思路
本公开至少一实施例提供一种测试探针、测试装置及测试方法。该测试探针可以有效避免基板的扎伤风险。本公开至少一实施例提供一种测试探针，包括针架以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针。所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述针架包括容纳所述动针的通道且在所述通道的一端设置有开口，所述动针包括：设置在所述针架的通道内的第一传导部，设置在所述第一传导部靠近所述开口的一端上且通过所述开口延伸至所述针架外的第二传导部，以及设置在所述第二传导部远离所述第一传导部的一端上的针头。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第一传导部与所述针架彼此绝缘，所述第二传导部配置为在所述第一行程内与所述针架开口处的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁保持绝缘。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第二传导部在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁接触的部分上设置有绝缘层。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，在所述第一传导部远离所述第二传导部的一端的端面上和所述第一传导部的外表面上设置有绝缘层。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，在所述针架内壁除了所述开口处的内壁的部分上设置有绝缘层。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第一传导部的材料为绝缘材料。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第二传导部与所述针架彼此绝缘；所述第一传导部配置为在所述第一行程内与所述通道的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述通道的内壁保持绝缘。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述针架在所述开口处的内壁上设置有绝缘膜，所述针架在所述第二行程内与所述第一传导部接触的内壁上设置有绝缘膜。例如，本公开一实施例提供的测试探针还包括：设置在所述针架的通道远离所述开口的一端上的探针端盖，以及设置在所述针架的通道内且与所述第一传导部连接的弹性装置；所述弹性装置处于受力状态。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述弹性装置包括弹簧。例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第一传导部、所述第二传导部和所述针头一体成型。本公开至少一实施例还提供一种测试装置，包括本公开任一实施例所述的测试探针。例如，本公开一实施例提供的测试装置还包括探针组件和探针组件支撑架；所述探针组件包括多个测试探针。本公开至少一实施例还提供一种测试方法，包括：驱动所述测试探针使所述测试探针与被测基板接触；通过所述测试探针加载测试信号；当检测到所述测试信号与所述被测基板的连接断开后，停止驱动所述测试探针。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。图1A为本公开一实施例中一个示例提供的一种测试探针的示意图；图1B为将本公开实施例中提供的测试探针的针架和动针分离后分别进行标记的示意图；图2为本公开一实施例中另一个示例提供的一种测试探针的示意图；图3为本公开一实施例中又一个示例提供的一种测试探针的示意图；图4为本公开另一实施例中提供的一种测试探针的示意图一；图5为本公开另一实施例中提供的一种测试探针的示意图二；图6为本公开一实施例提供的一种测试装置的示意图；图7为本公开一实施例提供的一种测试方法的示意图。附图标记：1-测试装置；2-基板；10-测试探针；20-探针组件；30-探针组件支撑架；100-针架；110-针架通道；120-针架开口；130-针架内壁；140-针架开口处内壁；200-动针；210-第一传导部；220-第二传导部；230-针头；300-弹性装置；400-探针端盖；500-信号加载端具体实施方式为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。本公开至少一实施例提供一种测试探针，包括针架以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针。所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。本公开至少一实施例还提供对应于上述测试探针的测试装置及测试方法。阵列综合检测(ArrayTest，AT)设备的测试方式为接触式测试，探针组件(ProbeAssembly，PA)上的测试探针通过与基板表面的测试衬垫等直接接触以加载测试信号。在进行测试信号加载之前为了判断测试探针与基板的接触情况，需要进行接触测试(ContactTest)来确认接触状态。接触测试原理：一个通道分为两组探针，一组发送信号一组接收信号，完成测试信号加载后计算两根信号线之间的电阻，如果电阻较小则认为测试探针与基板接触良好，当阻值超出设定的阈值时认为接触失败。在进行接触测试过程中由于支撑PA的探针组件支撑架的安装存在误差，或者PA的安装存在误差，亦或者测试探针的下降高度过低，都可能导致测试探针与基板表面之间的接触变为刚性接触。而此时测试探针与基板是接触的，接触测试可以正常通过，AT设备继续正常测试，因此可能存在扎伤甚至扎碎基板的风险。本公开实施例提供的测试探针、测试装置及测试方法，可以对测试探针的位置进行监控，当测试探针超出预设的安全距离时，测试信号无法正常加载，接触测试失败引发测试装置报警，无法继续后续测试，可以有效避免基板的扎伤风险。实施例一本实施例提供一种测试探针10，如图1A所示，该测试探针10包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试探针，包括：针架，以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针，其中，所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。

【技术特征摘要】
1.一种测试探针，包括：针架，以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针，其中，所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。2.根据权利要求1所述的测试探针，其中，所述针架包括容纳所述动针的通道且在所述通道的一端设置有开口，所述动针包括：设置在所述针架的通道内的第一传导部，设置在所述第一传导部靠近所述开口的一端上且通过所述开口延伸至所述针架外的第二传导部，以及设置在所述第二传导部远离所述第一传导部的一端上的针头。3.根据权利要求2所述的测试探针，其中，所述第一传导部与所述针架彼此绝缘，所述第二传导部配置为在所述第一行程内与所述针架开口处的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁保持绝缘。4.根据权利要求3所述的测试探针，其中，所述第二传导部在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁接触的部分上设置有绝缘层。5.根据权利要求4所述的测试探针，其中，在所述第一传导部远离所述第二传导部的一端的端面上和所述第一传导部的外表面上设置有绝缘层。6.根据权利要求4所述的测试探针，其中，在所述针架内壁除了所述开口处的内壁的部分上设置有绝缘层。7.根据权利要求4所述的测试探针，其中，所述第一传导部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周超，黄先纯，张涛，吴正运，耿涛，甘由鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11