一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位柱（8）截面呈三角形，校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度；它还公开了校准方法。本发明专利技术的有益效果是：结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单。

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法
本专利技术涉及上下掩膜板校准的
，特别是一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法。
技术介绍
石英晶体振荡器是一种高精度和高稳定度的振荡器，被广泛应用于远程通信、卫星通信、移动电话系统、全球定位系统（GPS）、导航、遥控、航空航天、高速计算机、精密计测仪器及消费类民用电子产品中。因其具有频率稳定度高这一特点,故在电子
中一直占有重要的地位。近年来，随着现代科学技术的发展，对石英晶体振荡器的尺寸、质量、稳定性不断的提出新的要求。随着石英晶体振荡器的尺寸的减小，以及通信产业的快速普及，生产石英晶体振荡器的实际问题也愈专利技术显。目前有一种掩膜板包括上掩膜板（1）和下掩膜板（2），如图1所示，上掩膜板（1）的外边缘为上边框，下掩膜板（2）的外边缘为下边框，上边框和下边框的一侧边均开设有两个V形槽（3），且上边框和下边框上均开设有边缘孔（4），上掩膜板（1）和下掩膜板（2）的中部均开设有呈阵列的孔，石英晶片在真空溅射镀膜时，需将石英晶片夹在上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔之间，随后才能进行真空镀膜，实现石英晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，其特征在于：它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），所述的定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位板（6）的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱（8），定位柱（8）截面呈三角形，所述的底板（5）的顶表面上且位于定位板（6）的右侧设置有凹槽、第一腰形孔（9）和第二腰形孔（10），凹槽内设置有电磁铁（11），腰形孔纵向设置，所述校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），V形卡槽（12）分别卡于位于定位板（6）前侧的两个定位柱（8）上，V形卡槽（12）的夹角大...

【技术特征摘要】
1.一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，其特征在于：它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），所述的定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位板（6）的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱（8），定位柱（8）截面呈三角形，所述的底板（5）的顶表面上且位于定位板（6）的右侧设置有凹槽、第一腰形孔（9）和第二腰形孔（10），凹槽内设置有电磁铁（11），腰形孔纵向设置，所述校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），V形卡槽（12）分别卡于位于定位板（6）前侧的两个定位柱（8）上，V形卡槽（12）的夹角大于定位柱（8）顶角，它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度。2.根据权利要求1所述的一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，其特征在于：所述的定位板（6）经螺钉（15）螺纹连接于底板（5）上。3.根据权利要求1所述的一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，其特征在于：所述的第一腰形孔（9）位于第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：李万辉，
申请(专利权)人：东晶锐康晶体成都有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51